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레이저 제어구조체 및 이를 이용한 레이저 접합 방법

  • 기술번호 : KST2022024431
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 레이저 제어구조체 및 이를 이용한 레이저 접합 방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는 기판 상에 접합부들을 형성하는 것; 상기 접합부들 상에 접합 대상을 제공하는 것; 상기 기판 또는 상기 접합 대상 상에 레이저 제어구조체를 제공하는 것; 상기 접합 대상 및 상기 접합부들을 향해 레이저를 조사하는 것; 상기 레이저 제어구조체를 통해 흡수되는 레이저의 광양을 조절하는 것; 조절된 상기 레이저 광양을 이용하여 상기 접합부들 및 상기 접합 대상을 접합 온도로 가열하는 것; 및 상기 접합부들과 상기접합 대상을 접합하는 것을 포함하되, 상기 레이저 제어구조체는: 제1영역 및 제2영역을 포함하는 제1 기판; 상기 제1영역 상의 제1 박막적층체; 및 상기 제2영역 상의 제2 박막적층체 포함하며, 상기 제1 박막적층체는 상기 제1영역 상에 적층된 적어도 하나의 제1 박막층 및 적어도 하나의 제2 박막층을 포함하고, 상기 제2 박막적층체는 상기 제2영역 상에 적층된 적어도 하나의 제3 박막층 및 적어도 하나의 제4 박막층을 포함하며, 상기 제1 박막적층체의 레이저에 대한 반사율 또는 흡수율이 상기 제2 박막적층체의 반사율 또는 흡수율과 다르고, 흡수된 상기 레이저의 광양에 따라 상기 접합 온도가 달라질 수 있다.
Int. CL H01L 23/00 (2006.01.01) B23K 26/20 (2014.01.01) B23K 26/06 (2014.01.01)
CPC H01L 24/83(2013.01) H01L 24/28(2013.01) B23K 26/20(2013.01) B23K 26/0626(2013.01) H01L 2224/83224(2013.01)
출원번호/일자 1020220073094 (2022.06.15)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0169907 (2022.12.28) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020210080104   |   2021.06.21
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2022.06.15)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장기석 대전광역시 유성구
2 엄용성 대전광역시 유성구
3 최광문 대전광역시 유성구
4 최광성 대전광역시 유성구
5 주지호 대전광역시 유성구
6 문석환 대전광역시 유성구
7 이찬미 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2022.06.15 수리 (Accepted) 1-1-2022-0626484-31
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 접합부들을 형성하는 것;상기 접합부들 상에 접합 대상을 제공하는 것;상기 기판 또는 상기 접합 대상 상에 레이저 제어구조체를 제공하는 것; 상기 접합 대상 및 상기 접합부들을 향해 레이저를 조사하는 것;상기 레이저 제어구조체를 통해 흡수되는 상기 레이저의 광양(quantity of laser light)을 조절하는 것;조절된 상기 레이저 광양을 이용하여 상기 접합부들 및 상기 접합 대상을 접합 온도로 가열하는 것; 및상기 접합부들과 상기 접합 대상을 접합하는 것을 포함하되,상기 레이저 제어구조체는:제1 영역 및 제2 영역을 포함하는 제1 기판;상기 제1영역 상의 제1 박막적층체; 및상기 제2영역 상의 제2 박막적층체 포함하며,상기 제1 박막적층체는 상기 제1영역 상에 적층된 적어도 하나의 제1 박막층 및 적어도 하나의 제2 박막층을 포함하고,상기 제2 박막적층체는 상기 제2영역 상에 적층된 적어도 하나의 제3 박막층 및 적어도 하나의 제4 박막층을 포함하며,상기 제1 박막적층체의 레이저에 대한 반사율 또는 흡수율이 상기 제2 박막적층체의 반사율 또는 흡수율과 다르고,흡수된 상기 레이저의 광양에 따라 상기 접합 온도가 달라지는 레이저 접합 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 접합부들은 제1 접합부 및 제2 접합부를 포함하고,상기 접합 대상은 제1 서브 접합 대상 및 제2 서브 접합 대상을 포함하되,상기 접합 온도로 가열하는 것은, 흡수된 상기 레이저의 광양을 이용하여 상기 제1 및 제2 접합부들 및 상기 제1 및 제2 서브 접합 대상들을 각각 제1 접합 온도 및 제2 접합 온도로 가열하는 것을 포함하고,상기 접합하는 것은, 상기 제1 및 제2 접합부들과 상기 제1 및 제2 서브 접합 대상들을 각각 접합하는 것을 포함하되,상기 레이저의 광양에 의해 가열된 상기 제1 접합 온도는 상기 레이저 광양에 의해 가열된 상기 제2 접합 온도와 다른 레이저 접합 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 박막적층체들의 두께가 다른 레이저 접합 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 박막적층체들이 패터닝되어 제공되는 레이저 접합 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 제1 기판은 PDMS(Polydimethylsiloxane), 유리, 쿼츠 또는 이들의 조합을 포함하는 레이저 접합 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 제1 내지 제4 박막층들은 SiO2, SiNx, 금속, 세라믹 또는 이들의 조합을 포함하는 레이저 접합 방법
