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1
설치면에 놓여지는 베이스 상에 설치되는 높이조절기둥;상기 높이조절기둥으로부터 상기 베이스에 수평하게 연장되는 플라즈마 보;상기 플라즈마 보의 하측면에 결합되며, 상기 플라즈마 보의 하측을 경유하는 제1기판 또는 제2기판 중 적어도 어느 하나의 표면을 플라즈마 처리하는 플라즈마 유닛;을 포함하여, 상기 제1기판 또는 제2기판의 이송중에 상기 제1기판 또는 제2기판중 적어도 어느 하나의 표면을 플라즈마 처리하는 마이크로 니들 제조 기판의 플라즈마 처리모듈
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2
제1항에 있어서,상기 높이조절기둥은, 상기 베이스상에 설치되며, 회전이 가능하며 외주면에 나사산이 형성된 스크류;상기 스크류에 치합된 플레이트를 포함하여, 높이의 조절이 가능하도록 구비되는 마이크로 니들 제조 기판의 플라즈마 처리모듈
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3
제2항에 있어서,상기 높이조절기둥의 높이가 조절되어, 상기 플라즈마 보 및 상기 플라즈마 유닛의 상기 베이스로부터의 높이가 조절되어, 상기 제1기판 및 제2기판과의 간격이 조절되는 마이크로 니들 제조 기판의 플라즈마 처리모듈
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4
설치면에 놓여지는 베이스;상기 베이스 상에 설치되며, 제1기판 및 제2기판이 적치되는 기판 대기부;상기 기판 대기부에 적치된 상기 제1기판 또는 상기 제2기판의 이송 중에, 상기 제1기판 또는 상기 제2기판 중 적어도 어느 하나의 표면을 플라즈마 처리하는 플라즈마 처리부;상기 플라즈마 처리부를 거친 상기 제1기판 또는 상기 제2기판을 서로 마주보도록 포개는 기판 합착부;포개진 상태로 합착된 상기 제1기판과 상기 제2기판을 거치하는 합착기판 거치부;를 포함하며,상기 플라즈마 처리부는,설치면에 놓여지는 베이스 상에 설치되는 높이조절기둥;상기 높이조절기둥으로부터 상기 베이스에 수평하게 연장되는 플라즈마 보;상기 플라즈마 보의 하측면에 결합되며, 상기 플라즈마 보의 하측을 경유하는 제1기판 또는 제2기판 중 적어도 어느 하나의 표면을 플라즈마 처리하는 플라즈마 유닛;을 포함하는 마이크로 니들 제조기판 합착 장비
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5
제4항에 있어서,상기 제1기판 및 상기 제2기판을 상기 플라즈마 처리부의 하측을 경유하도록 이송시키는 제1 기판이송부;상기 기판 대기부의 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 픽업하여 상기 제1 기판이송부에 위치시키는 제1 기판픽업부;를 더 포함하는 마이크로 니들 제조기판 합착 장비
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6
제5항에 있어서,상기 플라즈마 처리부를 거친 상기 제1기판 또는 제2기판 중 어느 하나에 마이크로 니들을 형성하기 위한 유체를 적하하는 액적 적하부를 더 포함하는, 마이크로 니들 제조기판 합착 장비
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7
제6항에 있어서,상기 제1 기판이송부를 통해 상기 플라즈마 처리부를 거친 상기 제1기판 또는 상기 제2기판 중 어느 하나를 상기 액적 적하부를 경유하도록 이송시키는 제2기판이송부;상기 제1 기판이송부를 통해 이송된 상기 제1기판 또는 상기 제2기판 중 어느 하나를 픽업하여 상기 제2기판이송부에 위치시키는 제2 기판픽업부;를 더 포함하는 마이크로 니들 제조기판 합착장비
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8
제7항에 있어서,상기 제1 기판이송부를 통해 상기 플라즈마 처리부를 거친 상기 제1기판 또는 상기 제2기판 중 상기 제2기판이송부로 이송되지 아니한 다른 하나를 뒤집는 기판 회전부를 더 포함하고,상기 제2 기판픽업부는 상기 제1 기판이송부를 통해 상기 플라즈마 처리부를 거친 상기 제1기판 또는 상기 제2기판 중 상기 제2기판이송부로 이송되지 아니한 다른 하나를 상기 기판 회전부에 위치시키도록 구비되는 마이크로 니들 제조기판 합착장비
