| 1 |
1
복수개의 소립자가 응집되어 형성된 무기 입자로서, 상기 소립자는 결정성 상과 무정형 상이 혼재되어 있으며 결정화도가 90% 이하인 것인 무기 입자를 포함하는 수분산액
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 아미노산을 더 포함하는 수분산액
|
| 3 |
3
제2항에 있어서, 수분산액 총중량을 기준으로 상기 아미노산의 함량은 0
|
| 4 |
4
제2항에 있어서, 상기 무기입자와 아미노산의 중량비가 100: 50 ~ 200 인 수분산액
|
| 5 |
5
제2항에 있어서, 상기 아미노산이 티로신, 페닐알라닌 및 트립토판 중에서 선택되는 하나 이상인 수분산액
|
| 6 |
6
제1항에 있어서, 상기 소립자는 입경이 1~50nm 인 것인 수분산액
|
| 7 |
7
제1항 있어서, 상기 무기 입자는 밀도가 3
|
| 8 |
8
제1항에 있어서, 상기 무기 입자는 등전점이 pH 5~7 이고, 수분산액의 pH는 3~7인 수분산액
|
| 9 |
9
제1항에 있어서, 상기 무기 입자는 pH4 의 수분산액 상태에서 표면 전하가 +30 ~ +50 mV 또는 -30 ~ -50 mV의 제타전위를 갖는 것인 수분산액
|
| 10 |
10
제1항에 있어서, 상기 무기 입자는 Ga, Sn, As, Sb, Ce, Si, Al, Co, Fe, Li, Mn, Ba, Ti, Sr, V, Zn, La, Hf, Ni 및 Zr으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 원소의 산화물로 이루어진 것인 무기 입자
|
| 11 |
11
제1항에 있어서, 상기 무기 입자는 CeO2 입자이며, Ce3+/Ce4+ 이온비가 5~60 인 수분산액
|
| 12 |
12
제1항에 있어서, 상기 수분산액은 CMP용 슬러리인 것인 수분산액
|
| 13 |
13
제1항에 있어서, 상기 무기 입자는(a) 자기조립성 계면활성제를 물 또는 물과 상용성을 갖는 용매와 물의 혼합 용매에 용해시키는 단계;(b) 상기 (a) 단계를 실시하기 전, 후 또는 동시에, 무기물 전구체를 상기 용매에 용해 또는 분산시켜 무기물 전구체 용액을 제조하는 단계; 및(c) 상기 무기물 전구체와 상기 계면활성제의 자기조립반응을 통해 계면활성제가 형성하는 껍질 속에서 결정성 상과 무정형 상이 혼재된 소립자를 형성하고, 복수개의 소립자들이 응집되어 무기 입자를 형성하는 단계를 포함하는 방법에 의해 제조된 것인 수분산액
|
| 14 |
14
제13항에 있어서, 수분산액에 포함된 무기 입자는, 상기 (c) 단계에서 얻은 무기 입자를 산과 염기로 처리하여 하는 단계를 더 포함하여 표면 전하가 제어된 무기 입자인 수분산액
|
| 15 |
15
제13항에 있어서, 상기 자기조립성 계면활성제는 상기 무기물 전구체와 결합할 수 있는 전하를 갖는 양이온성 계면활성제, 음이온성 계면활성제 및 양쪽성 계면활성제로부터 선택되는 하나 이상으로서, 축합반응 내지는 가교반응이 가능한 관능기를 보유하는 것인 수분산액
|
| 16 |
16
제13항에 있어서, 상기 축합반응 내지는 가교반응이 가능한 관능기는 아마이드기, 니트로기, 알데히드기 및 카르보닐기로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상인 것인 수분산액
|
| 17 |
17
제13항에 있어서, 상기 자기조립성 계면활성제가 하기 화학식 1의 구조를 갖는 것인 수분산액:[화학식 1]상기 화학식 1에서 R1 및 R3는 독립적으로 수소원자, C1-C10 알킬기 또는 알콕시기이며, R2는 하기 화학식 2의 치환기이고, n은 2 이상의 수이다:[화학식 2]화학식 2에 있어서, R4 및 R5는 독립적으로 수소원자, C1-C10 알킬기 또는 알콕시기이며, R6는 C1-C10 알킬렌기 또는 단일 공유결합이고, *는 연결부위를 나타낸다
|
