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원자간력 현미경용 틸트 스테이지로, 상기 스테이지는: 시료를 고정하는 상판 시료홀더;상기 상판 시료홀더와 틈새부를 사이에 두고 경첩 연결되는 하판 고정부; 상기 상판 시료홀더의 일모서리와 상기 하판 고정부의 일모서리를 연결하는 경첩부(hinge); 및상기 상판 시료홀더와 상기 하판 고정부의 경첩 연결되는 모서리의 반대편에서 상기 상판 시료홀더와 상기 하판 고정부의 간격을 조절하는 이격부를 포함하고,상기 이격부는 상기 시료홀더에서 시료 고정을 위해 사용하는 접착제로 인한 시료홀더 대비 시료의 기울기를 조절하는,원자간력 현미경용 틸트 스테이지
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제 1항에 있어서,상기 스테이지는, 수평에 대해 상기 스테이지 전체의 경사각을 조절하는 스테이지 기울기 조절 모터 및 상기 이격부의 경사각을 조절하는 이격부 조절 모터, 및 수평에 대해 상기 스테이지 전체의 경사각 및 이격부의 경사각을 측정하는 각도측정부를 더 구비하는, 원자간력 현미경용 틸트 스테이지
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제 1항에 있어서,상기 이격부는, 상기 상판 시료홀더를 관통하고 상기 하판 고정부와 접하는 볼트이고,상기 볼트의 나사산 간격은 1마이크로미터 이하이며,상기 볼트의 일 단부는 상기 하판 고정부 상면의 정해진 위치에 접하며, 타 단부는 상기 상판 시료홀더위로 돌출하여 간격조절 가능한, 원자간력 현미경용 틸트 스테이지
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제 1항에 있어서,상기 틈새부는, 일체형 몸체로부터 상기 상판 시료홀더와 상기 하판 고정부 사이에 간격을 형성하도록 공간을 형성한,원자간력 현미경용 틸트 스테이지
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제 4항에 있어서,상기 상판 시료홀더와 상기 하판 고정부는 정사각형이고, 상기 틈새부의 두께는 상판 시료홀더의 두께보다 짧으며,상기 틈새부에서 상판 시료홀더와 하판 고정부가 접하는 부위는 평균 간격보다 두께가 긴,원자간력 현미경용 틸트 스테이지
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원자간력 현미경용 틸트 스테이지를 이용한 단차 측정방법으로, 상기 측정방법은: 제 1항 내지 제 5항의 틸트 스테이지를 준비하고, 시료를 상기 틸트 스테이지의 상판 시료홀더에 고정하는 단계;상기 틸트 스테이지를 상기 원자간력 현미경에 장착하고, 수평면에 대한 상기 시료의 제1 경사각에서 상기 틸트 스테이지의 상기 경첩부와 상기 이격부 사이 단차를 반복해서 정한 수만큼 측정하는 단계; 상기 이격부를 조절하면서 상기 시료의 제n 경사각까지, 상기 경첩부와 상기 이격부 사이 단차를 반복해서 정한 수만큼 측정하는 단계;상기 각 경사각별로 라인 프로파일을 획득한 뒤, 단차 변화 위치 부분에서 전체 라인 프로파일의 변화가 일어나는 20 내지 40% 구간을 제거하는 단계; 상기 단차 변화 위치 부분 프로파일 제거 후 잔존 라인 프로파일 양단에서 두개의 추세선을 구하는 단계; 상기 두 개의 추세선의 기울기를 이용하여 기울기 변화율을 구하는 단계;상기 기울기 변화율 값을 통해 직교하는 축에서 두 추세선의 거리로 높이 단차를 구하는 단계; 및높이 단차들의 값의 정규분포를 적용하여 정해진 95% 신뢰구간에서 측정값을 구하는 단계를 포함하고,상기 시료는 단차가 상기 틸트 스테이지의 상기 경첩부와 상기 이격부 사이에 오도록 상기 시료홀더에 장착되는,원자간력 현미경용 틸트 스테이지를 이용한 단차 측정방법
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제 6항에 있어서,상기 제거하는 단계는, 상기 라인 프로파일에서 경계부분의 좌우측 범위를 설정하는 단계를 더 포함하는,원자간력 현미경용 틸트 스테이지를 이용한 단차 측정방법
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제 6항에 있어서,상기 추세선을 구하는 단계는, 상기 잔존 라인 프로파일을 평탄화(Flatten)하는 단계를 더 포함하는,원자간력 현미경용 틸트 스테이지를 이용한 단차 측정방법
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