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9
제8항에 있어서,상기 기판 합착부는, 상기 제1기판 또는 제2기판 중, 상기 액적 적하부를 경유하여 액적이 점적된 어느 하나 및 상기 기판 회전부에 의해 뒤집어진 상태의 다른 하나를 서로 마주보는 상태로 결합시키며,상기 제2기판이송부에 의해 액적 적하부를 거친 제1기판 또는 제2기판 중 어느 하나를 픽업하여, 상기 기판 합착부에 위치시키는 제3 기판픽업부;를 더 포함하는 마이크로 니들 제조기판 합착장비
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10
제9항에 있어서,상기 기판 회전부는, 뒤집은 상태의 상기 제1기판 또는 상기 제2기판을 그 상태로 이송하여 상기 기판 합착부에 위치시키는 마이크로 니들 제조기판 합착장비
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11
제4항에 있어서,상기 기판 합착부는,상기 제1기판 및 상기 제2기판이 합착된 상태의 마이크로 니들 제조 기판체의 마이크로 니들을 형성하기 위한 유체가 점적되는 도포영역이 형성된 면이 상기 베이스에 수직하도록 회전시키는 마이크로 니들 제조기판 합착장비
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12
제11항에 있어서,상기 기판 합착부에서 회전된 상태의 상기 마이크로 니들 제조 기판체를 픽업하여 상기 합착기판 거치부에 위치시키는 제4 기판픽업부를 더 포함하는 마이크로 니들 제조기판 합착장비
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13
제7항에 있어서,상기 제1 기판이송부는,상기 베이스 상에 상기 플라즈마 처리부를 거치도록 배치되는 제1레일;상기 제1기판 및 상기 제2기판이 안착되며, 상기 제1레일을 따라 이동가능하게 구비되는 제1스테이지;를 포함하는 마이크로 니들 제조기판 합착장비
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14
제13항에 있어서,상기 제1 기판픽업부는, 상기 베이스 상에 설치된 제1기둥;상기 제1기둥으로부터 수평하게 설치되며, 상기 기판 대기부와 상기 제1스테이지의 상측을 거치도록 연장되는 제1보;상기 제1보의 길이방향을 따라 이송되는 제1슬라이더;상기 제1슬라이더에 구비되며, 상하방향으로 이송되는 제1암;상기 제1암에 구비되며, 상기 기판 대기부의 상기 제1기판 또는 상기 제2기판을 흡착하거나 흡착된 상기 제1기판 또는 상기 제2기판을 상기 제1스테이지 상에 위치시키는 제1 기판흡착모듈;을 포함하는 마이크로 니들 제조기판 합착장비
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15
제14항에 있어서,상기 플라즈마 처리부는,상기 제1기판 또는 상기 제2기판이 안착된 상기 제1스테이지가 상기 제1레일을 따라 이송되는 경로상에 배치되는, 마이크로 니들 제조기판 합착장비
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16
제13항에 있어서,상기 제2 기판픽업부는,상기 베이스 상에 설치되는 픽업이송레일;상기 픽업이송레일 상에 상기 픽업이송레일을 따라 이동 가능하게 설치되는 제2기둥;상기 제2기둥으로부터 상기 베이스에 대해서 수평하게 연장되는 제2보;상기 제2보의 길이방향을 따라 이송되는 제2슬라이더;상기 제2슬라이더에 구비되며, 상하방향으로 이송되는 제2암;상기 제2암에 구비되며, 상기 제1스테이지 상의 상기 제1기판 또는 상기 제2기판을 흡착하는 제2기판흡착모듈;을 포함하는 마이크로 니들 제조기판 합착장비
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제7항에 있어서,상기 제2기판이송부는,상기 베이스 상에 상기 액적 적하부를 거치도록 구비되는 제2레일;상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 어느 하나가 안착되며, 상기 제2레일을 따라 이동가능하게 구비되는 제2스테이지;를 포함하는 마이크로 니들 제조기판 합착장비
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18
