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1
펄스를 갖는 제1 레이저 광을 생성하는 광원;상기 제1 레이저 광을 전달받아 제2 레이저 광을 출력시키는 펄스 폭 보정장치;상기 제2 레이저 광이 통과되는 광학계;상기 광원에서 생성된 상기 제1 레이저 광의 제1 펄스 폭을 측정하는 제1 이광자 센서; 및상기 광학계를 통과한 상기 제2 레이저 광의 제2 펄스 폭을 측정하는 제2 이광자 센서를 포함하되,상기 펄스 폭 보정장치는 상기 제1 펄스 폭과 상기 제2 펄스 폭 간의 차이를 보정하는 이광자 현미경
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2
제 1항에 있어서,상기 광원에서 생성된 상기 제1 레이저 광은 근적외선 영역의 파장을 갖는 이광자 현미경
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3
제 1항에 있어서,상기 광원에서 생성된 상기 제1 레이저 광은 펨토초 펄스 폭을 갖는 이광자 현미경
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4
제 1항에 있어서,상기 펄스 폭 보정장치는 반파장판 및 편광자를 포함하는 이광자 현미경
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5
제 1항에 있어서,상기 펄스 폭 보정장치는 처프 반사 미러를 포함하는 이광자 현미경
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제 1항에 있어서,상기 펄스 폭 보정장치는 한 쌍의 프리즘들을 포함하는 이광자 현미경
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7
제 1항에 있어서,상기 펄스 폭 보정장치는 한 쌍의 회절격자들을 포함하는 이광자 현미경
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8
제 1항에 있어서,상기 펄스 폭 보정장치는 한 쌍의 그리즘들을 포함하는 이광자 현미경
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9
제 1항에 있어서,상기 펄스 폭 보정장치는 상기 광원 및 상기 광학계의 사이에 배치되고, 상기 제1 펄스 폭에 음의 분산 값을 추가한 상기 제2 펄스 폭을 가지는 상기 제2 레이저 광을 출력시키는 이광자 현미경
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10
제 1항에 있어서,상기 광학계로부터 상기 제2 레이저 광이 전달되는 시료부;상기 시료부로부터 방출되어 상기 광학계를 통과하는 검출광의 제3 펄스 폭을 측정하는 제3 이광자 센서를 더 포함하되,상기 펄스 폭 보정장치는 상기 제1 펄스 폭과 상기 제3 펄스 폭 간의 차이를 더 보정하는 이광자 현미경
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11
제 10항에 있어서,상기 광학계는 제1 광학계, 제2 광학계 및 제3 광학계를 포함하되,상기 제2 레이저 광은 상기 제1 광학계 및 상기 제2 광학계를 통과하고,상기 검출광은 상기 제2 광학계 및 상기 제3 광학계를 통과하는 이광자 현미경
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12
제 1항에 있어서,상기 광원과 상기 제1 이광자 센서의 사이에 배치되고, 상기 광원으로부터 생성된 상기 제1 레이저 광의 일부를 상기 제1 이광자 센서로 전달하는 간섭계를 더 포함하는 이광자 현미경
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13
펄스를 갖는 제1 레이저 광을 생성하는 광원;상기 제1 레이저 광을 전달받아 제2 및 제3 레이저 광을 출력시키는 간섭계;상기 제2 레이저 광의 제1 펄스 폭을 측정하는 제1 이광자 센서;상기 제3 레이저 광을 전달받아 제4 레이저 광을 출력시키는 펄스 폭 보정장치;상기 제4 레이저 광을 전달받아 제5 레이저 광을 출력시키는 광학계; 및상기 제5 레이저 광의 제2 펄스 폭을 측정하는 제2 이광자 센서를 포함하되,상기 펄스 폭 보정장치는 상기 제1 펄스 폭과 상기 제2 펄스 폭 간의 차이를 보정하는 이광자 현미경
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14
제 13항에 있어서,상기 펄스 폭 보정장치는 상기 제3 레이저 광의 펄스 폭에 음의 분산 값을 추가한 상기 제2 펄스 폭을 가지는 보정된 제4 레이저 광을 출력시키는 현미경
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15
제 13항에 있어서,상기 광학계로부터 방출되는 제6 레이저 광이 전달되는 시료부; 및상기 시료부로부터 방출되어 상기 광학계를 통과한 검출광의 제3 펄스 폭을 측정하는 제3 이광자 센서를 더 포함하되,상기 펄스 폭 보정장치는 상기 제1 펄스 폭과 상기 제3 펄스 폭 간의 차이를 더 보정하는 이광자 현미경
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16
제 15항에 있어서,상기 광학계는 제1 광학계, 제2 광학계 및 제3 광학계를 포함하되,상기 제2 레이저 광은 상기 제1 광학계 및 상기 제2 광학계를 통과하고,상기 검출광은 상기 제2 광학계 및 상기 제3 광학계를 통과하는 이광자 현미경
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17
광원으로부터 출력된 제1 레이저 광의 제1 펄스 폭을 측정하는 것;상기 제1 레이저 광이 광학계를 통과함으로써 상기 광학계로부터 출력된 제2 레이저 광의 제2 펄스 폭을 측정하는 것;상기 제1 펄스 폭 및 상기 제2 펄스 폭 간 차이를 계산하는 것; 및상기 제1 펄스 폭 및 상기 제2 펄스 폭 간 상기 차이에 대응하는 음의 분산 값을 이용하여 상기 제1 레이저 광의 상기 제1 펄스 폭을 보정하는 것을 포함하는 펄스 폭 보정방법
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18
제 17항에 있어서,상기 계산 및 상기 보정이 반복적으로 수행되는 펄스 폭 보정방법
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제 17항에 있어서,상기 보정 전의 상기 제2 펄스 폭은 상기 제1 펄스 폭 대비 양의 분산 값만큼의 차이를 갖는 펄스 폭 보정방법
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20
제 17항에 있어서,상기 제2 레이저 광을 상기 광학계로부터 시료부로 전달하는 것;상기 시료부로부터 방출되어 상기 광학계를 통과하는 검출광의 제3 펄스 폭을 측정하는 것;상기 제1 펄스 폭 및 상기 제3 펄스 폭 간 차이를 계산하는 것; 및상기 제1 펄스 폭 및 상기 제3 펄스 폭 간 차이를 보정하는 것을 포함하는 펄스 폭 보정방법
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