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제1 리간드로 둘러 쌓인 나노 입자를 기판에 코팅하여 나노 입자 박막을 형성하는 단계;상기 기판에 형성된 상기 나노 입자 박막 상의 일부분의 영역에 리간드 치환 잉크를 분사하여 상기 제1 리간드가 제2 리간드로 치환된 제1 영역 및 상기 제1 리간드가 제2 리간드로 치환되지 않는 제2영역을 형성하는 단계; 및상기 제1 영역 및 상기 제2 영역을 포함하는 상기 기판을 세척 용매로 세척하는 단계를 포함하고,상기 세척하는 단계는 상기 제2 영역을 선택적으로 제거하여 상기 제1 영역이 패턴이 되는 것을 특징으로 하는 잉크 리소그래피를 통한 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 리간드 치환 잉크에 에틸렌글리콜을 더 포함하여, 상기 리간드 치환 잉크를 분사하는 단계에서 해상도를 향상시키는 것을 특징으로 하는 잉크 리소그래피를 통한 패터닝 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 리간드는 유기 리간드인 것을 특징으로 하는 잉크 리소그래피를 통한 패터닝 방법
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제3항에 있어서, 상기 유기 리간드는 소수성의 화학 성질을 가지는 것을 특징으로 하는 잉크 리소그래피를 통한 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 제2 리간드는 무기 리간드 또는 유/무기 복합 리간드인 것을 특징으로 하는 잉크 리소그래피를 통한 패터닝 방법
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제5항에 있어서, 상기 무기 리간드 또는 유/무기 복합 리간드는 친수성의 화학 성질을 가지는 것을 특징으로 하는 잉크 리소그래피를 통한 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 리간드 치환 잉크를 분사하는 방법은 잉크젯 프린팅(Inkjet printing), 스프레이 코팅(spray coating), 캘리그라피(calligraphy) 및 드롭핑(dropping)으로 이루어진 군에서 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 잉크 리소그래피를 통한 패터닝 방법
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8
제1항에 있어서, 상기 세척 용매는 무극성 용매인 것을 특징으로 하는 잉크 리소그래피를 통한 패터닝 방법
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제8항에 있어서, 상기 무극성 용매는 소수성의 화학 성질을 가지는 나노 입자를 분산시키는 것을 특징으로 하는 잉크 리소그래피를 통한 패터닝 방법
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제8항에 있어서, 상기 무극성 용매는 옥탄(octane), 헥산(hexane), 톨루엔(toluene), 사이클로헥세인(cyclohexane), 클로로벤젠(chlorobenzene), 벤젠(benzene), 클로로포름(chloroform) 및 디에틸에테르(diethyl ether) 중에서 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 잉크 리소그래피를 통한 패터닝 방법
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