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MISFET과 MESFET 이종구조 융합화 기술

  • 기술번호 : KST2022023361
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 MISFET과 MESFET 이종구조 융합 소자 구조 및 그 동작 방법이 제시된다. 본 발명에서 제안하는 MISFET과 MESFET 이종구조 융합 소자는 기판 상에 적층되고, MESFET 및 MISFET의 구동 특성을 갖는 공통 소스/드레인 전극, 공통 소스/드레인 전극 사이의 기판 상에 형성되고, MESFET 및 MISFET의 구동 특성을 갖는 공통 반도체 채널, 공통 소스/드레인 전극 및 공통 반도체 채널 상에 적층되고, MISFET의 구동 특성을 갖는 게이트 절연막 및 게이트 절연막 상에 적층되고, MESFET 및 MISFET의 구동 특성을 갖는 공통 게이트 전극을 포함한다.
Int. CL H01L 29/78 (2006.01.01) H01L 29/808 (2006.01.01) H01L 29/812 (2006.01.01) H01L 29/786 (2006.01.01)
CPC H01L 29/7832(2013.01) H01L 29/8086(2013.01) H01L 29/8126(2013.01) H01L 29/786(2013.01)
출원번호/일자 1020210049819 (2021.04.16)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2475737-0000 (2022.12.05)
공개번호/일자 10-2022-0143380 (2022.10.25) 문서열기
공고번호/일자 (20221208) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.04.16)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이영택 인천광역시 연수구
2 이민종 충청북도 청주시 청원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양성보 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로***길 ** (논현동) 삼성빌딩 *층(피앤티특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.04.16 수리 (Accepted) 1-1-2021-0446643-93
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.06.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2021.09.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2022-0055153-11
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2022.07.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0528397-37
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2022.08.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2022-0915341-12
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2022.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2022-0915340-77
7 등록결정서
Decision to grant
2022.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0922249-20
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번호 청구항
1 1
기판 상에 적층되고, MESFET 및 MISFET의 구동 특성을 갖는 공통 소스/드레인 전극; 공통 소스/드레인 전극 사이의 기판 상에 형성되고, MESFET 및 MISFET의 구동 특성을 갖는 공통 반도체 채널;공통 소스/드레인 전극 및 공통 반도체 채널 상에 적층되고, MISFET의 구동 특성을 갖는 게이트 절연막; 및 게이트 절연막 상에 적층되고, MESFET 및 MISFET의 구동 특성을 갖는 공통 게이트 전극 을 포함하고, 공통 게이트 전극은, 공통 게이트 전극과 공통 반도체 채널의 직접적인 접합을 이루며 전류의 흐름을 제어하는 MESFET의 구동 특성 및 공통 게이트 전극과 공통 반도체 채널 사이에 존재하는 게이트 절연막에 의해 공통 게이트 전극으로 흐르게 되는 누설전류를 차단하는 MISFET의 구동 특성을 갖고, 공통 반도체 채널과 쇼트키 접합을 이루는 금속 물질을 포함하며, 공통 게이트 전극에 인가된 전압에 따라 ON 전류가 흐르는 동작 영역, OFF 전류가 흐르는 동작 영역 또는 SS(Subthreshold Slope)를 결정하는 동작 영역 중 어느 한 영역에서 동작하고, 상기 MISFET의 구동 특성에 의해 점멸비(on/off ratio)를 증가시키고, 상기 MESFET의 구동 특성에 의해 SS(Subthreshold Slope)를 증가시키는 이종구조 융합 소자
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삭제
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제1항에 있어서,게이트 절연막은, 공통 게이트 전극과 공통 반도체 채널을 절연시키는 절연 물질을 포함하고,공통 반도체 채널은, 공통 게이트 전극에 의해 ON/OFF 전류의 제어가 가능한 물질을 포함하고, 공통 소스/드레인 전극은, 공통 반도체 채널과 오믹 접합(Ohmic contact)을 이루는 금속 물질을 포함하는 이종구조 융합 소자
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공통 소스/드레인 전극, 공통 반도체 채널, 게이트 절연막 및 공통 게이트 전극을 포함하는 이종구조 융합 소자의 동작 방법에 있어서, 공통 소스/드레인 전극에 각각 접지 및 드레인 전압을 인가하는 단계; 공통 게이트 전극에 전압을 인가하는 단계; 및 공통 게이트 전극에 인가된 전압에 따라 ON 전류가 흐르는 동작 영역, OFF 전류가 흐르는 동작 영역 또는 SS(Subthreshold Slope)를 결정하는 동작 영역 중 어느 한 영역에서 동작하는 단계를 포함하고, 공통 게이트 전극과 공통 반도체 채널의 직접적인 접합을 이루며 전류의 흐름을 제어하는 MESFET의 구동 특성 및 공통 게이트 전극과 공통 반도체 채널 사이에 존재하는 게이트 절연막에 의해 공통 게이트 전극으로 흐르게 되는 누설전류를 차단하는 MISFET의 구동 특성을 갖고, 공통 반도체 채널과 쇼트키 접합을 이루는 금속 물질을 포함하는 공통 게이트 전극을 통해, 상기 공통 게이트 전극에 인가된 전압에 따라 ON 전류가 흐르는 동작 영역, OFF 전류가 흐르는 동작 영역 또는 SS(Subthreshold Slope)를 결정하는 동작 영역 중 어느 한 영역에서 동작하고, 상기 MISFET의 구동 특성에 의해 점멸비(on/off ratio)를 증가시키고, 상기 MESFET의 구동 특성에 의해 SS(Subthreshold Slope)를 증가시키는이종구조 융합 소자의 동작 방법
5 5
제4항에 있어서, ON 전류가 흐르는 동작 영역의 경우, 게이트 절연막을 사이에 두고 게이트 전극에 의해 공통 반도체 채널에 캐리어가 축적되어 ON 전류가 흐르는 이종구조 융합 소자의 동작 방법
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제4항에 있어서, OFF 전류가 흐르는 동작 영역의 경우, 게이트 절연막을 사이에 두고 공통 게이트 전극에 의해 공통 반도체 채널에 캐리어가 공핍되는 이종구조 융합 소자의 동작 방법
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제4항에 있어서, SS(Subthreshold Slope)를 결정하는 동작 영역의 경우, 공통 게이트 전극과 공통 반도체 채널의 직접적인 접합에 의해 캐리어가 공핍되는 이종구조 융합 소자의 동작 방법
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9 9
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1 과학기술정보통신부 인하대학교 산학협력단 우수신진연구 Lab-on-a-chip 기반 인체 pH 이상 증후 및 원인 규명을위한 휴대용 진단키트 개발