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기판의 상측에 메쉬 패턴 형상으로 형성되는 발열부를 포함하여 구성되는 면상 발열체에 있어서, 상기 메쉬 패턴 형상이 반복 주기를 가지는 곡선으로 된 위사 패턴과; 반복 주기를 가지는 곡선으로 된 경사 패턴이;교차되어 형성되는 것을 특징으로 하는 면상 발열체
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제1항에 있어서 상기 기판과 발열부는투명 소재로 형성되어투명 히터로 제작되는 것을 특징으로 하는 면상 발열체
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제1항에 있어서 상기 위사 패턴과 경사 패턴은동일 곡선으로 형성되는 것을 특징으로 하는 면상 발열체
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제3항에 있어서 상기 곡선은반주기 곡선 형상이 반원형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 면상 발열체
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제4항에 있어서 상기 위사 패턴과 경사 패턴은 반주기 길이 d, 이격거리 s(이웃 위사 패턴 또는 경사 패턴의 가장 가까운 골과 골 또는 산과 산의 거리, s와 d는 서로 수직선인 직선의 길이)로 s:d(s, d는 0보다 큰 실수) 비율로 등간격 배치시킨 것으로서, 위사 패턴의 반원형 중점과 경사 패턴의 반원형 중점이 중첩되도록 90°각도로 배치시키는 것을 특징으로 하는 면상 발열체
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제1항에 있어서 상기 위사 패턴과 경사 패턴은서로 다른 곡선으로 형성되는 것을 특징으로 하는 면상 발열체
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제1항에 있어서 상기 위사 패턴과 경사 패턴의 교차 각도 k는 0 003c# k ≤ 90°인 것을 특징으로 하는 면상 발열체
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제1항에 있어서 위사 패턴의 이격거리 또는 경사 패턴의 이격거리는 불규칙적인 것인 것을 특징으로 하는 면상 발열체
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제1항에 있어서 상기 위사 패턴과 경사 패턴의 교차 주기는 n : m (n, m은 0보다 큰 실수이며, n은 위사 패턴에 경사패턴이 교차하는 주기, m은 경사 패턴에 위사 패턴이 교차하는 주기)인 것을 특징으로 하는 면상 발열체
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제1항에 있어서 상기 곡선은반주기 곡선 형상이 프렉탈 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 면상 발열체
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제1항에 있어서 상기 곡선은반주기 곡선 형상이 다수 곡선의 집합으로 형성되는 것을 특징으로 하는 면상 발열체
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제1항에 있어서 상기 메쉬 패턴 형상은마이크로 크기 또는 나노 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 면상 발열체
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제1항에 있어서 상기 메쉬 패턴 형상은500nm ~ 20um 선폭을 갖는 것을 특징으로 하는 면상 발열체
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노광용 기판 위에 감광제를 도포하는 단계;감광제가 도포된 노광용 기판에 제1항 내지 제10항 중 어느 하나의 항에 속하는 메쉬패턴이 마이크로 크기로 형성된 크롬 마스크를 놓고 자외선 기반 노광 공정을 실시하는 단계;현상 공정을 거쳐서 감광제에 상기 메쉬패턴이 형성된 노광 시편을 획득하는 단계;상기 노광 시편의 감광제 상측에 니켈 도금층을 형성시키는 단계;니켈 도금층에서 노광용 기판과 감광제를 제거시켜 상기 메쉬패턴이 음각 형성된 음각마이크로메쉬패턴 니켈금형을 획득하는 단계;상기 음각마이크로메쉬패턴 니켈금형으로 상기 메쉬패턴이 양각 형성된 양각마이크로메쉬패턴 금형을 획득하는 단계;상기 양각마이크로메쉬패턴 금형의 표면에 열 또는 자외선 경화 수지와 기판을 적층시킨 후, 열 또는 자외선으로 수지를 경화시키고 상기 양각마이크로메쉬패턴 금형을 분리하여 음각마이크로메쉬패턴 전극기판을 제작하는 단계;음각마이크로메쉬패턴 전극기판의 음각 내부에 전극용 paste를 충진하여 마이크로메쉬패턴 전극이 형성된 면상 발열체를 형성시키는 단계;로이루어져 마이크로 크기로 형성시키는 것을 특징으로 하는 면상 발열체 제조방법
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제14항에 있어서상기 양각마이크로메쉬패턴 금형은상기 음각마이크로메쉬패턴 니켈금형을 니켈 전주 복제시켜 형성시키는 양각마이크로메쉬패턴 니켈금형으로 이루어지고, 상기 기판 소재는 고분자 필름을 사용하여,상기 음각마이크로메쉬패턴 전극기판을 형성시키는 것을 특징으로 하는 면상 발열체 제조방법
