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마이크로 포커스 엑스선관에 있어서,금속 재질의 헤드부;상기 헤드부의 일면과 고온 접합되는 세라믹 절연관;상기 헤드부의 측면과 접합되어 나노 전계 에미터가 구비된 전자총;고온 접합된 상기 헤드부와 상기 세라믹 절연관에 의해 형성된 내부 공간에 배치되는 아노드; 및상기 아노드에 장착된 판 형태의 타겟;를 포함하는 마이크로 포커스 엑스선관
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제1항에 있어서,상기 헤드부는,시트 형태의 윈도우와 접지되고,상기 시트 형태의 윈도우는,상기 전자총에서 방출된 전자빔에 의해 발생된 엑스선을 마이크로 포커스 엑스선관의 외부로 방출시키기는 마이크로 포커스 엑스선관
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제1항에 있어서,상기 헤드부는,상기 헤드부의 일면에 음각홈을 포함한 삽입관 구조로 형성되고,상기 삽입관 구조는,상기 세라믹 절연관의 내부로 삽입되어 절연관 정렬 가이드에 의해 상기 세라믹 절연관과 이격 배치되는 마이크로 포커스 엑스선관
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제1항에 있어서,상기 헤드부는,전자총 접합링을 통해 상기 전자총의 절연 세라믹과 접합되며,상기 전자총은,상기 헤드부의 측면에 형성된 전자총 가이드에 의해 상기 전자총의 위치가 정렬되는 마이크로 포커스 엑스선관
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제1항에 있어서,상기 세라믹 절연관은,아노드 연결링을 통해 아노드와 접합되며,상기 아노드 연결링에 형성된 절연관 가이드에 의해 상기 세라믹 절연관의 위치가 정렬되는 마이크로 포커스 엑스선관
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제1항에 있어서,상기 전자총은,상기 나노 전계 에미터가 형성된 캐소드판이 결합된 캐소드 전극;게이트판이 결합된 게이트 전극; 및포커스판이 결합된 포커스 전극를 포함하는 마이크로 포커스 엑스선관
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제6항에 있어서,상기 게이트판은,상기 나노 전계 에미터로부터 전자를 인출하는 게이트 개구가 형성되고,상기 포커스판은,상기 전자를 가속하여 방출된 전자빔을 집속하는 포커스 개구가 형성되는 마이크로 포커스 엑스선관
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제1항에 있어서,상기 타켓은,상기 아노드와 진공 브레이징 필러에 의해 접합되며,상기 아노드는,상기 타겟의 면적보다 접합 면적이 좁아지도록 음각홈이 형성되는 마이크로 포커스 엑스선관
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마이크로 포커스 엑스선관에 있어서,나노 전계 에미터가 구비된 전자총과 접합되는 헤드부;상기 헤드부와 고온 접합되는 세라믹 절연관; 및상기 세라믹 절연관과 접합되어 판 형태의 타겟이 장착된 아노드;를 포함하는 마이크로 포커스 엑스선관
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제9항에 있어서,상기 헤드부는,전자총에서 방출된 전자빔을 외부로 방출시키는 윈도우;상기 헤드부와 윈도우를 접지하는 과정에서의 브레이징 필러를 최소화하기 위한 확산 방지 홈; 및상기 확산 방지 홈에 따라 배치되는 링 덮개를 포함하는 마이크로 포커스 엑스선관
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제9항에 있어서,상기 헤드부는,상기 세라믹 절연관의 내부로 상기 헤드부의 일부 영역이 삽입되는 삽입관 구조로 형성되는 마이크로 포커스 엑스선관
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제9항에 있어서,상기 헤드부는,상기 헤드부의 측면으로 전자총 접합링을 통해 상기 전자총의 절연 세라믹과 접합되며,상기 헤드부의 측면에 형성된 전자총 가이드에 의해 상기 전자총의 위치가 정렬되는 마이크로 포커스 엑스선관
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제9항에 있어서,상기 세라믹 절연관은,아노드 연결링을 통해 아노드와 접합되며,상기 아노드 연결링에 형성된 절연관 가이드에 의해 상기 세라믹 절연관의 위치가 정렬되는 마이크로 포커스 엑스선관
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제9항에 있어서,상기 전자총은,상기 나노 전계 에미터가 형성된 캐소드판이 결합된 캐소드 전극;게이트판이 결합된 게이트 전극; 및포커스판이 결합된 포커스 전극를 포함하는 마이크로 포커스 엑스선관
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제14항에 있어서,상기 게이트판은,상기 나노 전계 에미터로부터 전자를 인출하는 게이트 개구가 형성되고,상기 포커스판은,상기 전자를 가속하여 방출된 전자빔을 집속하는 포커스 개구가 형성되는 마이크로 포커스 엑스선관
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제9항에 있어서,상기 아노드는,상기 타겟의 면적보다 접합 면적이 좁아지도록 형성된 음각홈에 의해 상기 타겟이 장착되는 마이크로 포커스 엑스선관
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