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프로브 팁 및 상기 프로브 팁 제조 방법

  • 기술번호 : KST2023000719
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 일 실시예에 따른 프로브 팁 제조 방법에 있어서, 상기 제조 방법은 (a) 육면체의 기판 형성 재료로 구성된 덩어리를 제공하는 단계, (b) 상기 덩어리의 상면에 기둥 단면 크기의 마스크 물질을 코팅하고 패터닝하는 단계, (c) 상기 기둥 단면 크기를 가지는 기둥이 형성되도록 상기 덩어리를 이방성 식각 처리하여 일체화된 기둥과 기판을 형성하는 단계, (d) 상기 코팅된 마스크 물질을 제거하는 단계, (e) 상기 기판과 기둥의 표면에 일정한 두께의 보호막을 코팅하는 단계. (f) 상기 기둥의 테두리 부분에 위치된 보호막을 식각하여 상기 기둥의 테두리 부분을 노출시키는 단계, (g) 상기 노출된 기둥의 테두리 부분에 대한 식각 처리하여 첨단부를 형성하는 단계, 및 (h) 상기 보호막을 모두 제거하는 단계를 포함할 수 있다.
Int. CL G01R 1/067 (2006.01.01) G01R 3/00 (2006.01.01)
CPC G01R 1/067(2013.01) G01R 1/067(2013.01) G01R 1/067(2013.01) G01R 1/067(2013.01) G01R 1/067(2013.01) G01R 1/067(2013.01)
출원번호/일자 1020140166588 (2014.11.26)
출원인 한국공학대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1666721-0000 (2016.10.10)
공개번호/일자 10-2016-0063063 (2016.06.03) 문서열기
공고번호/일자 (20161017) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.11.26)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국공학대학교산학협력단 대한민국 경기도 시흥시 산기대학로

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김창규 대한민국 경기도 시흥

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 포엠솔루텍 경기도 화성
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.11.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-1147089-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.07.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.09.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0059699-17
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.11.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0797284-87
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.01.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0018192-68
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.01.07 수리 (Accepted) 1-1-2016-0018182-12
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.01.07 수리 (Accepted) 1-1-2016-0018376-62
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.05.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0335960-65
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.06.01 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0529263-53
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-0529254-42
11 등록결정서
Decision to Grant Registration
2016.07.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0506682-33
12 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
2022.03.14 수리 (Accepted) 4-1-2022-5061205-55
13 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
2022.04.12 수리 (Accepted) 4-1-2022-5086939-78
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번호 청구항
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프로브 팁 제조 방법에 있어서, 기판 형성 재료로 구성된 덩어리를 제공하는 단계;상기 덩어리의 상면에 기둥 단면 크기의 마스크 물질을 코팅하고 패터닝하는 단계;상기 기둥 단면 크기를 가지는 기둥이 형성되도록 상기 덩어리를 이방성 식각 처리하여 일체화된 기둥과 기판을 형성하는 단계;상기 코팅된 마스크 물질을 제거하는 단계;상기 기판과 기둥의 표면에 보호막을 코팅하는 단계; 상기 기둥의 상면과 측면의 보호막을 남기고 상기 기둥의 테두리 부분에 위치된 보호막의 일정 부분만을 식각하여 상기 기둥의 테두리 부분만을 노출시키는 단계; 상기 노출된 기둥의 테두리 부분만 식각 처리하여 첨단부를 형성하는 단계; 상기 노출된 기둥의 테두리 부분의 식각 깊이를 조절하여 상기 첨단부의 첨예도를 조절하는 단계; 및남아있는 상기 기둥의 상면과 측면의 보호막을 제거하는 단계를 포함하는, 끝으로 갈수록 가늘어지는 첨단부를 포함하는 프로브 팁을 제조하기 위한 방법
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제4항에 있어서,상기 첨단부를 형성하는 단계에 있어서, 상기 기둥의 테두리 부분의 식각 깊이를 조절하여 상기 첨단부의 첨예도를 조절할 수 있는 프로브 팁을 제조하기 위한 방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 한국산업기술대학교 산학협력단 도약기술개발사업 고종횡비를 갖는 probe tip 개발