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다공성 산화아연 나노시트를 이용한 고감도, 고안정성 이산화질소 가스 센서

  • 기술번호 : KST2022024046
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다공성 산화아연 나노시트를 이용한 반도체용 NO2 가스 센서 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 다공성 산화아연 나노시트가 NO2 가스에 대하여 탁월한 감응도를 나타내고, 반복측정 안정성, 장기 안정성, 다습환경 안정성, 선택적 가스 감응 안정성 등 반도체식 가스센서의 약점으로 평가되는 안정성 측면에서 높은 센서 특성을 나타냄으로써, 우수한 반도체용 NO2 가스 센서로 유용하게 사용할 수 있는 것에 관한 것이다.
Int. CL G01N 33/00 (2006.01.01)
CPC G01N 33/0037(2013.01)
출원번호/일자 1020210075449 (2021.06.10)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0166548 (2022.12.19) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.06.10)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이규형 서울특별시 마포구
2 최명식 인천광역시 서구
3 김민영 부산광역시 사하구
4 진창현 인천광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 노경규 대한민국 서울시 서초구 반포대로**길 ** 매강빌딩 *층(에이치앤에이치국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2021.06.10 수리 (Accepted) 1-1-2021-0671163-01
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2021.08.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2021.10.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2022-0152152-74
4 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2021.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2021-1356967-60
5 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2021.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2021-1512284-11
6 [우선심사신청]심사청구서·우선심사신청서
 2022.07.01 수리 (Accepted) 1-1-2022-0690245-71
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2022.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0652694-13
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2022.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2022-1036303-93
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2022.09.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2022-1036304-38
10 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
 2022.10.07 수리 (Accepted) 4-1-2022-5235822-97
11 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
 2022.12.09 수리 (Accepted) 4-1-2022-5292360-75
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
다공성 산화아연 나노시트를 포함하는 NO2 가스 센서
2 2
제1항에 있어서,기판; 기판 상 배치된 전극; 및 상기 전극 상, 하 또는 측면에 형성된 다공성 산화아연 나노시트를 포함하는 센싱층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 NO2 가스 센서
3 3
제1항에 있어서,상기 다공성 산화아연 나노시트는아연 전구체와 질소화합물을 1용액에 혼합하고 균일하게 교반하여 혼합물을 제조하는 제1단계;상기 혼합물을 테플론 용기에 옮겨 수열합성법을 통해 열처리하여 산화아연 파우더를 수득하는 제2단계;상기 산화아연 파우더를 진공 건조시키는 제3단계; 및상기 제3단계에서 건조된 산화아연파우더를 어닐링(Annealing)하여 다공성 산화아연 나노시트를 얻는 제4단계;를 포함하는 방법으로 제조된 것을 특징으로 하는 NO2 가스 센서
4 4
제1항에 있어서,상기 다공성 산화아연 나노시트는 두께가 80 nm 이하, 넓이가 0
5 5
아연 전구체와 질소화합물을 1용액에 혼합하고 균일하게 교반하여 혼합물을 제조하는 제1단계;상기 혼합물을 테플론 용기에 옮겨 수열합성법을 통해 열처리하여 산화아연 파우더를 수득하는 제2단계;상기 산화아연 파우더를 진공 건조시키는 제3단계; 및상기 제3단계에서 건조된 산화아연파우더를 어닐링(Annealing)하여 다공성 산화아연 나노시트를 얻는 제4단계;를 포함하는, NO2 가스 센서의 제조방법
6 6
제 5항에 있어서,기판 상에 전극을 형성하는 단계; 및상기 전극 상, 하 또는 측면에 다공성 산화아연 나노시트를 형성하는 단계;를 포함하는 NO2 가스 센서의 제조방법
7 7
NO2 가스가 포함된 것으로 의심되는 시료를, 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 가스 센서에 접촉시켜 반응시키는 단계; 및상기 반응시킨 반응물의 형광 신호, 흡광 및 광학적 변화로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 지표를 측정하는 단계를 포함하는 NO2 가스의 검출 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 연세대학교 산학협력단 혁신성장 선도 고급연구인재 성장지원(KIURI) 사업 극한물성 소재-초고부가 부품 KIURI 연구단
2 산업통상자원부 연세대학교 산학협력단 산업기술거점센터육성시범사업 [RCMS] 초임계 소재 산업기술거점센터(2/3)
3 교육부 연세대학교 산학협력단 대학중점연구소지원 (후속연구) 나노과학기술연구소