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파장 폭이 넓은 파장을 가지는 하나의 초단 펄스 레이저 광을 입자에 대해 조사하는 단계; 상기 입자로부터 산란된 산란광을 복수의 대역 통과 필터(Band Pass Filter, BPF)를 포함하는 BPF 세트 내의 각 BPF를 통과시켜 대응되는 주파수 대역의 산란광만 통과시키는 단계; 및통과된 각 산란광을 하나의 광검출기에 의해 검출하여 산란광 데이터를 획득하는 단계;를 포함하는,미립자 측정 방법
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제1 항에 있어서,획득한 상기 산란광 데이터를 이용하여, 상기 각 BPF에 대응하는 주파수 대역의 산란광의 산란 단면적을 측정하고, 각 주파수 대역의 파장에 따른 RCS(Radar Cross Section)/산란 단면적 그래프를 획득하여 추출한 각 데이터에 대응되는 입자의 크기를 연산하는 단계를 포함하는,미립자 측정 방법
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제1 항에 있어서,상기 초단 펄스 레이저 광은 피코초 또는 팸코초 펄스폭을 가지는 펄스레이저인,미립자 측정 방법
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제1 항에 있어서,상기 복수의 BPF의 개수는, 주파수 대역에 따른 산란광 데이터의 개수와 동일하며, 상기 BPF의 개수는 조절 가능한,미립자 측정 방법
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파장 폭이 넓은 파장을 가지는 하나의 초단 펄스 레이저를 발생시키는 하나의 레이저 광원;상기 레이저 광원으로부터 출력된 레이저 광에 의해 입자를 조사하는 광조사수단;상기 레이저 광의 조사에 의해 발생하는 상기 입자로부터의 산란광에서 설정된 각 주파수 대역의 산란광만 통과시키는 복수의 대역통과필터(BPF)를 포함하는 BPF 세트; 및상기 BPF 세트로부터 산란광이 나오는 방향에 배치되어 상기 복수의 BPF를 통과한 산란광을 검출하는 하나의 광검출기;를 포함하는, 미립자 측정 장치
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제5 항에 있어서,상기 BPF 세트는, 산란광이 상기 BPF 세트 중 적어도 하나의 BPF를 통과하여 광검출기에 입력되는 위치로 상기 BPF 세트 중 적어도 하나의 BPF를 이동시키는 회전체에 설치되는,미립자 측정 장치
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제5 항에 있어서,상기 BPF 세트는, BPF가 통과시킬 주파수 대역을 설정하고, 설정된 각 주파수 대역의 산란광만 통과되도록 상기 BPF의 설정된 주파수 대역을 일정 시간 간격으로 변경하는 BPF 제어부를 포함하는,미립자 측정 장치
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제5 항 내지 제7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 복수의 BPF의 개수는 각 주파수 대역에 대한 산란광 데이터의 개수와 동일하며, 상기 복수의 산란광 데이터를 이용하여 상기 입자 크기를 연산하는,미립자 측정 장치
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제5 항 내지 제7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 레이저 광은 피코초 또는 팸코초 펄스폭을 가지는 펄스레이저인,미립자 측정 장치
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10
제5 항 내지 제7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 파장 폭이 넓은 파장을 가지는 하나의 펄스 레이저로부터 획득한 파장 범위가 상이한 복수의 산란광 데이터를 저장하는 메모리; 및상기 메모리에 저장된 복수의 산란광 데이터를 이용하여 각 주파수 대역의 파장에 따른 RCS(Radar Cross Section)/산란 단면적 관계를 연산하여 미립자의 입자 크기를 출력하는 연산 모듈을 더 포함하는,미립자 측정 장치
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