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공정 챔버에서 박막 증착된 기판이 이동 챔버로 이동되고 상기 이동 챔버로 이동된 상기 박막 증착된 기판의 박막의 반사율을 반사율 측정 모듈로 측정하는 반사율 측정 단계; 상기 측정된 박막의 반사율을 보정하고 검증하는 반사율 보정 및 검증 단계; 상기 박막의 반사율과 박막의 조성비 간의 상관관계를 이용하여 상기 박막의 조성비로 변환하는 조성비 변환 단계; 상기 박막의 조성비를 기 설정된 기준치와 비교하는 조성비 비교 단계; 및상기 박막의 조성비가 기 설정된 기준치 이상인 경우 양품으로 판정하고, 상기 박막의 조성비가 기 설정된 기준치 미만인 경우 불량품으로 판정하는 품질 검사 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 상에 증착된 박막 조성비 모니터링 방법
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제 1항에 있어서, 상기 증착된 박막의 조성비가 기 설정된 기준치 미만이여서 불량품으로 판정된 경우 상기 박막 증착된 기판을 공정 챔버로 이동하여 공정 조건을 다시 변경한 후 기판 상에 박막 증착 공정을 다시 진행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 상에 증착된 박막 조성비 모니터링 방법
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제1항에 있어서,상기 반사율 측정 단계에서, 상기 반사율 측정 모듈은 상기 이동 챔버 상부에 위치된 뷰포트 윈도우 상부에 부착되어 설치되고 상기 반사율 측정 모듈은 레이저 조사부와 센서부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 상에 증착된 박막 조성비 모니터링 방법
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제 3 항에 있어서,상기 레이저 조사부는 상기 박막 증착된 기판에 광을 조사하고 상기 센서부는 상기 박막 증착된 기판의 박막 표면에서 반사된 광을 측정하여 반사율을 측정하는 것을 특징으로 하는 기판 상에 증착된 박막 조성비 모니터링 방법
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제1항에 있어서,상기 반사율 측정 단계에서, 상기 반사율 측정은 상기 박막 증착된 기판을 상기 이동 챔버 내로 로봇이 이송할 때 정지하지 않고 상기 이동 챔버의 작동 중에 진행되는 것을 특징으로 하는 기판 상에 증착된 박막 조성비 모니터링 방법
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제 1항에 있어서, 조성비 변환 단계에서, 상기 박막의 반사율과 상기 박막의 조성비 간의 상관관계는 상기 반사율 측정 모듈에 의해 측정된 상기 박막의 반사율 값과 상기 박막의 조성비의 XPS 실측 값과의 상관관계인 것을 특징으로 하는 기판 상에 증착된 박막 조성비 모니터링 방법
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제 1항에 있어서, 상기 품질 검사 단계에서, 상기 이동 챔버 내부에 상기 박막 증착된 기판이 포함된 상태에서 인시츄(In-Situ) 방식으로 실시간 모니터링 하여 품질 검사하는 것을 특징으로 하는 기판 상에 증착된 박막 조성비 모니터링 방법
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공정 챔버에서 기판 상에 박막이 증착되고 이동 챔버로 이동된 상기 기판 상에 증착된 박막의 표면에 광을 조사하여 박막 표면에 광을 입사 시키는 레이저를 포함하는 레이저 조사부;상기 기판 상에 증착된 박막의 표면에서 반사된 광을 측정하여 상기 박막의 반사율을 측정하는 센서를 포함하는 센서부; 및상기 센서에 의해 측정된 상기 박막의 반사율을 보정 및 검증하고 상기 박막의 반사율과 박막의 조성비와의 상관관계를 이용하여 상기 박막의 반사율에서 박막의 조성비로 변환하고 상기 변환된 박막의 조성비를 기 설정된 기준치와 비교하여 상기 박막이 형성된 기판의 품질 검사하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 상에 증착된 박막 조성비 모니터링 시스템
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제 8항에 있어서, 반사율 측정 모듈은 상기 레이저 조사부와 상기 센서부를 포함하고 상기 반사율 측정 모듈과 상기 제어부가 연결되는 것을 특징으로 하는 기판 상에 증착된 박막 조성비 모니터링 시스템
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제 8 항에 있어서, 상기 반사율 측정 모듈은 상기 이동 챔버 상부에 위치된 뷰포트 윈도우 상부에 부착되어 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 상에 증착된 박막 조성비 모니터링 시스템
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제 8항에 있어서, 상기 제어부에서, 품질 검사는 상기 이동 챔버 내부에 기판이 포함된 상태에서 인시츄(In-Situ) 방식으로 실시간 모니터링 하여 품질 검사하는 것을 특징으로 하는 기판 상에 증착된 박막 조성비 모니터링 시스템
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제 8항에 있어서, 상기 제어부에서, 불량품으로 판정된 경우 상기 기판은 상기 공정 챔버로 이동하고 상기 공정 챔버의 공정 조건을 변경한 후 상기 기판 상의 박막 증착 공정이 다시 진행되는 것을 특징으로 하는 기판 상에 증착된 박막 조성비 모니터링 시스템
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