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적색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액, 녹색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액 및 청색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액을 각각 준비하는 단계,구획된 제1, 제2 및 제3 영역을 가진 기판 위에 상기 적색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액, 상기 녹색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액 및 상기 청색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액을 각각 도포하여 적색 발광용 페로브스카이트 전구체 막, 녹색 발광용 페로브스카이트 전구체 막 및 청색 발광용 페로브스카이트 전구체 막을 형성하는 단계,상기 적색 발광용 페로브스카이트 전구체 막, 상기 녹색 발광용 페로브스카이트 전구체 막 및 상기 청색 발광용 페로브스카이트 전구체 막 위에 복수의 오목 마이크로 패턴을 가진 주형을 각각 배치하는 단계, 열처리하여 상기 복수의 오목 마이크로 패턴 내에서 상기 적색 발광용 페로브스카이트 전구체 막, 상기 녹색 발광용 페로브스카이트 전구체 막 및 상기 청색 발광용 페로브스카이트 전구체 막으로부터 각각 적색 발광용 페로브스카이트 나노결정, 녹색 발광용 페로브스카이트 나노결정 및 청색 발광용 페로브스카이트 나노결정을 얻는 단계, 그리고상기 주형을 제거하여 상기 적색 발광용 페로브스카이트 나노결정을 포함한 복수의 적색 발광용 마이크로 구조체, 상기 녹색 발광용 페로브스카이트 나노결정을 포함한 복수의 녹색 발광용 마이크로 구조체 및 상기 청색 발광용 페로브스카이트 나노결정을 포함한 복수의 청색 발광용 마이크로 구조체가 배열된 마이크로 구조체 어레이를 형성하는 단계를 포함하는 마이크로 구조체 어레이의 제조 방법
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제1항에서,상기 적색 발광용 페로브스카이트 전구체 막, 상기 녹색 발광용 페로브스카이트 전구체 막 및 상기 청색 발광용 페로브스카이트 전구체 막을 형성하는 단계는 상기 적색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액, 상기 녹색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액 및 상기 청색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액을 스핀 코팅하는 단계를 포함하는 마이크로 구조체 어레이의 제조 방법
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제2항에서,상기 적색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액, 상기 녹색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액 및 상기 청색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액을 스핀 코팅하는 단계는 상기 적색 발광용 마이크로 구조체, 상기 녹색 발광용 마이크로 구조체 및 상기 청색 발광용 마이크로 구조체의 평균 두께의 차이가 최소가 되는 스핀 코팅 속도로 수행하는 마이크로 구조체 어레이의 제조 방법
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제3항에서,상기 적색 발광용 마이크로 구조체, 상기 녹색 발광용 마이크로 구조체 및 상기 청색 발광용 마이크로 구조체의 평균 두께의 차이는 0
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제3항에서,상기 적색 발광용 마이크로 구조체, 상기 녹색 발광용 마이크로 구조체 및 상기 청색 발광용 마이크로 구조체의 각 평균 두께는 1㎛ 이하인 마이크로 구조체 어레이의 제조 방법
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제3항에서,상기 적색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액, 상기 녹색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액 및 상기 청색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액을 스핀 코팅하는 단계는 각각 3000rpm 내지 4000rpm의 스핀 코팅 속도로 수행하는 마이크로 구조체 어레이의 제조 방법
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제1항에서,상기 적색 발광용 페로브스카이트 나노결정, 상기 녹색 발광용 페로브스카이트 나노결정 및 상기 청색 발광용 페로브스카이트 나노결정의 평균 결정 크기는 각각 200nm 이하인 마이크로 구조체 어레이의 제조 방법
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제1항에서,상기 적색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액, 상기 녹색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액 및 상기 청색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액은 각각 페로브스카이트 전구체와 친수성 고분자를 포함하는 마이크로 구조체 어레이의 제조 방법
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제8항에서,상기 친수성 고분자는 폴리에틸렌옥사이드, 폴리비닐피롤리돈, 폴리에틸렌이민, 폴리아크릴아마이드, 폴리(메타)아크릴레이트, 폴리비닐알코올, 폴리에틸렌글리콜, 폴리옥사졸린, 이들의 유도체 또는 이들의 공중합체를 포함하는 마이크로 구조체 어레이의 제조 방법
