| 1 |
1
공기 주입부;상기 공기 주입부로부터 제1 방향으로 이격되는 제1 처리부; 및상기 제1 처리부를 사이에 두고, 상기 공기 주입부로부터 이격되는 제2 처리부를 포함하되,상기 제1 처리부는 상기 공기 주입부로부터 포집된 공기 중의 바이오 물질들을 제거하는 제1 바이오 물질 제거부, 및 상기 바이오 물질들 중 상기 제1 바이오 물질 제거부를 통과한 잔여 바이오 물질들을 분석하는 제1 모니터링부를 포함하고,상기 제2 처리부는 상기 잔여 바이오 물질들을 제거하는 제2 바이오 물질 제거부, 및 상기 잔여 바이오 물질들 중 적어도 하나의 바이오 물질이 상기 제2 바이오 물질 제거부를 통과했는지를 분석하는 제2 모니터링부를 포함하고,상기 제1 바이오 물질 제거부는 건식 공기 정화기를 포함하고,상기 제2 바이오 물질 제거부는 습식 공기 정화기를 포함하고,상기 제1 모니터링부 및 상기 제2 모니터링부의 각각은 이미지 센서를 포함하는 바이오 물질 제거 장치
|
| 2 |
2
제1 항에 있어서,상기 건식 공기 정화기의 양 끝단에 배치되는 회전부를 더 포함하되,상기 회전부의 회전에 의해 상기 건식 공기 정화기는 연속적으로 이동하고,상기 건식 공기 정화기는 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 연장되는 바이오 물질 제거 장치
|
| 3 |
3
제1 항에 있어서,상기 건식 공기 정화기는 적층된 복수의 부직포들을 포함하는 바이오 물질 제거 장치
|
| 4 |
4
제1 항에 있어서,상기 습식 공기 정화기는 용액이 제공되도록 구성된 용기, 상기 용액으로 공기를 주입시키는 공기 주입 배관, 및 상기 용기에 연결되고 상기 잔여 바이오 물질들 중 상기 적어도 하나의 바이오 물질이 제거된 상기 공기를 배출시키는 공기 배출관을 포함하되,상기 적어도 하나의 바이오 물질은 상기 용액 내에 포집되는 바이오 물질 제거 장치
|
| 5 |
5
제4 항에 있어서,용액 배출부, 및 상기 용기와 상기 용액 배출부 사이에 배치된 펌프를 더 포함하는 바이오 물질 제거 장치
|
| 6 |
6
제5 항에 있어서,공기흡입부를 더 포함하고,상기 용액 배출부는 상기 적어도 하나의 바이오 물질들이 포집된 추출 용액을 상기 제2 모니터링부에 전달하고,상기 공기 흡입부는 통기 구멍을 가지는 바이오 물질 제거 장치
|
| 7 |
7
제1 항에 있어서,상기 제2 모니터링부는 나노 광학 센서를 더 포함하되,상기 나노 광학 센서는 기판, 및 상부층을 포함하는 바이오 물질 제거 장치
|
| 8 |
8
제7 항에 있어서,상기 상부층은 반도체, 물질 전이금속 디칼코게나이드, 그래핀 및 육방정 질화붕소(hexagonal boron nitride; hBN) 중 적어도 하나를 포함하는 바이오 물질 제거 장치
|
| 9 |
9
제7 항에 있어서,상기 상부층은 InGaAsP을 포함하는 바이오 물질 제거 장치
|
| 10 |
10
제7 항에 있어서,상기 기판과 상기 상부층의 사이에 배치되는 하부층을 더 포함하되,상기 하부층은 상기 하부층을 관통하여 상기 기판의 상면의 일부를 노출시키는 복수의 나노 홀들을 포함하는 바이오 물질 제거 장치
|
| 11 |
11
제10 항에 있어서,상기 나노 홀들 각각의 직경 및 주기는 상기 제1 방향으로 가면서 변화하는 바이오 물질 제거 장치
|
| 12 |
12
제10 항에 있어서,상기 기판은 실리콘 산화물을 포함하고,상기 하부층은 실리콘을 포함하는 바이오 물질 제거 장치
|
| 13 |
13
제7 항에 있어서,평면적 관점에서, 상기 상부층은 원 형상을 가지는 바이오 물질 제거 장치
|
| 14 |
14
제13 항에 있어서,상기 상부층은 상기 상부층을 관통하여 상기 기판의 상면의 일부를 노출시키는 복수의 홀들을 포함하고,상기 홀들은 상기 상부층의 외곽 둘레에 인접하여 배치되는 바이오 물질 제거 장치
|
| 15 |
15
제7 항에 있어서,상기 제2 모니터링부는 센서 기판을 더 포함하되,상기 센서 기판은 내부에 진공 공간을 포함하고,상기 나노 광학 센서는 상기 진공 공간 내에 배치되는 바이오 물질 제거 장치
|
| 16 |
16
제1 항에 있어서,상기 제1 모니터링부는 상기 제1 바이오 물질 제거부를 통과한 공기가 주입되는 노즐 및 상기 노즐의 하면 상의 투명 기판을 포함하고,상기 이미지 센서는 상기 투명 기판의 하면 상에 배치되는 바이오 물질 제거 장치
|
| 17 |
17
제16 항에 있어서,상기 공기 중의 잔여 바이오 물질들은 상기 투명 기판의 상면 상에 부착되고,상기 이미지 센서는 상기 잔여 바이오 물질들을 촬영하는 바이오 물질 제거 장치
|
| 18 |
18
제1 항에 있어서,상기 이미지 센서는 CMOS(Complementary Metal Oxide Silicon) 이미지 센서인 바이오 물질 제거 장치
|
| 19 |
19
제1 항에 있어서,상기 공기 주입부 및 상기 제1 처리부 사이의 배관을 더 포함하되,상기 배관에 의해 상기 공기 주입부와 상기 제1 처리부가 연결되는 바이오 물질 제거 장치
|
| 20 |
20
제1 항에 있어서,상기 제2 처리부에 의해 상기 잔여 바이오 물질들이 제거된 공기를 외부로 배출시키는 공기 배출부를 더 포함하는 바이오 물질 제거 장치
|
