맞춤기술찾기

이전대상기술

3D 투명 태양전지의 투명창 제조 방법

  • 기술번호 : KST2022022809
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 3D 투명 태양전지의 투명창 제조 방법으로, 펄스 레이저 발생기가 자외선 파장의 펄스 레이저 빔을 발생시키는 펄스 레이저 빔 발생 단계, 대물렌즈가 상기 펄스 레이저 발생기에서 발생된 펄스 레이저 빔의 초점을 태양전지의 표면으로부터 일정간격 이격된 상기 태양전지의 내부 위치에 디포커스(defocus)하는 초점 디포커스 단계 및 작업대가 상기 태양전지를 일정간격으로 이동시키면서 상기 펄스 레이저 빔을 통해 스크라이빙(scribing)을 수행하여 상기 태양전지에 특정 폭의 투명창을 형성하는 투명창 형성 단계를 포함하는 것으로, 페로브스카이트 소재의 구성요소와 대기 중의 불안정성(습기 및 산소와의 반응성)으로 인하여 대기에 노출하여 물을 사용한 세정을 이용하는 CMP, RIE 식각, PR 마스크를 이용한 습식 식각 등의 전통적인 방식으로 원하는 패턴의 제작이 불가능한 페로브스카이트 박막 식각에 있어 펄스 레이저 스크라이빙을 이용할 경우 비접촉으로 원하는 모양의 패턴을 물이나 용매(예, 아세톤)의 사용이 없는 건식 방식으로 제작할 수 있다.
Int. CL H01L 31/0463 (2014.01.01) B23K 26/0622 (2014.01.01) B23K 26/06 (2014.01.01) B23K 26/38 (2014.01.01) B23K 26/08 (2014.01.01) H01L 31/032 (2006.01.01) H01L 31/0224 (2006.01.01) H01L 31/18 (2006.01.01)
CPC H01L 31/0463(2013.01) B23K 26/0622(2013.01) B23K 26/0648(2013.01) B23K 26/38(2013.01) B23K 26/0853(2013.01) H01L 31/032(2013.01) H01L 31/022466(2013.01) H01L 31/1876(2013.01) Y02E 10/50(2013.01)
출원번호/일자 1020210065667 (2021.05.21)
출원인 청주대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0157746 (2022.11.29) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.05.21)
심사청구항수 9

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 청주대학교 산학협력단 대한민국 충청북도 청주시 청원구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김제하 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김정수 대한민국 서울시 송파구 올림픽로 ***(방이동) *층(이수국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2021-0588215-51
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2022.10.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
펄스 레이저 발생기가 자외선 파장의 펄스 레이저 빔을 발생시키는 펄스 레이저 빔 발생 단계;대물렌즈가 상기 펄스 레이저 발생기에서 발생된 펄스 레이저 빔의 초점을 태양전지의 표면으로부터 일정간격 이격된 상기 태양전지의 내부 위치에 디포커스(defocus)하는 초점 디포커스 단계; 및작업대가 상기 태양전지를 일정간격으로 이동시키면서 상기 펄스 레이저 빔을 통해 스크라이빙(scribing)을 수행하여 상기 태양전지에 특정 폭의 투명창을 형성하는 투명창 형성 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 3D 투명 태양전지의 투명창 제조 방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 태양전지는,기판;상기 기판 상에 적층되는 제 1투명전도막; 상기 제 1투명전도막 상에 적층되는 전자수송층;상기 전자수송층 상에 적층되는 광흡수층; 상기 광흡수층 상에 적층되어 정공이 이동하는 정공수송층; 및상기 정공수송층 상에 적층되는 제 2투명전도막;을 포함하는 것을 특징으로 하는 3D 투명 태양전지의 투명창 제조 방법
3 3
제 2항에 있어서,상기 초점 디포커스 단계에서는,상기 대물렌즈가 상기 펄스 레이저 빔의 초점을 상기 기판 표면으로부터 일정간격 이격된 상기 기판의 내부 위치에 디포커스하는 것을 특징으로 하는 3D 투명 태양전지의 투명창 제조 방법
4 4
제 3항에 있어서, 상기 초점 디포커스 단계에서,디포커스 길이는 300 ㎛ 보다는 길고, 500 ㎛ 보다는 짧은 길이로 이루어지고, 상기 디포커스 길이는상기 제 2투명전도막의 표면으로부터 상기 펄스 레이저 빔의 초점이 디포커스된 상기 기판의 내부 위치까지의 길이인 것을 특징으로 하는 3D 투명 태양전지의 투명창 제조 방법
5 5
제 4항에 있어서,상기 투명창 형성 단계에서는,상기 작업대가 설정된 범위 내에서 상기 태양전지를 X축 및 Y축 방향으로 일정 간격 이동시키는 것을 특징으로 하는 3D 투명 태양전지의 투명창 제조 방법
6 6
제 5항에 있어서,상기 투명창 형성 단계에서는,상기 작업대가 상기 태양전지를 일정간격 이동시키는 경우,상기 펄스 레이저 빔에 의한 태양전지 표면에서의 셀표면 레이저 스폿이 일정 영역 중첩되는 간격으로 상기 태양전지를 이동시키는 것을 특징으로 하는 3D 투명 태양전지의 투명창 제조 방법
7 7
제 6항에 있어서,상기 투명창 형성 단계에서는,상기 태양전지를 이동시키면서 상기 펄스 레이저 빔을 통해 스크라이빙을 수행하는 경우,상기 태양전지의 이동 전후 위치에서의 상기 펄스 레이저 빔의 에너지 세기와 디포커스 위치는 각각 동일하게 유지되는 것을 특징으로 하는 3D 투명 태양전지의 투명창 제조 방법
8 8
제 7항에 있어서,상기 투명창은,상기 펄스 레이저 빔을 통한 스크라이빙에 의해 상기 태양전지의 제 2투명전도막부터 제 1투명전도막까지가 순차적으로 제거되어, 상기 기판 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 3D 투명 태양전지의 투명창 제조 방법
9 9
제 8항에 있어서, 상기 펄스 레이저 빔은,펄스 폭이 1 ns 이상 1 ㎲ 미만인 나노초;펄스 폭이 1 ps 이상 1 ns 미만인 피코초; 및펄스 폭이 1 fs 이상 1 ps 미만인 펨토초;를 포함하는 것을 특징으로 하는 3D 투명 태양전지의 투명창 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 청주대학교산학협력단 산업기술혁신사업 3D 모자익 개방눈을 갖는 투명한 무기 태양전지 모듈 개발