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탄화 규소 분말, 점토 분말 및 전도성 금속 분말을 준비하는 단계;상기 탄화 규소 분말, 점토 분말 및 전도성 금속 분말을 혼합 및 분쇄하여 분쇄된 분말을 형성하는 단계; 및상기 분쇄된 분말을 소결하여 뮬라이트 및 전도성 규화물을 포함하는 다공성 탄화규소계 구조체를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다공성 탄화규소계 발열 필터 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 다공성 탄화규소계 구조체를 형성하는 단계에서, 1100°C 내지 1400°C 온도로 소결하는 것을 특징으로 하는 다공성 탄화규소계 발열 필터 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 분쇄된 분말을 형성하는 단계에서, 물 또는 알코올을 용매로 사용하여 볼 밀링 기법에 의해 혼합 및 분쇄하는 것을 특징으로 하는 다공성 탄화규소계 발열 필터 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 분쇄된 분말을 형성하는 단계에서, 전도성 산화물, 전도성 질화물, 정도성 붕화물을 더 포함하여 혼합 및 분쇄하는 것을 특징으로 하는 다공성 탄화규소계 발열 필터 제조방법
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제 4항에 있어서, 상기 전도성 산화물, 전도성 질화물 또는 전도성 붕화물은 Mn3O4, MnO2, MnO4, TiO2, CrO2, Ti2O3, Fe3O4, VO, VO2, CoO, MoO2, TiN, TiB2 에서 선택된 1종을 포함하는 것을 특징으로 하는 다공성 탄화규소계 발열 필터 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 전도성 금속 분말의 함량은 5wt % 내지 25 wt % 인 것을 특징으로 하는 다공성 탄화규소계 발열 필터 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 전도성 금속 분말 입자의 크기는 0
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제 1항에 있어서, 상기 뮬라이트는 상기 점토가 상기 탄화규소와 반응하여 형성된 것을 특징으로 하는 다공성 탄화규소계 발열 필터 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 전도성 규화물은 상기 탄화규소와 전도성 금속이 반응하여 전도성 금속을 포함하는 실리사이드 상인 것을 특징으로 하는 다공성 탄화규소계 발열 필터 제조방법
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탄화 규소;뮬라이트; 및 전도성 규화물;을 포함하는 것을 특징으로 하는 다공성 탄화규소계 발열 필터
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제 10항에 있어서, 상기 뮬라이트는 점토가 상기 탄화규소와 반응하여 형성된 것을 특징으로 하는 다공성 탄화규소계 발열 필터
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제 10항에 있어서, 상기 전도성 규화물은 상기 탄화규소와 전도성 금속이 반응하여 형성된 것을 특징으로 하는 다공성 탄화규소계 발열 필터
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13
제 10항에 있어서, 상기 전도성 규화물은 전도성 금속을 포함하는 실리사이드 상인 것을 특징으로 하는 다공성 탄화규소계 발열 필터
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제 10항에 있어서, 전도성 산화물, 전도성 질화물 또는 전도성 붕화물을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다공성 탄화규소계 발열 필터
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제 14항에 있어서, 상기 전도성 산화물, 전도성 질화물 또는 전도성 붕화물은 Mn3O4, MnO2, MnO4, TiO2, CrO2, Ti2O3, Fe3O4, VO, VO2, CoO, MoO2, TiN, TiB2 에서 선택된 1종을 포함하는 것을 특징으로 하는 다공성 탄화규소계 발열 필터
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제 10항에 있어서, 상기 다공성 탄화규소계 발열 필터는 미세 기공의 크기가 0
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