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투명 산화물 전극을 형성하기 위한 스퍼터링 방법 및 이에 의해 제조된 투명 산화물 전극

기술번호 : KST2023000640
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 선형 대향 타겟 스퍼터링(linear facing target sputtering, LFTS)에 2단계 증착 공정(2-step deposition process)를 적용하여 고투과, 저저항의 투명 전도성 산화물(transparent conducting oxide, TCO)을 스퍼터링 손상 없이 유기물 기반의 광학 소자 혹은 태양전지 등의 상부 전극으로써 증착하는 방법에 관한 것이다.
Int. CL	C23C 14/34 (2006.01.01) C23C 14/08 (2006.01.01) C23C 14/54 (2018.01.01) H10K 30/80 (2023.01.01)
CPC	C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자	1020190144706 (2019.11.13)
출원인	주식회사 에스제이컴퍼니
등록번호/일자	10-2397844-0000 (2022.05.10)
공개번호/일자	10-2021-0057921 (2021.05.24) 문서열기
공고번호/일자	(20220513) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항	심판사항
구분	국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2019.11.13)
심사청구항수	7

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	주식회사 에스제이컴퍼니	대한민국	경기도 안양시 동안구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	김한기		경기도 수원시 장안구
2	임상휘		경기도 수원시 장안구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	차상윤	대한민국	서울특별시 영등포구 경인로 **, 동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2	박종수	대한민국	서울특별시 영등포구 경인로 **, 동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3	남건필	대한민국	서울특별시 영등포구 경인로 **, 동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	주식회사 에스제이컴퍼니		경기도 안양시 동안구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2019.11.13	수리 (Accepted)	1-1-2019-1162581-42
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2020.09.10	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	[출원인변경]권리관계변경신고서 [Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status	2020.10.22	수리 (Accepted)	1-1-2020-1120029-12
4	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2020.12.11	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2020-0195836-67
5	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2021.01.05	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2021-0009658-30
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서	2021.01.06	수리 (Accepted)	1-1-2021-0015705-38
7	면담 결과 기록서	2021.01.20	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2021-0013852-10
8	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2021.03.02	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2021-0243120-76
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서	2021.03.02	수리 (Accepted)	1-1-2021-0243113-56
10	거절결정서 Decision to Refuse a Patent	2021.03.29	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2021-0250531-38
11	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2022.02.18	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2022-0135869-79
12	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서	2022.04.18	수리 (Accepted)	1-1-2022-0409482-61
13	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2022.04.18	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2022-0409483-17
14	등록결정서 Decision to grant	2022.05.09	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2022-0341519-36

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 선형 대향 타겟 스퍼터링(linear facing target sputtering, LFTS) 장치에 유기물층이 형성되어 있는 기판 및 대향 타겟을 준비하는 단계;선형 대향 타겟 스퍼터링 방법을 이용해 상기 유기물층 상에 제 1 증착막을 형성하는 단계; 및선형 대향 타겟 스퍼터링 방법을 이용해 상기 제 1 증착막 상에 제 2 증착막을 형성하는 단계를 포함하고,상기 대향 타겟은 전도성 산화물을 포함하며,상기 제 2 증착막을 형성하는 단계는 상기 제 1 증착막을 형성하는 단계보다 높은 파워로 증착을 진행하며,투명 산화물 전극은 상기 제 1 증착막 및 상기 제 2 증착막으로 이루어지고,상기 제 2 증착막을 형성하는 단계가 상기 제 1 증착막을 형성하는 단계보다 높은 파워로 진행될 때, 상기 제 1 증착막은 보호층 역할을 수행하여 유기물층을 보호하며,상기 제 2 증착막을 형성하는 단계가 상기 제 1 증착막을 형성하는 단계보다 높은 파워로 진행되어, 상기 제 2 증착막은 높은 광학적 및 전기적 특성을 나타내는,유기물층 상에 투명 산화물 전극을 형성하기 위한 스퍼터링 방법
2	2 제 1 항에 있어서,상기 유기물층은 유기물 또는 유무기 하이브리드 물질을 포함하는 층인,유기물층 상에 투명 산화물 전극을 형성하기 위한 스퍼터링 방법
3	3 제 1 항에 있어서,상기 선형 대향 타겟 스퍼터링 장치를 이용해 100℃ 이하의 온도에서 상기 투명 산화물 전극이 증착되는,유기물층 상에 투명 산화물 전극을 형성하기 위한 스퍼터링 방법
4	4 제 1 항에 있어서,상기 전도성 산화물은 IZTO, ITO, IWO, IMO, INbO, IGO, ISO, GZO, AZO, AGZO, NbTiO2, FTO, ATO, BZO, IZO 중 어느 하나를 포함하는,유기물층 상에 투명 산화물 전극을 형성하기 위한 스퍼터링 방법
5	5 삭제
6	6 삭제
7	7 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항의 방법에 따라 제조된, 투명 산화물 전극
8	8 제 7 항에 있어서,상기 투명 산화물 전극은 상기 제 1 증착막 및 상기 제 2 증착막으로 이루어진,투명 산화물 전극
9	9 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항의 방법에 따라 제조된 투명 산화물 전극을 포함하는, 태양전지
10	10 삭제
11	11 삭제
12	12 삭제

순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	산업통상자원부	순천향대학교산학협력단	소재부품산업미래성장동력(R＆D)	비진공 공정 제조를 위한 OLED용 화소전극 소재 및 인쇄 공정 핵심기술 개발

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-2397844-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20191113 출원 번호 : 1020190144706 공고 연월일 : 20220513 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20220509 청구범위의 항수 : 7 유별 : C23C 14/34 발명의 명칭 : 투명 산화물 전극을 형성하기 위한 스퍼터링 방법 및 이에 의해 제조된 투명 산화물 전극 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 주식회사 에스제이컴퍼니 경기도 안양시 동안구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	95,400 원	2022년 05월 10일	납입
제 1 - 3 년분	금 액	95,400 원	2022년 05월 10일	납입
제 1 - 3 년분	금 액	95,400 원	2022년 05월 10일	납입
제 1 - 3 년분	금 액	95,400 원	2022년 05월 10일	납입
제 1 - 3 년분	금 액	95,400 원	2022년 05월 10일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2019.11.13	수리 (Accepted)	1-1-2019-1162581-42
2	선행기술조사의뢰서	2020.09.10	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	[출원인변경]권리관계변경신고서	2020.10.22	수리 (Accepted)	1-1-2020-1120029-12
4	선행기술조사보고서	2020.12.11	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2020-0195836-67
5	의견제출통지서	2021.01.05	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2021-0009658-30
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서	2021.01.06	수리 (Accepted)	1-1-2021-0015705-38
7	면담 결과 기록서	2021.01.20	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2021-0013852-10
8	[명세서등 보정]보정서	2021.03.02	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2021-0243120-76
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서	2021.03.02	수리 (Accepted)	1-1-2021-0243113-56
10	거절결정서	2021.03.29	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2021-0250531-38
11	의견제출통지서	2022.02.18	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2022-0135869-79
12	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서	2022.04.18	수리 (Accepted)	1-1-2022-0409482-61
13	[명세서등 보정]보정서	2022.04.18	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2022-0409483-17
14	등록결정서	2022.05.09	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2022-0341519-36

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번호	심판번호(숫자)	심판번호(문자)	사건의표시	청구일	심결일자
1	2021101001007	2021원1007	2019년 특허출원 제0144706호 거절결정불복	2021.04.22	2022.01.27

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