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금속산화물(MexOy, 여기서 x 및 y는 자연수)이 도핑되어 있는 내플라즈마성 석영유리로서, 상기 내플라즈마성 석영유리는 하기의 반응식 1에 따른 플라즈마 화염법에 의해 금속염화물(MeaClb(a 및 b는 자연수)), 금속유기화합물(MOC) 및 산소(O2)가 반응하여 합성되는 이산화규소 분말이 소성되어 형성된 것이고,상기 금속산화물을 구성하는 금속(Me)은 Al, Ba, Bi, Cd, Cs, Pb, Mg, Sr, Sn, Y, Zr, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ga, Ge, As, Se, Br, Kr, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, Y 및 Sc로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하며, 상기 금속산화물은 상기 내플라즈마성 석영유리 내에 1∼30몰% 도핑되어 있는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 석영유리
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제1항에 있어서, 상기 금속유기화합물(MOC)은 HMCTS(hexamethylcyclotrisiloxane), OMCTS(octamethylcyclotetrasiloxane) 및 DMCPS(decamethylcyclopentasiloxane)로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 석영유리
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금속염화물(MeaClb(a는 Cl의 원자가, b는 Me의 원자가)), 금속유기화합물(MOC) 및 산소(O2) 가스를 포함하는 출발원료를 준비하는 단계;불활성 가스를 공급하면서 플라즈마 토치를 통해 플라즈마 화염을 생성하는 단계;상기 금속염화물(MeaClb(a는 Cl의 원자가, b는 Me의 원자가)), 상기 금속유기화합물(MOC) 및 상기 산소(O2) 가스를 상기 플라즈마 화염쪽으로 공급하는 단계;상기 플라즈마 화염으로 공급된 금속염화물(MeaClb(a는 Cl의 원자가, b는 Me의 원자가)), 금속유기화합물(MOC) 및 산소(O2)가 반응하여 이산화규소 분말이 합성되는 단계; 및합성된 이산화규소 분말을 소성시키고 급냉하여 금속산화물(MexOy, 여기서 x 및 y는 자연수)이 도핑되어 있는 내플라즈마성 석영유리를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 금속염화물 및 상기 금속산화물을 구성하는 금속(Me)은 Al, Ba, Bi, Cd, Cs, Pb, Mg, Sr, Sn, Y, Zr, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ga, Ge, As, Se, Br, Kr, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, Y 및 Sc로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하고, 상기 금속산화물은 상기 내플라즈마성 석영유리 내에 1∼30몰% 도핑되어 있는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 석영유리의 제조방법
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제3항에 있어서, 금속산화물(MexOy, 여기서 x 및 y는 자연수)이 도핑되어 있는 상기 내플라즈마성 석영유리는 하기의 반응식 1에 따른 플라즈마 화염법에 의해 금속염화물(MeaClb(a는 Cl의 원자가, b는 Me의 원자가)), 금속유기화합물(MOC) 및 산소(O2)가 반응하여 합성되는 이산화규소 분말이 소성되어 형성된 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 석영유리의 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 금속유기화합물(MOC)은 HMCTS(hexamethylcyclotrisiloxane), OMCTS(octamethylcyclotetrasiloxane) 및 DMCPS(decamethylcyclopentasiloxane)로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 석영유리의 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 내플라즈마성 석영유리를 형성하는 단계는, 합성된 이산화규소 분말을 포집하는 단계;포집된 이산화규소 분말을 성형하는 단계; 성형체를 소성하는 단계; 및소성체를 급냉하여 내플라즈마성 석영유리를 수득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 석영유리의 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 내플라즈마성 석영유리를 형성하는 단계는, 상기 플라즈마 화염으로 공급된 금속염화물(MeaClb(a는 Cl의 원자가, b는 Me의 원자가)), 금속유기화합물(MOC) 및 산소(O2)가 반응하여 합성되는 이산화규소 분말이 석영 유리봉을 향하여 경사지게 지향하면서 상기 석영 유리봉에 집적되게 하여 프리폼(Preform)을 형성하는 단계;퍼징(Purging)을 통해 프리폼(Preform) 내 수분과 염소(Cl2) 가스를 제거하는 단계; 수분 및 염소 가스가 제거된 프리폼을 소성하는 단계; 및소성체를 급냉하여 내플라즈마성 석영유리를 수득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 석영유리의 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 내플라즈마성 석영유리를 형성하는 단계는, 상기 플라즈마 화염으로 공급된 금속염화물(MeaClb(a는 Cl의 원자가, b는 Me의 원자가)), 금속유기화합물(MOC) 및 산소(O2)가 반응하여 합성되는 이산화규소 분말을 소성로에 담고 용융소성(Viscous sintering) 시키는 단계; 및소성된 결과물을 급냉하여 내플라즈마성 석영유리를 수득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 석영유리의 제조방법
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