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복수개의 소립자가 응집되어 형성된 무기 입자로서, 상기 소립자는 결정성 상과 무정형 상이 혼재되어 있으며 결정화도가 90% 이하인 것인 무기 입자 및 암모늄염을 포함하는 수분산액
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제1항에 있어서, 상기 암모늄염은 NH4NO3, NH4Cl 및 NH4Br 중에서 선택되는 하나 이상인 것인 수분산액
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제1항에 있어서, 수분산액 총중량을 기준으로 상기 암모늄염의 함량은 0
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제1항에 있어서, 상기 무기입자와 암모늄염의 중량비가 100: 10 ~ 100 인 수분산액
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제1항에 있어서, 아미노산을 더 포함하는 수분산액
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제5항에 있어서, 상기 암모늄염과 아미노산의 중량비가 100: 10 ~ 100인 수분산액
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7
제5항에 있어서, 수분산액 총중량을 기준으로 상기 아미노산의 함량은 0
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제5항에 있어서, 상기 아미노산이 글리신, 프롤린 및 티로신 중에서 선택되는 하나 이상인 수분산액
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제1항에 있어서, 상기 소립자는 입경이 1~50nm 인 것인 수분산액
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제1항 있어서, 상기 무기 입자는 밀도가 3
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제1항에 있어서, 상기 무기 입자는 등전점이 pH 5 ~ 7 이고, 수분산액의 pH는 3 ~ 7인 수분산액
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제1항에 있어서, 상기 무기 입자는 pH4 의 수분산액 상태에서 표면 전하가 +30 ~ +50 mV 또는 -30 ~ -50 mV의 제타전위를 갖는 것인 수분산액
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13
제1항에 있어서, 상기 무기 입자는 Ga, Sn, As, Sb, Ce, Si, Al, Co, Fe, Li, Mn, Ba, Ti, Sr, V, Zn, La, Hf, Ni 및 Zr으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 원소의 산화물로 이루어진 것인 무기 입자
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제1항에 있어서, 상기 무기 입자는 CeO2 입자이며, Ce3+/Ce4+ 이온비가 5~60 인 수분산액
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제1항에 있어서, 상기 수분산액은 CMP용 슬러리인 것인 수분산액
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