제8항에 있어서,상기 기판 회전부는,상기 베이스 상에 상기 제2 기판픽업부로부터 상기 기판 합착부까지 연장된 제3레일;상기 제2 기판픽업부에 의해 옮겨진 상기 제1기판 또는 상기 제2기판 중 어느 하나를 고정하는 척;상기 척을 회전시키는 척 회전모듈;상기 척 회전모듈을 상하 방향으로 승강시키는 상하 슬라이더;상기 상하 슬라이더가 구비되며, 상기 제3레일을 따라 상기 제2 기판픽업부로부터 상기 기판 합착부까지 이동 가능하도록 구비되는 수평 슬라이더;를 포함하는 마이크로 니들 제조기판 합착장비
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19
제10항에 있어서,상기 기판 합착부는,상기 베이스 상에 구비되는 하우징;상기 하우징에 구비되며, 상기 제3 기판픽업부를 통해 옮겨지는 상기 제1기판 또는 상기 제2기판 중 어느 하나 및 상기 기판 회전부에 의해 이송되는 상기 제1기판 또는 상기 제2기판 중 다른 하나가 서로 포개지도록 놓여지는 적어도 하나 이상의 제1슬롯이 형성된 트레이;상기 제1슬롯에 위치된 상기 제1기판 및 상기 제2기판이 합착된 상태의 마이크로 니들 제조 기판체의 마이크로 니들을 형성하기 위한 유체가 점적되는 도포영역이 형성된 면이 상기 베이스에 수직하도록 상기 트레이를 회전시키는 트레이 회전부;를 포함하는 마이크로 니들 제조기판 합착장비
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20
제4항에 있어서,상기 합착기판 거치부는,상기 제1기판 및 상기 제2기판이 합착된 상태의 마이크로 니들 제조 기판체의 마이크로 니들을 형성하기 위한 유체가 점적되는 도포영역이 형성된 면이 상기 베이스에 수직한 상태로 삽입되어 거치되는 제2슬롯이 회전중심과 일정거리 이격되어 적어도 하나 이상 형성된 기판체 거치드럼;상기 베이스 상에 설치되며, 어느 한 방향으로 길이방향을 갖도록 형성되는 제4레일;상기 제4레일의 길이방향 중 어느 한 측에 구비되며, 상측에 상기 기판체 거치드럼이 장착되고, 장착된 상기 기판체 거치드럼을 일정각도씩 회전시키는 로테이터;상기 제4레일의 길이방향 중 다른 한 측에 구비되며, 상단에 상기 기판체 거치드럼이 놓여지도록 구비되는 드럼 데크;상기 제4레일을 따라 상기 로테이터와 상기 드럼 데크 사이를 이동 가능하게 설치되는 제5슬라이더;상기 제5슬라이더에 승강 가능하게 구비되며, 상기 기판체 거치드럼을 지지하는 서포터;를 포함하는 마이크로 니들 제조기판 합착장비
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제4항 내지 제20항 중 어느 한 항의 마이크로 니들 제조기판 합착 장비를 제어하는 마이크로 니들 제조기판 합착장비의 제어방법에 있어서,제1기판 및 제2기판 중 적어도 어느 하나의 표면을 플라즈마 처리하는 플라즈마 처리단계;상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 어느 하나에 마이크로 니들을 형성하기 위한 유체의 액적을 적하하는 액적 적하단계;상기 제1기판 또는 상기 제2기판 중 액적이 적하되지 않는 다른 하나를 뒤집는 턴오버 단계;상기 제1기판 및 상기 제2기판을 합착하는 합착단계;상기 제1기판 및 상기 제2기판이 합착된 상태의 마이크로 니들 제조 기판체를 기판체 거치드럼에 거치하는 거치단계;를 포함하는 마이크로 니들 제조기판 합착장비 제어방법
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제21항에 있어서,상기 합착단계는,상기 액적 적하단계에서 액적이 적하된 상기 제1기판 또는 상기 제2기판 중 어느 하나를 트레이의 제1슬롯에 적치하는 적치단계;상기 턴오버 단계에서 뒤집힌 상기 제1기판 또는 상기 제2기판 중 다른 하나를 상기 제1슬롯에 적치된 상기 제1기판 또는 상기 제2기판 중 어느 하나에 포개지도록 결합시키는 결합단계;상기 제1기판 및 상기 제2기판이 합착된 상태의 마이크로 니들 제조 기판체의 마이크로 니들을 형성하기 위한 유체가 점적되는 도포영역이 형성된 면이 상기 베이스에 수직하도록 상기 트레이를 회전시키는 회전단계;를 포함하는 마이크로 니들 제조기판 합착장비 제어방법
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제22항에 있어서,상기 거치단계의 후에 거치가 완료된 상기 기판체 거치드럼을 드럼 데크로 이송하는 드럼 이송단계;를 더 포함하는 마이크로 니들 제조기판 합착장비 제어방법
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