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제8항에서,상기 적색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액, 상기 녹색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액 및 상기 청색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액은 각각 리간드를 더 포함하는 마이크로 구조체 어레이의 제조 방법
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제10항에서,상기 리간드는 RCOOH, RNH2, R2NH, R3N, RN3, RSH, RH2PO, R2HPO, R3PO, RH2P, R2HP, R3P, RN3O3P, ROH, RCOOR, RPO(OH)2, RPOOH, RHPOOH 또는 R2POOH (여기서, R은 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 C1 내지 C40 지방족 탄화수소, 치환 또는 비치환된 C6 내지 C40 방향족 탄화수소 또는 이들의 조합이다)로 표현되는 마이크로 구조체 어레이의 제조 방법
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제1항에서,상기 열처리하는 단계는 50 내지 200℃의 온도에서 수행하는 마이크로 구조체 어레이의 제조 방법
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제1 전극을 형성하는 단계,상기 제1 전극 위에 마이크로 구조체 어레이를 형성하는 단계, 그리고상기 마이크로 구조체 어레이 위에 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하고,상기 마이크로 구조체 어레이를 형성하는 단계는 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 따른 방법으로 수행하는 마이크로 발광 다이오드의 제조 방법
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적색 발광용 페로브스카이트 나노결정을 포함한 적색 발광용 마이크로 구조체, 녹색 발광용 페로브스카이트 나노결정을 포함한 녹색 발광용 마이크로 구조체, 그리고청색 발광용 페로브스카이트 나노결정을 포함한 청색 발광용 마이크로 구조체를 포함하고,상기 적색 발광용 마이크로 구조체, 상기 녹색 발광용 마이크로 구조체 및 상기 청색 발광용 마이크로 구조체의 평균 두께의 차이는 0
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제14항에서,상기 적색 발광용 마이크로 구조체, 상기 녹색 발광용 마이크로 구조체 및 상기 청색 발광용 마이크로 구조체의 각 평균 두께는 1㎛ 이하인 마이크로 구조체 어레이
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제14항에서,상기 적색 발광용 페로브스카이트 나노결정, 상기 녹색 발광용 페로브스카이트 나노결정 및 상기 청색 발광용 페로브스카이트 나노결정의 평균 크기 차이는 50nm 이하인 마이크로 구조체 어레이
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제14항에서,상기 적색 발광용 페로브스카이트 나노결정, 상기 녹색 발광용 페로브스카이트 나노결정 및 상기 청색 발광용 페로브스카이트 나노결정의 평균 크기는 각각 200nm 이하인 마이크로 구조체 어레이
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제14항에서,상기 적색 발광용 마이크로 구조체, 상기 녹색 발광용 마이크로 구조체 및 상기 청색 발광용 마이크로 구조체는 각각 친수성 고분자를 더 포함하는 마이크로 구조체 어레이
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제18항에서,상기 친수성 고분자는 폴리에틸렌옥사이드, 폴리비닐피롤리돈, 폴리에틸렌이민, 폴리아크릴아마이드, 폴리(메타)아크릴레이트, 폴리비닐알코올, 폴리에틸렌글리콜, 폴리옥사졸린, 이들의 유도체 또는 이들의 공중합체를 포함하는 마이크로 구조체 어레이
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제18항에서,상기 적색 발광용 마이크로 구조체, 상기 녹색 발광용 마이크로 구조체 및 상기 청색 발광용 마이크로 구조체는 상기 적색 발광용 페로브스카이트 나노결정, 상기 녹색 발광용 페로브스카이트 나노결정 및 상기 청색 발광용 페로브스카이트 나노결정의 표면에 결합된 리간드를 더 포함하는 마이크로 구조체 어레이
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제20항에서,상기 리간드는 RCOOH, RNH2, R2NH, R3N, RN3, RSH, RH2PO, R2HPO, R3PO, RH2P, R2HP, R3P, RN3O3P, ROH, RCOOR, RPO(OH)2, RPOOH, RHPOOH 또는 R2POOH (여기서, R은 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 C1 내지 C40 지방족 탄화수소, 치환 또는 비치환된 C6 내지 C40 방향족 탄화수소 또는 이들의 조합이다)로 표현되는 마이크로 구조체 어레이
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서로 마주하는 제1 전극과 제2 전극, 그리고상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 위치하는 제14항 내지 제21항 중 어느 한 항에 따른 마이크로 구조체 어레이를 포함하는 마이크로 발광 다이오드
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제22항에서,상기 마이크로 발광 다이오드는 적색을 표시하는 적색 서브화소, 녹색을 표시하는 녹색 서브화소 및 청색을 표시하는 청색 서브화소를 포함하고,상기 적색 서브화소는 상기 적색 발광용 마이크로 구조체를 포함하고,상기 녹색 서브화소는 상기 녹색 발광용 마이크로 구조체를 포함하고,상기 청색 서브화소는 상기 청색 발광용 마이크로 구조체를 포함하는마이크로 발광 다이오드
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제22항에 따른 마이크로 발광 다이오드를 포함하는 표시 장치
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