| 1 |
1
기판;상기 기판 상에서 제1 방향으로 연장되는 광 도파로; 및상기 기판 상에서 상기 광 도파로에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 인접하는 링 공진기를 포함하되,상기 링 공진기는: 상기 기판 상의 제1 그래핀층 및 제2 그래핀층; 상기 기판 및 상기 제1 그래핀층 사이의 제1 절연층; 상기 제1 그래핀층 및 상기 제2 그래핀층 사이의 제2 절연층; 상기 제1 그래핀층과 연결되는 제1 전극 및 제2 전극; 및 상기 제2 그래핀층과 연결되는 제3 전극을 포함하고,상기 제1 그래핀층, 상기 제2 그래핀층, 상기 제1 절연층 및 상기 제2 절연층은 링 형상 또는 일 부분이 개방된 링 형상을 갖는 광 소자
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 제1 절연층 및 상기 제2 절연층은 육방정 질화 붕소(hexagonal boron nitride)를 포함하고,상기 제1 및 제2 그래핀층들 및 상기 제1 및 제2 절연층들의 접합들은 반 데르 발스 이종 접합인 광 소자
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 제1 절연층의 두께는 상기 제2 절연층의 두께보다 큰 광 소자
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서,상기 제1 그래핀층은 일 부분이 개방된 링 형상을 갖고,상기 제1 전극은 상기 제1 그래핀층의 일 단부와 연결되고,상기 제2 전극은 상기 제1 그래핀층의 타 단부와 연결되고,상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 서로 이격되는 광 소자
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서,상기 제2 그래핀층은 일 부분이 개방된 링 형상을 갖고,상기 제3 전극은 상기 제2 그래핀층의 일 단부 및 타 단부 모두에 연결되는 광 소자
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서,상기 제1 그래핀층 및 상기 제2 그래핀층은 상기 제2 절연층을 사이에 두고 서로 이격되는 광 소자
|
| 7 |
7
제 1 항에 있어서,상기 링 공진기는 복수로 제공되고,상기 링 공진기들은 상기 광 도파로의 일 측면에 상기 제1 방향을 따라 나란히 배열되는 광 소자
|
| 8 |
8
제 1 항에 있어서,상기 링 공진기는 복수로 제공되고,상기 링 공진기들은 상기 광 도파로의 양 측면에 지그재그 형태로 배열되는 광 소자
|
| 9 |
9
제 1 항에 있어서,상기 제1 및 제2 그래핀층들, 상기 제1 및 제2 절연층들 각각의 상면의 직경은 서로 동일하고,상기 제1 및 제2 그래핀층들, 상기 제1 및 제2 절연층들의 측벽들은 서로 정렬되는 광 소자
|
| 10 |
10
제 1 항에 있어서,상기 링 공진기의 상기 제1 내지 제3 전극들에 인가되는 전압의 크기, 주기 및 타이밍을 제어하는 것을 통해 광원, 광 검출기 또는 광 변조기로 이용되는 광 소자
|
| 11 |
11
기판, 상기 기판 상에서 일 방향으로 연장되는 광 도파로, 및 상기 기판 상에서 차례로 적층된 제1 절연층, 제1 그래핀층, 제2 절연층 및 제2 그래핀층, 상기 제1 그래핀층에 연결된 제1 전극 및 제2 전극 및 상기 제2 그래핀층에 연결된 제3 전극을 포함하는 링 공진기를 포함하는 광 소자에 있어서,상기 제1 전극에 제1 전압을 인가하는 것을 포함하고,상기 제1 그래핀층, 상기 제2 그래핀층, 상기 제1 절연층 및 상기 제2 절연층은 링 형상 또는 일 부분이 개방된 링 형상을 갖고,상기 제1 절연층 및 상기 제2 절연층은 육방정 질화 붕소(hexagonal boron nitride)를 포함하고,상기 제1 및 제2 그래핀층들 및 상기 제1 및 제2 절연층들의 접합들은 반 데르 발스 이종 접합인 광 소자의 동작 방법
|
| 12 |
12
제 11 항에 있어서,상기 제2 전극을 접지시키는 것; 및상기 링 공진기로부터 광을 방출하는 것을 더 포함하되,상기 제1 전압은 직류 전압, 교류 전압 또는 펄스 전압인 광 소자의 동작 방법
|
| 13 |
13
제 11 항에 있어서,상기 제2 전극을 접지시키는 것; 및상기 제3 전극에 제2 전압을 인가하는 것을 더 포함하되,상기 제1 전압 및 상기 제2 전압은 펄스 전압이고,상기 제1 전압의 펄스 지속 시간 및 상기 제2 전압의 펄스 지속 시간은 서로 다른 광 소자의 동작 방법
|
| 14 |
14
제 13 항에 있어서,상기 제1 전압의 펄스 지속 시간은 상기 제2 전압의 펄스 지속 시간보다 큰 광 소자의 동작 방법
|
| 15 |
15
제 13 항에 있어서,상기 제1 전압의 펄스 지속 시간 및 상기 제2 전압의 펄스 지속 시간의 차이는 10 fs 내지 10 ns인 광 소자의 동작 방법
|
| 16 |
16
제 11 항에 있어서,상기 링 공진기로 광을 입사시키는 것;상기 제3 전극에 제2 전압을 인가하는 것;상기 제2 전극에 전류계를 연결하는 것; 및상기 전류계로 상기 제2 그래핀층으로부터 상기 제2 절연층을 통해 상기 제1 그래핀층으로 전달되는 전자의 흐름을 측정하는 것을 더 포함하는 광 소자의 동작 방법
|
| 17 |
17
기판, 상기 기판 상에서 일 방향으로 연장되는 광 도파로, 및 상기 기판 상에서 차례로 적층된 제1 절연층, 제1 그래핀층, 제2 절연층 및 제2 그래핀층, 상기 제1 그래핀층에 연결된 제1 전극 및 제2 전극 및 상기 제2 그래핀층에 연결된 제3 전극을 포함하는 링 공진기를 포함하는 광 소자에 있어서,상기 광 도파로로 입력광을 입력하는 것;상기 제3 전극에 인가되는 전압을 제어하는 것; 및상기 광 도파로로부터 출력광을 출력하는 것을 포함하되,상기 제1 그래핀층, 상기 제2 그래핀층, 상기 제1 절연층 및 상기 제2 절연층은 링 형상 또는 일 부분이 개방된 링 형상을 갖고,상기 제1 절연층 및 상기 제2 절연층은 육방정 질화 붕소(hexagonal boron nitride)를 포함하고,상기 제1 및 제2 그래핀층들 및 상기 제1 및 제2 절연층들의 접합들은 반 데르 발스 이종 접합인 광 소자의 동작 방법
|
| 18 |
18
제 17 항에 있어서,상기 제3 전극에 인가되는 전압을 제어하는 것은 상기 제3 전극에 주기적으로 전압을 인가하는 것인 광 소자의 동작 방법
|
| 19 |
19
제 18 항에 있어서,상기 제3 전극에 인가되는 전압은 약 0
|
| 20 |
20
제 18 항에 있어서,상기 제3 전극이 인가되지 않은 경우의 상기 제2 그래핀층의 페르미 레벨은 상기 제3 전극이 인가된 경우의 상기 제2 그래핀층의 페르미 레벨보다 높은 광 소자의 동작 방법
|
