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고전압 전기 신호를 생성하는 전기 신호 발생기;피검사체의 표면에 정적 자기장을 유도하는 영구 자석이 제1 주기로 배열된 송신용 영구 자석을 포함하고, 상기 생성된 고전압 전기 신호를 수신하여 상기 피검사체로 제1 초음파를 송신하는 초음파 송신기;상기 피검사체의 표면에 정적 자기장을 유도하는 영구 자석이 상기 제1 주기보다 짧은 제2 주기로 배열된 수신용 영구 자석을 포함하고, 상기 피검사체로부터 반사된 3차 고조파 성분을 포함하는 제2 초음파를 수신하여 코일 전기 신호를 생성하는 초음파 수신기; 및상기 코일 전기 신호 중 상기 3차 고조파 성분에 대응되는 신호에 기초하여 상기 피검사체의 미세손상을 진단하는 신호분석부를 포함하는미세손상 진단장치
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제1항에 있어서,상기 제1 초음파 및 상기 제2 초음파는전단수평 유도초음파인미세손상 진단장치
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제1항에 있어서,상기 초음파 송신기는 상기 피검사체의 표면에 와전류를 유도하는 송신용 전기 코일을 더 포함하고,상기 초음파 수신기는 상기 코일 전기 신호를 생성하는 수신용 전기 코일을 더 포함하는 미세손상 진단장치
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제3항에 있어서,상기 송신용 전기 코일 및 수신용 전기 코일은민더링(Meandering) 패턴의 전기 회로를 포함하는미세손상 진단장치
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제1항에 있어서,상기 제2 주기는 하기의 수학식 3에 의해 결정되는 미세손상 진단장치
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제5항에 있어서상기 제1 주기 및 상기 제2 주기는 상기 초음파의 파장에 대응되는미세손상 진단장치
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제1항에 있어서,상기 초음파 송신기 및 상기 초음파 수신기는상기 피검사체와 소정의 거리만큼 이격되어 비접촉식으로 상기 초음파를 송신하거나 수신하는미세손상 진단장치
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제1항에 있어서,상기 신호분석부는상기 코일 전기 신호를 증폭시키는 신호 증폭기, 상기 증폭된 코일 전기 신호를 디지털신호로 변환하는 A/D변환기 및 상기 변환된 디지털신호를 분석하는 신호분석기를 포함하는 미세손상 진단장치
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제8항에 있어서,상기 신호분석기는상기 디지털신호로부터 기본 주파수 성분에 대응되는 신호와 상기 3차 고조파 성분에 대응되는 신호를 분리하여 주파수 특성을 분석하는 미세손상 진단장치
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제9항에 있어서,상기 신호분석부는상기 분석된 주파수 특성에 기초하여 비선형성 파라미터를 산출하는 파라미터 산출기를 더 포함하고,미리 저장된 초기 비선형성 파라미터와 상기 산출된 비선형성 파라미터를 비교하여 상기 피검사체의 미세손상을 진단하는미세손상 진단장치
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제10항에 있어서,상기 파라미터 산출기는하기의 수학식 1을 통해 비선형성 파라미터를 산출하는 미세손상 진단장치
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