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위상 동기장치로 연결되어 출력 위상이 동기되는 n(n은 1 이상의 자연수)개의 마이크로웨이브 파워 발생부;도파관을 통해 상기 n개의 마이크로웨이브 파워 발생부가 결합되는 마이크로웨이브 공진부;를 포함하여 구성되며,상기 마이크로웨이브 파워 발생부는 상기 마이크로웨이브 파워 발생부 중 전체 또는 일부에 연결되어 출력 위상을 시변시키는 위상 제어기; 및 상기 위상 제어기에 연결되어 단위 시간당 위상 가변 횟수를 정하는 위상 시변 주파수 제어부;로 구성되는 위상 시변장치;와 상기 마이크로웨이브 파워 발생부 중 전체 또는 일부에 연결되어 소정 대역폭으로 출력 주파수를 왕복 이동시키는 주파수 제어기와 단위 시간당 주파수 왕복 횟수를 정하는 대역 시변 주파수 제어부;로 구성되는 주파수 시변장치;와상기 마이크로웨이브 파워 발생부의 전원입력단에 연결되어 소정 입력범위로 단위 시간당 입력전원을 가변시키는 입력전원 시변장치; 중에서 적어도 하나가 선택되는 장치를 포함하여 상기 마이크로웨이브 공진부에서 1개의 마이크로웨이브 파워 발생부 동기 출력에 대하여 전체 또는 일부의 마이크로웨이브 파워 발생부의 시변 위상 출력 및/또는 시변 주파수 출력을 교반시켜 마이크로웨이브 공진부 내부 전계를 균등화시키는 것을 특징으로 하는 시변 제어기반 고효율 다중 마이크로웨이브 교반 시스템
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제1항에 있어서 상기 마이크로웨이브 파워 발생부는 마그네트론 기반의 마이크로웨이브 파워 발생부 또는 반도체 기반의 SOLID STATE POWER AMPLIFIER를 통한 마이크로웨이브 파워 발생부인 것을 특징으로 하는 시변 제어기반 고효율 다중 마이크로웨이브 교반 시스템
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제1항에 있어서 상기 마이크로웨이브 파워 발생부는마이크로웨이브 공진부 최적 설계에 의한 최적 마이크로웨이브 공진 주파수 대역을 기본 출력 주파수로 하는 것을 특징으로 하는 시변 제어기반 고효율 다중 마이크로웨이브 교반 시스템
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제1항에 있어서 상기 위상 시변 주파수 제어부는360°범위의 시변 위상을 0 ~ 10kHz 범위에서 선택 제어시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 시변 제어기반 고효율 다중 마이크로웨이브 교반 시스템
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제1항에 있어서 상기 대역 시변 주파수 제어부는기본 출력주파수 ± 2GHz 범위의 대역을 0 ~ 10kHz 범위에서 선택 제어시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 시변 제어기반 고효율 다중 마이크로웨이브 교반 시스템
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제1항 내지 제6항 중 어느 하나의 항에 있어서 상기 마이크로웨이브 공진부는수분 탈착을 목적으로 하는 드라이 공정 챔버로 사용되는 것을 특징으로 하는 상기 시변 제어기반 고효율 다중 마이크로웨이브 교반 시스템
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