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제14항에 있어서상기 양각마이크로메쉬패턴 금형은상기 음각마이크로메쉬패턴 니켈금형에 열 또는 자외선 경화 수지와 고분자 필름을 순차 적층시킨 후, 열 또는 자외선으로 수지를 경화시키고 음각마이크로메쉬패턴 니켈금형을 분리하여 형성시키는 양각마이크로메쉬패턴 소프트 몰드로 이루어지고,상기 기판 소재는 유리 기판을 사용하며상기 음각마이크로메쉬패턴 전극기판을 형성시키는 것을 특징으로 하는 면상 발열체 제조방법
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노광용 기판 위에 제n1 감광제를 도포하는 단계;제n1 감광제가 도포된 노광용 기판에 제1항 내지 제10항 중 하나의 위사 패턴이 위상 마스크용 위사패턴으로 형성된 크롬 마스크를 놓고 자외선 기반 노광 공정을 실시하는 단계;현상 공정을 거쳐서 제n1 감광제에 상기 위상 마스크용 위사패턴이 형성된 노광 시편을 획득하는 단계;상기 노광 시편의 감광제 위에 위상 마스크용 액상 투명 고분자를 도포시키고, 40°~ 100°의 범위 내에서 열경화시키는 단계;투명 고분자에서 노광용 기판과 감광제를 제거시켜 상기 위상 마스크용 패턴이 음각 형성된 위사 패턴용 위상 마스크를 획득하는 단계;노광용 기판 위에 제n2 감광제를 도포하는 단계;제n2 감광제가 도포된 노광용 기판에 제1항 내지 제10항 중 하나의 경사 패턴이 위상 마스크용 경사패턴으로 형성된 크롬 마스크를 놓고 자외선 기반 노광 공정을 실시하는 단계;현상 공정을 거쳐서 제n2 감광제에 상기 위상 마스크용 경사패턴이 형성된 노광 시편을 획득하는 단계;상기 노광 시편의 제n2 감광제 위에 위상 마스크용 액상 투명 고분자를 도포시키고, 40°~ 100°의 범위 내에서 열경화시키는 단계;투명 고분자에서 노광용 기판과 제n2 감광제를 제거시켜 상기 위상 마스크용 경사패턴이 음각 형성된 경사패턴용 위상 마스크를 획득하는 단계;위사나노패턴 노광용 제n3 감광제가 도포된 노광용 기판 위에 상기 위사패턴용 위상 마스크를 올리고, 자외선을 조사하고 현상하여 상기 제n3 감광제에 위상 마스크용 위사패턴의 경계면에 의한 위사패턴을 형성시키는 단계;상기 노광용 기판의 제n3 감광제 상측에 니켈 도금층을 형성시키는 단계;니켈 도금층에서 노광용 기판과 제n3 감광제를 제거시켜 상기 위사 패턴이 음각 형성된 음각 위사나노메쉬패턴 니켈금형을 획득하는 단계;상기 음각 위사나노메쉬패턴 니켈금형에 니켈 전주도금을 수행하여 상기 위사 패턴이 양각 형성된 양각 위사나노메쉬패턴 니켈금형을 획득하는 단계;상기 양각 위사나노메쉬패턴 니켈금형에 경사나노패턴 노광용 제n4 감광제를 도포한 후, 상기 경사용 위상 마스크를 위사 패턴과 경사 패턴이 교차 각도 k(0 003c# k ≤ 90°)를 가지도록 올리고, 자외선 노광 후 현상하여 상기 제n4 감광제에 위상 마스크용 경사패턴의 경계면에 의해 경사 패턴을 형성시키는 단계;상기 양각 위사나노메쉬패턴 니켈금형과 제n4 감광제 상측에 니켈 도금층을 형성시키는 단계;니켈 도금층에서 양각 위사나노메쉬패턴 니켈금형과 제n4 감광제를 제거시켜 위사 패턴과 경사 패턴이 음각 형성된 음각 나노메쉬패턴 니켈금형을 획득하는 단계;상기 음각나노메쉬패턴 니켈금형으로 나노메쉬패턴이 양각 형성된 양각나노메쉬패턴 금형을 획득하는 단계;상기 양각나노메쉬패턴 금형에 열 또는 자외선 경화 수지와 기판을 적층시킨 후, 열 또는 자외선으로 수지를 경화시키고 양각나노메쉬패턴 금형을 분리하여 음각나노메쉬패턴 전극기판을 제작하는 단계;상기 음각나노메쉬패턴 전극기판의 음각패턴내에 전극용 paste를 충진하여 나노메쉬패턴 전극이 형성된 면상 발열체을 형성시키는 단계;로이루어져 나노 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 면상 발열체 제조방법
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제17항에 있어서상기 양각나노메쉬패턴 금형은상기 음각나노메쉬패턴 니켈금형을 니켈 전주 복제시켜 형성시키는 양각패턴 니켈금형으로 이루어지고, 상기 기판 소재는 고분자 필름을 사용하여,상기 음각나노메쉬패턴 전극기판을 형성시키는 것을 특징으로 하는 면상 발열체 제조방법
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제17항에 있어서상기 양각나노메쉬패턴 금형은상기 음각나노메쉬패턴 니켈금형에 열 또는 자외선 경화 수지와 고분자 필름을 순차 적층시킨 후, 열 또는 자외선으로 수지를 경화시키고 음각나노메쉬패턴 니켈금형을 분리하여 형성시키는 양각나노메쉬패턴 소프트 몰드로 이루어지고,상기 기판 소재는 유리 기판을 사용하며상기 음각나노메쉬패턴 전극기판을 형성시키는 것을 특징으로 하는 면상 발열체 제조방법
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제15항, 제16항, 제18항 또는 제19항에 있어서상기 고분자 필름은 투명 PET 고분자 필름이 사용되고, 상기 전극용 paste는 투명 전극용 Metal paste가 사용되어 상기 면상 발열체가 투명 면상 발열체로 제조되는 것을 특징으로 하는 면상 발열체 제조방법
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