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내플라즈마 특성이 우수한 석영유리 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2022023221
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 금속산화물(MexOy, 여기서 x 및 y는 자연수)이 도핑되어 있는 내플라즈마성 석영유리로서, 상기 금속산화물을 구성하는 금속(Me)은 Al, Ba, Bi, Cd, Cs, Pb, Mg, Sr, Sn, Y, Zr, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ga, Ge, As, Se, Br, Kr, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, Y 및 Sc로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하고, 상기 금속산화물은 상기 내플라즈마성 석영유리 내에 1∼30몰% 도핑되어 있는 내플라즈마성 석영유리 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 플라즈마 화염법을 이용하면서 금속염화물(MeaClb(a는 Cl의 원자가, b는 Me의 원자가)), 금속유기화합물(MOC) 및 산소(O2)를 반응시켜 내플라즈마 특성이 우수한 석영유리를 적은 비용으로 단순 공정을 통해 제조할 수가 있다.
Int. CL C03C 3/06 (2006.01.01) C03C 3/076 (2006.01.01) C03B 19/10 (2006.01.01) C03B 19/06 (2006.01.01) C03B 20/00 (2006.01.01) C01B 33/18 (2006.01.01)
CPC C03C 3/061(2013.01) C03C 3/076(2013.01) C03B 19/1025(2013.01) C03B 19/066(2013.01) C03B 20/00(2013.01) C01B 33/184(2013.01) C03B 2201/06(2013.01)
출원번호/일자 1020210071250 (2021.06.02)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0162970 (2022.12.09) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.06.02)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김형준 충청남도 천안시 서북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고길수 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 **, *층 (서초동)(정석국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.06.02 수리 (Accepted) 1-1-2021-0636067-50
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.07.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2021.10.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2022-0209712-57
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2022.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0912558-44
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번호 청구항
1 1
금속산화물(MexOy, 여기서 x 및 y는 자연수)이 도핑되어 있는 내플라즈마성 석영유리로서, 상기 내플라즈마성 석영유리는 하기의 반응식 1에 따른 플라즈마 화염법에 의해 금속염화물(MeaClb(a 및 b는 자연수)), 금속유기화합물(MOC) 및 산소(O2)가 반응하여 합성되는 이산화규소 분말이 소성되어 형성된 것이고,상기 금속산화물을 구성하는 금속(Me)은 Al, Ba, Bi, Cd, Cs, Pb, Mg, Sr, Sn, Y, Zr, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ga, Ge, As, Se, Br, Kr, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, Y 및 Sc로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하며, 상기 금속산화물은 상기 내플라즈마성 석영유리 내에 1∼30몰% 도핑되어 있는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 석영유리
2 2
제1항에 있어서, 상기 금속유기화합물(MOC)은 HMCTS(hexamethylcyclotrisiloxane), OMCTS(octamethylcyclotetrasiloxane) 및 DMCPS(decamethylcyclopentasiloxane)로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 석영유리
3 3
금속염화물(MeaClb(a는 Cl의 원자가, b는 Me의 원자가)), 금속유기화합물(MOC) 및 산소(O2) 가스를 포함하는 출발원료를 준비하는 단계;불활성 가스를 공급하면서 플라즈마 토치를 통해 플라즈마 화염을 생성하는 단계;상기 금속염화물(MeaClb(a는 Cl의 원자가, b는 Me의 원자가)), 상기 금속유기화합물(MOC) 및 상기 산소(O2) 가스를 상기 플라즈마 화염쪽으로 공급하는 단계;상기 플라즈마 화염으로 공급된 금속염화물(MeaClb(a는 Cl의 원자가, b는 Me의 원자가)), 금속유기화합물(MOC) 및 산소(O2)가 반응하여 이산화규소 분말이 합성되는 단계; 및합성된 이산화규소 분말을 소성시키고 급냉하여 금속산화물(MexOy, 여기서 x 및 y는 자연수)이 도핑되어 있는 내플라즈마성 석영유리를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 금속염화물 및 상기 금속산화물을 구성하는 금속(Me)은 Al, Ba, Bi, Cd, Cs, Pb, Mg, Sr, Sn, Y, Zr, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ga, Ge, As, Se, Br, Kr, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, Y 및 Sc로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하고, 상기 금속산화물은 상기 내플라즈마성 석영유리 내에 1∼30몰% 도핑되어 있는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 석영유리의 제조방법
4 4
제3항에 있어서, 금속산화물(MexOy, 여기서 x 및 y는 자연수)이 도핑되어 있는 상기 내플라즈마성 석영유리는 하기의 반응식 1에 따른 플라즈마 화염법에 의해 금속염화물(MeaClb(a는 Cl의 원자가, b는 Me의 원자가)), 금속유기화합물(MOC) 및 산소(O2)가 반응하여 합성되는 이산화규소 분말이 소성되어 형성된 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 석영유리의 제조방법
5 5
제3항에 있어서, 상기 금속유기화합물(MOC)은 HMCTS(hexamethylcyclotrisiloxane), OMCTS(octamethylcyclotetrasiloxane) 및 DMCPS(decamethylcyclopentasiloxane)로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 석영유리의 제조방법
6 6
제3항에 있어서, 상기 내플라즈마성 석영유리를 형성하는 단계는, 합성된 이산화규소 분말을 포집하는 단계;포집된 이산화규소 분말을 성형하는 단계; 성형체를 소성하는 단계; 및소성체를 급냉하여 내플라즈마성 석영유리를 수득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 석영유리의 제조방법
7 7
제3항에 있어서, 상기 내플라즈마성 석영유리를 형성하는 단계는, 상기 플라즈마 화염으로 공급된 금속염화물(MeaClb(a는 Cl의 원자가, b는 Me의 원자가)), 금속유기화합물(MOC) 및 산소(O2)가 반응하여 합성되는 이산화규소 분말이 석영 유리봉을 향하여 경사지게 지향하면서 상기 석영 유리봉에 집적되게 하여 프리폼(Preform)을 형성하는 단계;퍼징(Purging)을 통해 프리폼(Preform) 내 수분과 염소(Cl2) 가스를 제거하는 단계; 수분 및 염소 가스가 제거된 프리폼을 소성하는 단계; 및소성체를 급냉하여 내플라즈마성 석영유리를 수득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 석영유리의 제조방법
8 8
제3항에 있어서, 상기 내플라즈마성 석영유리를 형성하는 단계는, 상기 플라즈마 화염으로 공급된 금속염화물(MeaClb(a는 Cl의 원자가, b는 Me의 원자가)), 금속유기화합물(MOC) 및 산소(O2)가 반응하여 합성되는 이산화규소 분말을 소성로에 담고 용융소성(Viscous sintering) 시키는 단계; 및소성된 결과물을 급냉하여 내플라즈마성 석영유리를 수득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 석영유리의 제조방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국세라믹기술원 원천기술개발사업(나노미래소재원천기술개발사업) 초미세공정용 오염입자 저감 내플라즈마 소재 기술개발