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대상물의 표면의 거칠기를 측정하는 표면 거칠기 측정 센서 장치에 있어서,회전 가능한 회전 축;상기 회전 축의 둘레를 따라 배치되어 상기 회전 축의 회전에 의해 회주되고, 상기 대상물의 표면에 직접 접촉되어 상기 대상물의 표면에 의해 가해지는 압력에 따라 감지 신호를 생성하는 압전 센서; 및상기 압전 센서가 생성하는 감지 신호를 외부로 전달하는 신호 전달부를 포함하되,상기 압전 센서는 상기 압전 센서의 표면에서 미리 설정된 폭을 가지고 서로에 대해 이격 형성되는 복수 개의 센서 라인을 포함하고,상기 대상물의 표면의 손상이 최소화되도록, 상기 대상물과 접촉하는 지점에서의 상기 대상물의 표면과의 상대적 운동이 이루어지는 방향으로 회주되는 것인 표면 거칠기 측정 센서 장치
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제1항에 있어서,상기 압전 센서는, 상기 대상물의 표면과의 접촉시 상기 대상물로부터 가해지는 압력의 크기에 따라 감지 신호를 생성하는 것인 표면 거칠기 측정 센서 장치
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제1항에 있어서,상기 신호 전달부는 상기 압전 센서 및 상기 회전 축 사이에 배치되는 것인 표면 거칠기 측정 센서 장치
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제1항에 있어서,상기 신호 전달부는 상기 압전 센서가 발신하는 감지 신호를 전달하는 전선부를 포함하는 것인 표면 거칠기 측정 센서 장치
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제5항에 있어서,상기 전선부를 통해 전달된 감지 신호를 외부 전선으로 전달하는 슬립 링을 더 포함하는 표면 거칠기 측정 센서 장치
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제1항에 있어서,상기 신호 전달부는 상기 압전 센서가 발신하는 감지 신호를 증폭하는 증폭기 및 증폭된 감지 신호를 전달하는 송신기를 포함하는 것인 표면 거칠기 측정 센서 장치
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대상물을 가공하는 가공 툴 구조체에 있어서,상기 대상물을 가공하는 가공부; 및상기 가공부의 일측에 결합되는 제1항에 따른 표면 거칠기 측정 센서 장치를 포함하되,상기 표면 거칠기 측정 센서 장치는 상기 대상물의 표면 거칠기를 측정하는 것인 가공 툴 구조체
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제8항에 있어서,상기 가공부 및 상기 표면 거칠기 측정 센서 장치는 상기 대상물의 표면에 대하여 상대적으로 운동하는 것인 가공 툴 구조체
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