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하나의 가스 유입 유관을 통해 입력되는 측정가스를 복수로 분기하여 공급하는 가스 공급챔버; 일측이 상기 가스 공급챔버와 연결되어 상기 가스 공급챔버를 통해 유입되는 측정가스를 복수의 가스 센서에 각각 전달하는 복수의 가스 분기 유관; 및 상기 복수의 가스 센서를 각각 격납하고, 상기 가스 공급챔버를 통해 분기되는 유출 가스가 상기 격납된 상기 복수의 가스 센서에 각각 전달되고, 상기 복수의 가스 센서를 통해 감지한 유출 가스를 배출하는 가스 측정챔버를 포함하는 멀티 포트 가스 유량 제어 장치
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제1항에 있어서, 상기 복수의 가스 분기 유관은, 교체 가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 멀티 포트 가스 유량 제어 장치
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제1항에 있어서, 상기 복수의 가스 분기 유관은, 유관의 내경이 상이하게 구성된 것을 특징으로 하는 멀티 포트 가스 유량 제어 장치
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제1항에 있어서, 상기 가스 분기 유관의 내경은,0
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제1항에 있어서, 상기 가스 분기 유관의 길이는,5 내지 100Cm 인 멀티 포트 가스 유량 제어 장치
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제1항에 있어서, 상기 가스 공급챔버의 최소 특성 길이는, 5mm 이상인 멀티 포트 가스 유량 제어 장치
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7
제1항에 있어서, 상기 가스 측정챔버 내에는 상기 복수의 가스 센서의 측정면이 일면에 노출되는 가스 측정공간이 설치되는 멀티 포트 가스 유량 제어 장치
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8
제1항에 있어서, 상기 가스 측정공간의 최소 특성 길이는, 5mm 이상인 멀티 포트 가스 유량 제어 장치
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제7항에 있어서, 상기 가스 측정공간에 복수의 격막 구조체가 설치되는 멀티 포트 가스 유량 제어 장치
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10
제1항에 있어서, 상기 가스 공급챔버 이전에 설치되어, 측정 가스를 농축하거나 특정 가스 성분 혹은 수분을 측정 전에 제거하는 전처리 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 포트 가스 유량 제어 장치
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11
제1항에 있어서, 측정공간을 측정 전 상태로 초기화하기 위하여 측정공간에 퍼지 가스를 공급하는 퍼지 가스 봄베를 더 포함하는 멀티 포트 가스 유량 제어 장치
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12
제7항에 있어서, 상기 측정공간은, 상부 구조체와 하부 구조체의 결합에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 멀티 포트 가스 유량 제어 장치
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제1항에 있어서, 가스 유입구 혹은 가스 배출구에 설치된 하나의 펌프를 이용하여 복수의 가스 분기 유관에 유량 변화를 가하는 것을 특징으로 하는 멀티 포트 가스 유량 제어 장치
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제1항에 있어서, 멀티 포트 가스 유량 제어 장치를 다수로 평면상 배치 또는 다수로 적층하여 가스 센서의 개수를 확장하는 것을 특징으로 하는 멀티 포트 가스 유량 제어 장치
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15
하나의 가스 유입 유관을 통해 측정가스를 입력받아 복수로 분기하여 공급하는 가스 공급챔버; 복수의 가스 센서를 각각 격납하는 복수의 격납홀을 구비한 하부구조체와, 상기 가스 공급챔버를 통해 공급되는 측정가스가 상기 하부구조체에 각각 격납된 복수의 가스 센서에 분기되어 공급될 수 있도록, 상기 가스 공급챔버와 상기 하부구조체의 격납홀을 연결하는 복수의 구멍 형태의 가스 분기 유관홀이 형성된 상부구조체를 포함하는 가스 측정챔버를 포함하는 멀티 포트 가스 유량 제어 장치
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제15항에 있어서, 상기 복수의 가스 분기 유관홀은, 유관의 내경이 상이하게 구성된 것을 특징으로 하는 멀티 포트 가스 유량 제어 장치
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제15항에 있어서, 상기 가스 분기 유관홀의 내경은, 0
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제15항에 있어서, 상기 가스 공급챔버의 최소 특성 길이는, 5mm 이상인 멀티 포트 가스 유량 제어 장치
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제15항에 있어서, 상기 가스 측정챔버 내에는 상기 복수의 가스 센서의 측정면이 일면에 노출되는 가스 측정공간이 설치되는 멀티 포트 가스 유량 제어 장치
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제15항에 있어서, 상기 가스 측정공간의 최소 특성 길이는, 5mm 이상인 멀티 포트 가스 유량 제어 장치
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