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피검물을 스캔하기 위한 광학 장치에 있어서,상기 광학 장치는:제1 광을 방출하는 광원;상기 제1 광이 입사되는 회전 거울, 상기 회전 거울이 회전하면서 상기 제1 광이 반사되는 제1 반사광들을 제공하고;상기 제1 반사광들을 굴절시키는 F-세타 렌즈, 상기 F-세타 렌즈에 굴절된 상기 제1 반사광들은 제1 방향으로 상기 피검물을 향해 평행하게 입사되며;상기 피검물과 상기 F-세타 렌즈 사이에 배치되어 상기 제1 반사광들이 투과하는 렌즈 어레이, 상기 렌즈 어레이는 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향을 따라 배열되는 단위 렌즈들을 포함하고; 및상기 피검물에서 상기 제1 반사광들이 반사되는 제2 반사광들을 검출하는 검출부를 포함하고,상기 제1 광은 테라헤르츠 전자기파를 포함하고,상기 렌즈 어레이의 굴절률은 2
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제1 항에 있어서,상기 회전 거울은 폴리곤 미러를 포함하는 광학 장치
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제2 항에 있어서,상기 폴리곤 미러는 4개의 반사면을 포함하는 광학 장치
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제1 항에 있어서,상기 회전 거울은 반사면을 포함하고,상기 제1 광은 상기 반사광에서 반사되어 상기 제1 반사광을 제공하는 광학 장치
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제4 항에 있어서,상기 회전 거울이 반시계 방향으로 회전함에 따라 상기 제1 반사광의 진행방향이 반시계 방향으로 회전하는 광학 장치
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제1 항에 있어서,상기 회전 거울은 10rpm 내지 10000rpm으로 회전하는 광학 장치
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제1 항에 있어서,상기 렌즈 어레이는 마이크로 렌즈 어레이를 포함하는 광학 장치
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제7 항에 있어서,상기 마이크로 렌즈 어레이는 실리콘 또는 사파이어를 포함하는 광학 장치
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제1 항에 있어서,상기 단위 렌즈는 반구형 렌즈를 포함하는 광학 장치
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제1 항에 있어서,상기 단위 렌즈는 극반구형 렌즈를 포함하는 광학 장치
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제1 항에 있어서,상기 회전 거울은 갈바노미터 미러를 포함하는 광학 장치
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제1 항에 있어서,회전 모터를 더 포함하고,상기 회전 모터는 상기 회전 거울의 상면 또는 하면에 결합하는 광학 장치
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광원으로부터 제1 광을 방출하는 것, 상기 제1 광은 테라헤르츠 전자기파를 포함하고;상기 제1 광이 회전 거울에 의해 반사되어 제1 반사광들을 제공하는 것, 상기 회전 거울은 회전가능하고, 상기 회전 거울이 회전함에 따라 상기 제1 반사광들의 진행 방향이 서로 달라질 수 있으며;상기 서로 다른 진행 방향을 갖는 제1 반사광들이 F-세타 렌즈에서 굴절되어 제1 방향과 평행하게 진행하는 것;상기 제1 방향으로 진행하는 상기 제1 반사광들이 마이크로 렌즈 어레이를 투과하여 피검물에 입사되는 것; 및상기 제1 반사광들이 상기 피검물에서 반사된 제2 반사광들을 검출하는 것을 포함하는 이미지 스캔 방법
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제13 항에 있어서,상기 테라헤르츠 전자기파의 주파수는 0
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제13 항에 있어서,상기 회전 거울이 반시계 방향으로 회전함에 따라 상기 제1 반사광들의 상기 진행 방향도 상기 반시계 방향으로 회전하는 이미지 스캔 방법
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제13 항에 있어서,상기 마이크로 렌즈 어레이의 굴절률은 2
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제13 항에 있어서,상기 마이크로 렌즈 어레이는 실리콘 또는 사파이어를 포함하는 이미지 스캔 방법
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