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기판의 상면과 하면 중 어느 일 면에 레이저와 스캐너가 적층되고, 상기 일 면의 상기 레이저 및 상기 스캐너의 주변에 디텍터가 위치된 광집적회로(photonic IC);상기 레이저와 상기 스캐너 및 상기 디텍터의 제어기와 함께 신호 분석기를 포함하는 전자집적회로(electronic IC); 및상기 전자집적회로로부터 상기 레이저, 상기 스캐너 및 상기 디텍터까지 각각 전기적으로 연결된 커넥팅 라인;을 포함하는 라이다 센서
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제 1 항에 있어서,상기 상면에 상기 레이저와 상기 디텍터가 이격 상태로 위치되고, 상기 레이저의 상부에 상기 스캐너가 위치되며,상기 스캐너는 상기 레이저로부터 입사되는 빛의 위상을 변화시켜 상기 레이저가 위치된 방향의 반대방향으로 출력하고,상기 디텍터는 상기 반대방향으로부터 입사되는 빛을 검출하는라이다 센서
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제 2 항에 있어서,상기 전자집적회로는 상기 하면에 위치되고,상기 커넥팅 라인은 상기 전자집적회로와 상기 레이저 사이, 상기 전자집적회로와 상기 스캐너 사이 및 상기 전자집적회로와 상기 디텍터 사이에 상기 기판을 관통하여 각각 형성된 홀에 마련된라이다 센서
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제 2 항에 있어서,상기 전자집적회로는 상기 상면에 위치되고,상기 커넥팅 라인은 상기 전자집적회로와 상기 레이저 사이, 상기 전자집적회로와 상기 스캐너 사이 및 상기 전자집적회로와 상기 디텍터 사이에 각각 연결된 금속 라인(metal line) 형태로 마련된라이다 센서
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제 2 항에 있어서,상기 전자집적회로는 상기 상면에 위치되고,상기 커넥팅 라인은 상기 전자집적회로와 상기 레이저 사이, 상기 전자집적회로와 상기 스캐너 사이 및 상기 전자집적회로와 상기 디텍터 사이에 각각 연결된 와이어(wire) 형태로 마련된라이다 센서
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제 1 항에 있어서,상기 하면에 상기 스캐너와 상기 디텍터가 이격 상태로 위치되고, 상기 스캐너의 하부에 상기 레이저가 위치되며,상기 스캐너는 상기 레이저로부터 입사되는 빛의 위상을 변화시켜 상기 레이저가 위치된 방향의 반대방향으로 출력하고,상기 디텍터는 상기 반대방향으로부터 입사되는 빛을 검출하는라이다 센서
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제 6 항에 있어서,상기 상면에 위치하여 빛의 반사를 억제하는 반사억제층을 더 포함하는라이다 센서
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제 6 항에 있어서,상기 상면의 표면 아래 중 상기 스캐너와 동일 위치 및 상기 디텍터와 동일 위치에 각각 마련된 렌즈를 더 포함하는라이다 센서
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제 6 항에 있어서,상기 전자집적회로는 상기 레이저 및 상기 디텍터의 하부에 위치되고,상기 커넥팅 라인은 상기 전자집적회로와 상기 레이저 사이, 상기 전자집적회로와 상기 스캐너 사이 및 상기 전자집적회로와 상기 디텍터 사이에 각각 위치된 범프(bump) 형태로 마련된라이다 센서
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