7 7
제1항에 있어서,상기 제1 내지 제4 박막층들은 세슘 텅스텐 산화물(CWO), 육 붕소화 란탄, 인듐 주석 산화물(ITO), 안티몬 산화 주석(ATO) 또는 이들의 조합을 포함하는 레이저 접합 방법
8 8
제1항에 있어서,상기 접합부들은:페이스트(paste) 형태 또는 필름(film) 형태를 가지며,베이스 레진;환원제;경화제; 및촉매를 포함하는 레이저 접합 방법
9 9
제8항에 있어서,상기 접합부들은 도전성 필러를 더 포함하되,상기 도전성 필러는 주석, 은, 구리, 납, 인듐, 비스무트(Bi), 카드뮴, 안티몬, 갈륨, 비소, 게르마늄, 아연, 알루미늄, 금, 실리콘, 니켈, 인 또는 이들의 조합을 포함하는 레이저 접합 방법
10 10
제8항에 있어서,상기 접합부들은 비도전성 입자, 열산발생제, 광산발생제, 감응제, 알루미나, 실리카, 질화알루미늄, 실리콘 카바이드, 염료, 카본블랙, 그래핀, 탄소 나노튜브 또는 이들의 조합을 더 포함하는 레이저 접합 방법
11 11
제8항에 있어서,상기 베이스 레진은 에폭시 수지, 페녹시, 비스말레이미드, 불포화된 폴리에스터, 우레탄, 우레아, 페놀-포름알데히드, 가황 고무, 멜라민 수진, 폴리이미드, 에폭시 노볼락 수지, 시아네이트 에스터, 옥세탄 수지, 아크릴 수지, 비닐 수지 또는 이들의 조합을 포함하는 레이저 접합 방법
12 12
제8항에 있어서,상기 환원제는 포름산, 아세트산, 젖산, 글루탐산, 올레산, 로졸산, 2,2-비스(히드록시메틸렌)프로파논산, 부타노익산, 프로파논산, 타닌산, 글루콘산, 길초산, 헥사노산, 브롬화수소산, 염산, 요산, 불산, 황산, 벤질 글루타르산, 글루타르산, 말산, 인산, 옥살산, 우란산, 염산염, 과염소산, 갈산, 아인산, 시트르산, 말론산, 타르타르산, 프탈산, 신남산, 헥사노산, 프로피온산, 스테아르산, 아스코르브산, 아세틸 살리실산, 아젤라산, 벤질산(bezilic acid) 및 푸마르산, 글루타민, 아미노산 또는 이들의 조합을 포함하는 레이저 접합 방법
13 13
제8항에 있어서,상기 경화제는 아민, 방향족 아민, 지환식 아민, 펜알카민, 이미다졸, 카르복실산, 무수물, 폴리아미드 계열의 경화제, 페놀성 경화제, PMDA 및 수용성 경화제(waterborne curing agents) 또는 이들의 조합을 포함하는 레이저 접합 방법
14 14
제8항에 있어서,상기 촉매는 1-메틸 이미다졸, 2-메틸 이미다졸, 디메틸벤질 이미다졸, 1-데실-2-메틸이미다졸, 벤질 디메틸 아민, 트리메틸 아민, 트리에틸 아민, 디에틸아미노 프로필아민, 피리딘, 18-디아조사이클로[5,4,0]언덱-7-엔, 2-헵타데실이미다졸, 보론 트리플루오라이드 모노 또는 이들의 조합을 포함하는 레이저 접합 방법
15 15
제1항에 있어서,상기 제1 기판 및 상기 제1 및 제2 박막적층체들 사이에 제공되는 인터포저를 더 포함하는 레이저 접합 방법
16 16
제1 영역 및 제2 영역을 포함하는 제1 기판;상기 제1 영역 상의 제1 박막적층체; 및상기 제2 영역 상의 제2 박막적층체를 포함하되,상기 제1 박막적층체는 상기 제1 영역 상에 적층된 적어도 하나의 제1 박막층 및 적어도 하나의 제2 박막층을 포함하고,상기 제2 박막적층체는 상기 제2 영역 상에 적층된 적어도 하나의 제3 박막층 및 적어도 하나의 제4 박막층을 포함하며,상기 제1 박막적층체의 레이저에 대한 반사율 또는 흡수율이 상기 제2 박막적층체의 반사율 또는 흡수율과 다르고,상기 제1 박막적층체는 제1 접합부 상에 제공되어 상기 레이저에 의해 상기 제1 접합부가 제1 온도로 가열되도록 하고,상기 제2 박막적층체는 제2 접합부 상에 제공되어 상기 레이저에 의해 상기 제2 접합부가 제2 온도로 가열되도록 하며,상기 제1 온도는 상기 제2 온도와 다른 레이저 제어구조체
17 17
제16항에 있어서,상기 제1 및 제2 박막적층체들이 상기 제1 기판 상에서 서로 이격되어 배치되는 레이저 제어구조체
18 18
제16항에 있어서,상기 제1 및 제2 박막적층체들의 두께가 다른 레이저 제어구조체
19 19
제16항에 있어서,상기 제1 및 제2 박막적층체들이 패터닝되어 제공되는 레이저 제어구조체
20 20
제16항에 있어서,상기 제1 기판 및 상기 제1 및 제2 박막적층체들 사이에 제공되는 인터포저를 더 포함하는 레이저 제어구조체
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 비엔에프코퍼레이션 소재부품기술개발 미니LED 미세전극 접합을 위한 도전성 나노소재 기술 개발
2 과학기술정보통신부 한국전자통신연구원 나노소재기술개발 개발 도금 소재 활용 HBM2급 적층 칩 접합 기술 및 신뢰성 향상 기술 개발
3 과학기술정보통신부 한국전자통신연구원 나노소재기술개발 마이크로 LED 전사·접합 일괄 공정용 다기능 핵심 소재 기술 개발