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정제 후 재사용이 가능한 육불화황(SF6)을 정제하는 육불화황 정제장치에 있어서,육불화황(SF6) 혼합물을 공급하는 공급용기를 구비하도록 형성되는 공급부;진공펌프 및 압축기를 구비하고 육불화황 혼합물을 이송시키는 회수부;상기 육불화황 혼합물에 포함된 고체 및 액체상의 불순물을 제거하는 전처리부;상기 불순물이 제거된 육불화황 혼합물을 정제하는 분리부;상기 분리부로부터 정제된 육불화황을 저장하는 저장부; 및상기 정제된 육불화황을 충전용기에 충전하도록 형성되는 충전부;를 포함하는 것으로,상기 분리부는,상기 불순물이 제거된 육불화황 혼합물을 정제하는 제1 분리부;상기 제1 분리부로부터 배기되는 제1가스를 정제하는 제2 분리부;상기 제2 분리부로부터 배기되는 제2가스를 정제하는 제3 분리부;를 포함하는 것인,육불화황 정제장치
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제1항에 있어서, 상기 제1분리부는 내부에 제1 충전재(packing materials) 및 제1 열교환부를 구비하고,상기 저장부와 연결되는 제1 연결부 및 상기 제1 분리부와 상기 제2 분리부를 연결하는 제2연결부를 포함하며,상기 제2 연결부는 상기 제2 연결부에서 분기되어 외부로 가스를 배출하는 제1 배출부를 포함하는 것인,육불화황 정제장치
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제1항에 있어서, 상기 제2분리부는 내부에 제2 충전재(packing materials) 및 제2 열교환부를 구비하고,상기 저장부와 연결되는 제3 연결부 및 상기 제2 분리부와 상기 제3 분리부를 연결하는 제4연결부를 포함하며,상기 제4 연결부는 상기 제4 연결부에서 분기되어 외부로 가스를 배출하는 제2 배출부를 포함하는 것인,육불화황 정제장치
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제3항에 있어서,상기 제2 분리부는 상기 제1 분리부로 정제된 육불화황을 재이송하는 제1 이송부를 포함하는 것인,육불화황 정제장치
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제1항에 있어서, 상기 제1 분리부 및 제2 분리부는 각 각 순도 측정장치를 포함하는 것으로,상기 순도 측정장치는 매질에 따른 적외선 흡광을 측정하는 적외선센서, 매질의 밀도에 따라 매질을 통과하는 음속을 측정하는 음속센서, 매질의 순도에 따라 열전도도 변화를 감지하는 열전도도 센서 및 미세관 내부의 매질에 따라 미세관에 인가된 규칙적인 진동의 변조를 감지하는 미세관(capillary tube) 진동 밀도 센서를 포함하는 것인,육불화황 정제장치
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제1항에 있어서, 상기 제3분리부는 내부에 분리막 모듈을 구비하고,상기 제3분리부에서 정재 된 육불화황을 재이송하는 제2 이송부 및 상기 불순물 가스를 외부로 배출하는 제3 배출부를 포함하는 것인,육불화황 정제장치
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제1항에 있어서, 상기 육불화황 정제장치는 온도, 압력, 유량, 레벨 등을 포함하는 운전인자를 계측하는 계측기 및 자동 및 수동 제어를 위한 계통 제어부를 포함하는 것인,육불화황 정제장치
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공급부로부터 육불화황(SF6) 혼합물을 전처리부로 공급하는 공급단계;상기 육불화황 혼합물에 포함된 고체 및 액체상의 불순물을 제거하는 전처리단계;상기 불순물이 제거된 육불화황 혼합물을 정제하는 정제단계;상기 정제된 육불화황을 저장하는 저장단계; 및상기 저장된 육불화황을 충전용기에 충전하는 충전단계;를 포함하는 것으로,상기 정제단계는,상기 불순물이 제거된 육불화황 혼합물을 정제하는 제1 정제단계;상기 제1 정제단계로부터 정제된 육불화황을 정제하는 제2 정제단계;상기 제2 정제단계로부터 정제된 육불화황을 정제하는 제3 정제단계;를 포함하는 것인,육불화황의 정제방법
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제8항에 있어서, 상기 공급단계는 상기 공급부의 공급용기에 수용되어 있는 육불화황 혼합물을 회수부에 압력차를 형성하여 전처리부로 공급하는 것인,육불화황의 정제방법
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제8항에 있어서, 상기 제1 정제단계는 상기 고체 및 액체상의 불순물이 제거된 육불화황 혼합물을 냉각하여 제1 육불화황 및 제1 불순물 기체로 분리하는 제1 냉각단계;상기 제1 불순물 기체를 배출하는 제1 배출단계;상기 제1 육불화황을 가열하여 기화된 제1정제 육불화황을 형성하는 단계; 및상기 제1정제 육불화황을 저장부 및 제2 분리부로 이송하는 단계;를 포함하는 것인육불화황의 정제방법
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제10항에 있어서,상기 제1 냉각 단계는 제1 충전재롤 통과하고 제1 열교환하여 냉각하는 것인,육불화황의 정제방법
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제10항에 있어서,상기 제1 배출단계는 제1 육불화황의 농도에 따라 결정된 소정의 배출온도에서 설정압력에 도달하였을 때 상기 제1 불순물 기체의 배출이 정지되도록 제어하는 것인,육불화황의 정제방법
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제10항에 있어서,상기 제1정제 육불화황을 저장부 및 제2 분리부로 이송하는 단계는 상기 제1정제 육불화황의 순도를 실시간으로 측정하고,측정한 순도에 따라 제1정제 육불화황의 흐름을 제어하는 것인,육불화황의 정제방법
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14
제13항에 있어서,상기 실시간으로 측정한 제1 정제 육불화황의 순도가 99
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제8항에 있어서, 상기 제2 정제단계는 제1 정제 육불화황을 냉각하여 제2 육불화황 및 제2 불순물 기체로 분리하는 제2 냉각단계;상기 제2 불순물 기체를 배출하는 제2 배출단계;상기 제2 육불화황을 가열하여 기화된 제2정제 육불화황을 형성하는 단계; 및상기 제2정제 육불화황을 저장부 및 제3 분리부로 이송하는 단계;를 포함하는 것인육불화황의 정제방법
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제15항에 있어서,상기 제2 냉각 단계는 제2 충전재를 통과하고 제2 열교환하여 냉각하는 것인,육불화황의 정제방법
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제15항에 있어서,상기 제2 배출단계는 제2 육불화황의 농도에 따라 결정된 소정의 배출온도에서 설정압력에 도달하였을 때 상기 제2 불순물 기체의 배출이 정지되도록 제어하는 것인,육불화황의 정제방법
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제15항에 있어서,상기 제2정제 육불화황을 저장부 및 제3 분리부로 이송하는 단계는 상기 제2정제 육불화황의 순도를 실시간으로 측정하고,측정한 순도에 따라 제2정제 육불화황의 흐름을 제어하는 것인,육불화황의 정제방법
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제18항에 있어서,상기 실시간으로 측정한 제2 정제 육불화황의 순도가 99
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제8항에 있어서, 상기 제3 정제단계는 제2 정제 육불화황을 분리막 모듈을 통과시켜 제3정제 육불화황 및 제3 불순물 기체로 분리하는 단계; 상기 제3 불순물 기체를 배출하는 제3 배출단계; 및상기 제3정제 육불화황을 제2 분리부로 재이송하는 단계;를 포함하는 것인,육불화황의 정제방법
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