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150nm 내지 300nm의 직경을 갖는 조대 분말과;100nm 이하의 나노 분말을 포함하는 알루미나 소결체
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제1 항에 있어서,상기 나노 분말은 상기 조대 분말의 공극에 상응하는 양으로 제공되는 알루미나 소결체
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제1 항에 있어서,상기 알루미나 소결체 100 중량부에 대하여, 상기 조대 분말 70 중량부 내지 90 중량부; 및상기 나노 분말 10 중량부 내지 30 중량부를 포함하는 알루미나 소결체
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150nm 내지 300nm의 직경을 갖는 조대 분말을 준비하는 단계;100nm 이하의 나노 분말을 준비하는 단계;상기 나노 분말은 습식 분쇄하는 단계; 및상기 습식 분쇄된 나노 분말과 상기 조대 분말을 혼합하고 성형하여 소결하는 단계를 포함하는 알루미나 소결체의 제조 방법
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제4 항에 있어서,상기 나노 분말은 상기 조대 분말의 공극에 상응하는 양으로 제공되는 알루미나 소결체의 제조 방법
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제4 항에 있어서,상기 알루미나 소결체 100 중량부에 대하여, 상기 조대 분말 70 내지 90 중량부; 및상기 나노 분말 10 내지 30 중량부를 포함하는 알루미나 소결체의 제조 방법
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제1 항 내지 제3 항 중 어느 하나의 알루미나 소결체로 이루어지는 유전체 기판과;상기 유전체 기판의 하면에 제공되는 전극을 포함하는 정전척
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