맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

유전체 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2022024079
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 유전체 박막의 제조방법이 개시된다. ALD 공정등을 통해 형성된 유전체 박막에 H2O2가 공급되며, 유전체 박막에 UV 광이 조사된다. UV 광의 조사에 의해 OH기가 생성되며, 생성된 OH기는 유전체 박막내 금속원자와 반응하여 산화물을 형성한다. 이를 통해 유전체 박막의 표면 및 내부 결함은 감소하고, 신뢰성이 개선된다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) C23C 16/40 (2006.01.01) C23C 16/455 (2006.01.01) C23C 16/56 (2006.01.01)
CPC H01L 21/02348(2013.01) H01L 21/02175(2013.01) H01L 21/0228(2013.01) H01L 21/02337(2013.01) C23C 16/405(2013.01) C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/56(2013.01)
출원번호/일자 1020210072887 (2021.06.04)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0164300 (2022.12.13) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.06.04)
심사청구항수 12

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이병훈 경상북도 포항시 남구
2 쏨 쑤라짓 경상북도 포항시 남구
3 김승모 경상북도 포항시 남구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2021.06.04 수리 (Accepted) 1-1-2021-0649798-11
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2022.11.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유전체 박막을 형성하는 단계;상기 유전체 박막에 H2O2를 공급하는 단계; 및상기 H2O2가 공급된 유전체 박막에 UV 광을 조사하는 단계를 포함하는 유전체 박막의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 유전체 박막은 산화물인 것을 특징으로 하는 유전체 박막의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 유전체 박막은 ALD 공정을 통해 형성되는 것을 특징으로 하는 유전체 박막의 제조방법
4 4
제2항에 있어서, 상기 산화물은 HfO2인 것을 특징으로 하는 유전체 박막의 제조방법
5 5
제4항에 있어서, 상기 UV 광의 조사에 의해 상기 H2O2는 OH기로 분해되는 것을 특징으로 하는 유전체 박막의 제조방법
6 6
제5항에 있어서, 상기 유전체 박막의 미반응 Hf는 상기 OH기와 화학적 결합을 통해 HfO2로 형성되는 것을 특징으로 하는 유전체 박막의 제조방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 UV 광의 조사에 의해 상기 유전체 박막의 두께는 증가하는 것을 특징으로 하는 유전체 박막의 제조방법
8 8
제5항에 있어서, 상기 UV 광의 조사에 의해 딥 레벨 트랩은 감소되는 것을 특징으로 하는 유전체 박막의 제조방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 유전체 박막은 유전체 박막은 SiO2 보다 높은 유전상수를 가지는 것을 특징으로 하는 유전체 박막의 제조방법
10 10
제9항에 있어서, 상기 유전체 박막은 HfO2, ZrO2, Y2O3, Ta2O3, La2O3, Hf-silicate, Zr-silicate 또는 HfZrO를 가지는 것을 특징으로 하는 유전체 박막의 제조방법
11 11
유전체 박막을 형성하는 단계;상기 유전체 박막에 H2O2를 공급하고, 상기 H2O2에서 분해된 산소를 통해 상기 유전체 박막의 표면을 1차 산화시키는 단계; 및상기 1차 산화 이후, 상기 유전체 박막에 UV 광을 조사하여 잔류하는 상기 H2O2를 OH기로 분해하여 유전체 박막의 표면으로부터 2차 산화를 진행하는 단계를 포함하는 유전체 박막의 제조방법
12 12
제11항에 있어서, 상기 2차 산화를 통해 상기 유전체 박막의 딥 레벨 트랩은 감소되는 것을 특징으로 하는 유전체 박막의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 포항공과대학교 나노·소재기술개발(R＆D) 그래핀 배리스터 기반 삼진로직 소자 개발 및 집적공정 연구
2 과학기술정보통신부 광주과학기술원 미래소재디스커버리지원(R＆D) 다중 정전용량 소재 및 멤커패시터 응용 기초기술 개발
3 과학기술정보통신부 포항공과대학교 차세대지능형반도체기술개발(R＆D) 신소자 및 CMOS 동시 집적을 위한 8인치 공정 플랫폼 개발