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M 및 α를 조합한 M-α 소재로 형성된 펠리클층;을 포함하고,상기 M은 Si, Zr, Mo, Ru, Y, W, Ti, Ir 및 Nb 중에 하나이고, 상기 α는 B, N, C, O 및 F 중에 적어도 2개 인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제1항에 있어서,상기 M이 Nb이고, 상기 α가 B 및 C인 경우,상기 펠리클층은 Nb, B 및 C를 모두 포함하도록, NbBx(x≥1), NbCx(x≥1) 및 B4C 중에서 복수 개를 선택하여 조합되는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제1항에 있어서,상기 M이 Si이고, 상기 α가 B, N 및 C인 경우,상기 펠리클층은 Si, B, N 및 C를 모두 포함하도록, SiBxNy(x+y≥2), SiBx(x≥3), SiC, SiNx(x≥1) 및 BN 중에서 복수 개를 선택하여 조합되는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제1항에 있어서,상기 M은 Y이고, 상기 α가 B, N, O 및 F인 경우,상기 펠리클층은 Y, B, N, O 및 F를 모두 포함하도록, YOF, YBxNy(x+y≥1), YOxNy(x+y≥1), YBx(x≥2), YN, Y2O3 및 YF3 중에서 복수 개를 선택하여 조합되는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제1항에 있어서, 상기 펠리클층은,지지층;상기 지지층 위에 형성되는 코어층; 및상기 코어층 위에 형성되는 캡핑층;을 포함하고,상기 지지층, 상기 코어층 및 상기 캡핑층은 각각 M 및 α를 조합한 소재로 형성된 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제5항에 있어서,상기 코어층의 소재는 SiBxN1-x(0003c#x003c#1)이고, 상기 지지층 및 캡핑층의 소재는 SiNx(x≥1)인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제5항에 있어서,상기 코어층의 소재는 SiB6xN1-x(0003c#x003c#1)이고, 상기 지지층 및 캡핑층의 소재는 SiNx(x≥1)인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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8
제5항에 있어서,상기 코어층의 소재는 YB2xN1-x(0003c#x003c#1)이고, 상기 지지층 및 캡핑층의 소재는 SiNx(x≥1)인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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9
제5항에 있어서,상기 코어층의 소재는 YB2xN1-x(0003c#x003c#1)이고, 상기 지지층 및 캡핑층의 소재는 YBx(x≥2)인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제1항에 있어서, 상기 펠리클층은,지지층;상기 지지층 위에 형성되는 코어층;상기 코어층 일면 또는 양면에 형성되는 중간층; 및상기 중간층 위에 형성되는 캡핑층;을 포함하고,상기 지지층, 상기 코어층, 상기 중간층 및 상기 캡핑층은 각각 M 및 α를 조합한 소재로 형성된 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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11
중심 부분에 개방부가 형성된 기판; 및상기 개방부를 덮도록 상기 기판 위에 형성되며, M 및 α를 조합한 M-α 소재로 형성된 펠리클층;을 포함하고,상기 M은 Si, Zr, Mo, Ru, Y, W, Ti, Ir 및 Nb 중에 하나이고, 상기 α는 B, N, C, O 및 F 중에 적어도 2개 인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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12
제11항에 있어서, 상기 펠리클층은,상기 개방부를 덮도록 상기 기판 위에 형성되는 지지층;상기 지지층 위에 형성되는 코어층; 및상기 코어층 위에 형성되는 캡핑층;을 포함하고,상기 지지층, 상기 코어층 및 상기 캡핑층은 각각 M 및 α를 조합한 소재로 형성된 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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13
제11항에 있어서, 상기 펠리클층은,상기 개방부를 덮도록 상기 기판 위에 형성되는 지지층;상기 지지층 위에 형성되는 코어층;상기 코어층 일면 또는 양면에 형성되는 중간층; 및상기 중간층 위에 형성되는 캡핑층;을 포함하고,상기 지지층, 상기 코어층, 상기 중간층 및 상기 캡핑층은 각각 M 및 α를 조합한 소재로 형성된 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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