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임의의 빛을 출력하는 복수의 LED 모듈(112, 113, 114)이 설치된 광원부(110, 110a, 110b);상기 광원부(110)에서 출력되는 빛을 시준하여 출력하는 제1 렌즈(120);상기 광원부(110)에서 출력되는 빛을 파장에 따라 반사 및 투과되도록 동작하는 빔 스플리터(130);상기 빔 스플리터(130)에서 반사 및 투과된 빛의 밝기가 균일하게 출력되도록 동작하는 플라이아이 렌즈(140); 및상기 플라이아이 렌즈(140)에서 출력되는 빛을 임의의 방향으로 집중시켜 출력되도록 동작하는 집광렌즈(150);를 포함하되,상기 LED 모듈(112, 113, 114)은 서로 다른 파장 범위의 자외선을 출력하는 것을 특징으로 하는 노광장치의 광원모듈
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제 1 항에 있어서,상기 광원부(110, 110a, 110b)는 빛의 출력방향이 서로 대향하여 출력되거나 또는 서로 직교하여 출력되도록 배치된 것을 특징으로 하는 노광장치의 광원모듈
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제 1 항에 있어서,상기 LED 모듈(112, 113, 114)은 UV-A, UV-B 및 UV-C 중 상기 UV-C를 포함한 적어도 두 개 이상의 자외선을 출력하는 것을 특징으로 하는 노광장치의 광원모듈
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제 3 항에 있어서,상기 LED 모듈(112, 113, 114)은 기판(111) 상의 일정 영역에 서로 구분하여 배치된 것을 특징으로 하는 노광장치의 광원모듈
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제 1 항에 있어서,상기 빔 스플리터(130)는 다이크로익 미러인 것을 특징으로 하는 노광장치의 광원모듈
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