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기판에 열원을 제공하는 가열기;상기 기판의 온도 데이터를 생성하는 온도센서;상기 온도 데이터에 기초하여 열원분포를 제시하는 가열 제어기; 및상기 열원분포에 기초하여 열원을 발생시키기 위한 전력량을 산출하고, 산출된 전력량을 상기 가열기에 공급하는 열원-전력 변환기;를 포함하는 온도균일도 제어장치
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제1항에 있어서,상기 열원-전력 변환기는, 상기 가열기에서 상기 기판까지의 열전달 과정에서 발생하는 열에너지 손실 및 상기 가열 제어기로부터 전달된 상기 열원분포에 기초하여 상기 전력량을 산출하는 온도균일도 제어장치
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제1항에 있어서,상기 가열 제어기는 아래의 수치모델을 이용하여 상기 열원분포를 제시하는 온도균일도 제어장치
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제3항에 있어서,상기 열원-전력 변환기는 상기 가열 제어기로부터 입력된 열원분포의 데이터를 아래의 선형모델에 입력하여 상기 전력량을 산출하는 온도균일도 제어장치
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제4항에 있어서,상기 열원-전력 변환기는 상기 측정온도벡터 및 예상온도벡터의 데이터를 축적하고, 축적된 데이터로 계산한 최소제곱오차(Least Squares Error)가 기설정된 범위를 초과하는 시점에 상기 보상계수를 교정하는 온도균일도 제어장치
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제1항에 있어서,상기 가열 제어기는 상기 온도 데이터에 기초하여 전체 온도분포를 예측하고, 상기 전체 온도분포에 기초하여 상기 열원분포를 제시하는 온도균일도 제어장치
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기판의 온도 데이터를 생성하는 단계;상기 온도 데이터에 기초하여 열원분포를 제시하는 단계;상기 열원분포에 기초하여 열원을 발생시키기 위한 전력량을 산출하는 단계; 및상기 열원을 발생시키는 가열기에 상기 산출된 전력량을 공급하는 단계;를 포함하는 온도균일도 제어방법
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제7항에 있어서,상기 산출하는 단계는, 상기 가열기에서 상기 기판까지의 열전달 과정에서 발생하는 열에너지 손실 및 상기 가열 제어기로부터 전달된 상기 열원분포에 기초하여 상기 전력량을 산출하는 온도균일도 제어방법
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제7항에 있어서,상기 열원분포는 아래의 수치모델을 이용하여 생성되는 온도균일도 제어방법
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제9항에 있어서,상기 전력량은 아래의 선형모델에 상기 열원분포의 데이터를 입력하여 산출되는 온도균일도 제어방법
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제10항에 있어서,상기 측정온도벡터 및 예상온도벡터의 데이터를 축적하는 단계; 및축적된 데이터로 계산한 최소제곱오차(Least Squares Error)가 기설정된 범위를 초과하는 시점에 상기 보상계수를 교정하는 단계;를 더 포함하는 온도균일도 제어방법
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제7항에 있어서,상기 온도 데이터에 기초하여 상기 기판의 전체 온도분포를 예측하는 단계;를 더 포함하고,상기 열원분포를 제시하는 단계는, 예측된 상기 전체 온도분포에 기초하여 상기 열원분포를 생성하는 온도균일도 제어방법
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제12항에 있어서,상기 예측하는 단계는, 상기 기판의 형상 및 열적 거동에 대한 수치모델을 구축하는 단계;상기 기판의 측정온도의 노이즈를 조절하는 안정기 파라미터를 설정하는 단계;복수의 가열기로부터 상기 기판이 받은 열원을 예측하는 민감도 계수 행렬을 생성하는 단계;상기 가열기 각각에 입력되는 전력비에 기초하여 상기 민감도 계수 행렬을 응축하는 단계; 및소정의 온도 데이터가 입력되면, 상기 수치모델, 안정기 파라미터 및 응축된 민감도 계수 행렬에 기초하여 상기 기판의 전체 온도분포를 예측하는 단계;를 포함하는 온도균일도 제어방법
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