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xy 평면상에서 연장되는 수직자성박막에, y 방향으로 연장되고 상기 평면에 수직인 z 방향으로 자화되는 제1 자구(magnetic domain)와, y 방향으로 연장되고 상기 제1 자구와 반대 방향으로 자화되는 제2 자구가, x 방향을 따라 교대로 배열되는 스트라이프 패턴을 형성하는 단계;상기 수직자성박막에 상기 평면에 수평 방향인 제1 자기장을 인가함으로써 상기 제1 자구의 폭과 상기 제2 자구의 폭의 합을 감소시키는 자구 폭 감소 단계; 상기 제1 자기장이 인가되어 있는 수직자성박막에 z 방향의 수직 자기장을 인가함으로써, 상기 제1 자구의 폭과 상기 제2 자구의 폭의 합이 일정하게 유지된 상태에서 상기 제1 자구의 폭과 상기 제2 자구의 폭 중 어느 하나를 증가시키고 나머지를 감소시키는 자구 폭 변화 단계; 및상기 제1 자구의 폭과 상기 제2 자구의 폭의 비율에 기초하여 상기 수직자성박막의 자화의 절대값을 산출하는 단계를 포함하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 방법
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제1항에 있어서,상기 자구 폭 감소 단계에서, 상기 제1 자구 및 상기 제2 자구는 상기 제1 자기장의 방향을 따라 교대로 배열되는 것을 특징으로 하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 방법
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제2항에 있어서,상기 스트라이프 패턴 형성 단계에서 상기 제1 자구 및 상기 제2 자구가 배열되는 방향과, 상기 자구 폭 감소 단계에서 상기 제1 자구 및 상기 제2 자구가 배열되는 방향은 동일하거나 상이한 것을 특징으로 하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 방법
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제1항에 있어서,상기 산출 단계에서,상기 수직자성박막의 자화의 절대값은 상기 제1 자기장에 의해 상기 제1 자구 또는 제2 자구의 z 방향의 자화가 기울어진 정도에 기초하는 것을 특징으로 하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 방법
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제4항에 있어서,상기 제1 자구의 폭 및 상기 제2 자구의 폭의 합(λ), 상기 제2 자구의 폭(W), 상기 수직자성박막의 z 방향의 두께(d), 상기 z 방향으로 인가되는 수직자기장의 크기(Hz), 상기 수직자성박막의 자화의 크기(M) 및 상기 제1 자기장에 의해 상기 제1 자구 또는 제2 자구의 z 방향의 자화가 기울어진 정도(θ)는 하기의 식을 만족하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 방법
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제4항에 있어서,상기 산출 단계는,상기 제1 자구 및 상기 제2 자구의 폭이 변화된 수직자성박막의 이미지를 생성하는 단계;상기 이미지로부터 상기 제1 자구의 폭과 상기 제2 자구의 폭의 합(λ)을 산출하는 단계;상기 이미지로부터 상기 R을 산출하는 단계; 및상기 제1 자구의 폭과 상기 제2 자구의 폭의 합(λ), 상기 R 및 상기 기울어진 정도(θ)에 기초하여 상기 수직자성박막의 자화의 크기를 산출하는 단계를 포함하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 방법
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제6항에 있어서,상기 기울어진 정도는, 상기 제1 자기장을 인가했을 때 상기 제1 자구 또는 제2 자구의 z 방향의 신호의 크기를 이용하여 산출되는 것을 특징으로 하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 방법
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제6항에 있어서,상기 기울어진 정도(θ)는,상기 스트라이프 패턴 형성 단계와 상기 자구 폭 감소 단계의 사이에,상기 제1 자기장과 동일한 방향의 제2 자기장을 0을 포함하는 범위에서 변화시키면서 상기 수직자성박막에 인가하고, 상기 제2 자기장의 값이 0일 때를 기준으로 상기 수직자성박막의 제1 자구에 대해 측정된 신호의 크기와 제2 자구에 대해 측정된 신호의 크기를 정규화하고,상기 정규화된 제1 자구 및 제2 자구의 신호의 크기에 대해 평균값을 산출하고,상기 제1 자기장에 대응하는 평균값에 기초하여 상기 기울어진 정도(θ)를 산출하는 것을 특징으로 하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 방법
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제6항에 있어서,상기 기울어진 정도(θ)는,상기 스트라이프 패턴 형성 단계와 상기 자구 폭 감소 단계의 사이에,상기 제1 자기장과 동일한 방향의 제2 자기장을 음의 값에서 양의 값에 걸쳐 상기 수직자성박막에 인가하고, 상기 제2 자기장의 값이 0일 때를 기준으로 상기 수직자성박막의 제1 자구에 대해 측정된 신호의 크기와 제2 자구에 대해 측정된 신호의 크기를 정규화하고, 상기 정규화된 제1 자구 및 제2 자구의 신호의 크기의 절대값의 평균을 산출하고, 산출된 평균에 대해 상기 제2 자기장이 음의 값일 때와 양의 값일 때의 평균값을 산출하고, 상기 제1 자기장에 대응하는 평균값에 기초하여 상기 기울어진 정도(θ)를 산출하는 것을 특징으로 하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 방법
