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Pd의 매립과 표면 결함을 동시에 발생시키는 SnO2 나노복합체를 포함하는 이산화질소 가스센서

  • 기술번호 : KST2022024045
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 Pd가 매립되어 있는 SnO2-x 나노구조의 나노복합체를 포함하는 반도체용 NO2 가스 센서 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 SnO2 나노와이어 표면에 Pd 전구체 용액을 떨어뜨린 후 불꽃 화학 기상 증착하여 합성된 Pd가 매립되어 있는 SnO2-x 나노구조의 표면을 갖는 SnO2 나노와이어가 원래 그대로의 SnO2 나노와이어에 비해, NO2 가스에 대해 높은 응답성 및 선택성, 짧은 응답성 및 복구 시간 등의 우수한 NO2 감지 성능을 나타내고, 높은 RH 하에서 높은 응답성을 나타냄으로써 우수한 반도체용 NO2 가스 센서로 유용하게 사용할 수 있는 것에 관한 것이다.
Int. CL G01N 27/12 (2006.01.01) G01N 33/00 (2006.01.01) B82Y 15/00 (2017.01.01)
CPC G01N 27/127(2013.01) G01N 27/129(2013.01) G01N 33/0037(2013.01) B82Y 15/00(2013.01) B82Y 40/00(2013.01)
출원번호/일자 1020210075446 (2021.06.10)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0166546 (2022.12.19) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.06.10)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이규형 서울특별시 서대문구
2 진창현 인천광역시 서구
3 최명식 경기도 양주시 독바

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 노경규 대한민국 서울시 서초구 반포대로**길 ** 매강빌딩 *층(에이치앤에이치국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2021.06.10 수리 (Accepted) 1-1-2021-0671148-15
2 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2021.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2021-1357000-14
3 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2021.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2021-1512299-95
4 [우선심사신청]심사청구서·우선심사신청서
 2022.07.01 수리 (Accepted) 1-1-2022-0690249-53
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2022.07.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2022.08.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2022-0142108-96
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2022.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0609134-70
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2022.09.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2022-0966291-12
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2022.09.15 수리 (Accepted) 1-1-2022-0966290-66
10 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
 2022.10.07 수리 (Accepted) 4-1-2022-5235822-97
11 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
 2022.12.09 수리 (Accepted) 4-1-2022-5292360-75
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
Pd가 매립된 SnO2-x(0 003c# X 003c# 2) 나노구조의 표면을 갖는 SnO2 나노복합체를 포함하는 NO2 가스 센서
2 2
제1항에 있어서,상기 SnO2 나노복합체는 SnO2 나노와이어 표면에 Pd가 매립되어 있고 상기 매립된 Pd는 SnO2-x로 둘러싸여 있는 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 NO2 가스 센서
3 3
제1항에 있어서,기판;상기 기판 상에 배치된 전극; 및상기 전극 상, 하 또는 측면에 형성된 Pd가 매립된 SnO2-x(0 003c# X 003c# 2) 나노구조의 표면을 갖는 SnO2 나노복합체를 포함하는 센싱층;을 포함하는 NO2 가스 센서
4 4
기판 상에 전극을 배치시키는 단계; 및상기 전극 상, 하 또는 측면에 Pd가 매립된 SnO2-x(0 003c# X 003c# 2) 나노구조의 표면을 갖는 SnO2 나노복합체를 증착하여 센싱층을 형성하는 단계;를 포함하는, NO2 가스 센서의 제조방법
5 5
NO2가 포함된 것으로 의심되는 시료를, 청구항 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항의 NO2 가스 센서에 접촉시켜 반응시키는 단계; 및상기 반응시킨 반응물의 형광 신호, 흡광 및 광학적 변화로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 지표를 측정하는 단계를 포함하는 NO2 가스의 검출 방법
6 6
Pd가 매립된 SnO2-x(0 003c# X 003c# 2) 나노구조의 표면을 갖는 SnO2 나노복합체
7 7
제6항에 있어서,상기 SnO2 나노복합체는 SnO2 나노와이어 표면에 Pd가 매립되어 있고 상기 매립된 Pd는 SnO2-x로 둘러싸여 있는 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 SnO2 나노복합체
8 8
팔라듐 클로라이드(PdCl2) 및 용매를 혼합하여 용액을 제조하는 단계;상기 용액을 SnO2 나노와이어 표면에 떨어뜨리는 단계; 및상기 SnO2 나노와이어에 불꽃 화학 기상 증착으로 불꽃을 조사하는 단계;를 포함하는, Pd가 매립된 SnO2-x(0 003c# X 003c# 2) 나노구조의 표면을 갖는 SnO2 나노복합체의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 연세대학교 산학협력단 혁신성장 선도 고급연구인재 성장지원(KIURI) 사업 극한물성 소재-초고부가 부품 KIURI 연구단
2 산업통상자원부 연세대학교 산학협력단 산업기술거점센터육성시범사업 [RCMS] 초임계 소재 산업기술거점센터(2/3)
3 교육부 연세대학교 산학협력단 대학중점연구소지원 (후속연구) 나노과학기술연구소