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xy 평면에서 연장되는 수직자성박막에, y 방향으로 연장되고 +z 방향으로 자화되는 제1 자구와, 상기 y 방향으로 연장되고 -z 방향으로 자화되는 제2 자구가, x 방향으로 교대로 배열되는 스트라이프 패턴을 형성하는 패턴 형성부;상기 수직자성박막에 상기 평면에 수평 방향인 제1 자기장을 인가함으로써 상기 제1 자구의 폭과 상기 제2 자구의 폭의 합을 감소시키는 수평자기장 공급부; 상기 제1 자기장이 인가되어 있는 수직자성박막에 z 방향의 수직자기장을 인가함으로써, 상기 제1 자구의 폭과 상기 제2 자구의 폭의 합이 일정하게 유지된 상태에서 상기 제1 자구의 폭과 상기 제2 자구의 폭 중 어느 하나를 증가시키고 나머지를 감소시키는 수직자기장 공급부; 및상기 제1 자구의 폭과 상기 제2 자구의 폭의 비율에 기초하여 상기 수직자성박막의 자화의 절대값을 산출하는 이미지 분석부를 포함하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 장치
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제10항에 있어서,상기 수평자기장 공급부에 의해 상기 제1 자기장이 인가됨으로써, 상기 제1 자구 및 상기 제2 자구는 상기 제1 자기장의 방향을 따라 교대로 배열되는 것을 특징으로 하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 방법
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제10항에 있어서,상기 수직자기장 및 상기 제1 자기장이 인가된 수직자성박막의 밝기를 측정하는 자성 이미징부를 더 포함하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 장치
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제12항에 있어서,상기 이미지 분석부는, 상기 수직자성박막의 밝기에 기초하여 상기 제1 자구의 폭과 상기 제2 자구의 폭의 비율을 산출하는, 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 장치
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제10항에 있어서,상기 이미지 분석부는, 상기 제1 자기장에 의해 상기 제1 자구 또는 상기 제2 자구의 z 방향의 자화가 기울어진 정도에 기초하여 상기 수직자성박막의 자화의 절대값을 산출하는 것을 특징으로 하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 장치
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제14항에 있어서,상기 제1 자구의 폭 및 상기 제2 자구의 폭의 합(λ), 상기 제2 자구의 폭(W), 상기 수직자성박막의 z 방향의 두께(d), 상기 z 방향으로 인가되는 수직자기장의 크기(Hz), 상기 수직자성박막의 자화의 크기(M) 및 상기 제1 자기장에 의해 상기 제1 자구 또는 상기 제2 자구의 z 방향의 자화가 기울어진 정도(θ)는 하기의 식을 만족하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 장치
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제14항에 있어서,상기 기울어진 정도는, 상기 제1 자기장을 인가했을 때 상기 제1 자구 또는 제2 자구의 z 방향의 신호의 크기를 이용하여 산출되는 것을 특징으로 하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 장치
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제14항에 있어서,상기 이미지 분석부는,상기 패턴형성부에 의해 스트라이프 패턴이 형성된 수직자성박막에 상기 수평자기장 공급부에 의해 상기 제1 자기장과 동일한 방향의 제2 자기장이 0을 포함하는 범위에서 변화하면서 상기 수직자성박막에 인가되었을 때, 상기 제2 자기장의 값이 0일 때를 기준으로 상기 수직자성박막의 제1 자구에 대해 측정된 신호의 크기와 제2 자구에 대해 측정된 신호의 크기를 정규화하고, 상기 정규화된 제1 자구 및 제2 자구의 신호의 크기의 절대값에 대해 평균값을 산출하고, 상기 제1 자기장에 대응하는 평균값에 기초하여 상기 기울어진 정도(θ)를 산출하는 것을 특징으로 하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 장치
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제14항에 있어서,상기 이미지 분석부는,상기 패턴형성부에 의해 스트라이프 패턴이 형성된 수직자성박막에 상기 수평자기장 공급부에 의해 상기 제1 자기장과 동일한 방향의 제2 자기장이 음의 값에서 양의 값에 걸쳐 변화하면서 상기 수직자성박막에 인가되었을 때, 상기 제2 자기장의 값이 0일 때를 기준으로 상기 수직자성박막의 제1 자구에 대해 측정된 신호의 세기와 제2 자구에 대해 측정된 신호의 세기를 정규화하고, 상기 정규화된 제1 자구 및 제2 자구의 신호의 세기의 절대값의 평균을 산출하고, 산출된 평균에 대해 상기 제2 자기장이 음의 값일 때와 양의 값일 때의 평균값을 산출하고, 상기 제1 자기장에 대응하는 평균값에 기초하여 상기 기울어진 정도(θ)를 산출하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 장치
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