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제 1 방향의 일측에 윈도우가 형성된 하우징, 상기 윈도우는 상기 하우징의 내부와 외부가 연통될 수 있도록 개구 형태로 제공되고;상기 하우징 내에 제공되고, 상기 윈도우를 향하여 플라즈마를 발생시키는 스틱형 플라즈마 소스; 및상기 하우징 내에 제공되어 상기 플라즈마 소스에 결합되는 구동부를 포함하고,상기 구동부는 단독으로 상기 플라즈마 소스의 일단을 상기 제 1 방향을 중심으로 진자 운동시키고,상기 플라즈마 소스의 상기 일단은 상기 윈도우를 향해 상기 플라즈마를 방출하되, 상기 플라즈마 소스의 상기 왕복 운동에 의해 넓은 폭의 플라즈마 플륨이 형성되는 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 소스는 튜브 및 적어도 하나의 전극을 포함하는 플라즈마 젯을 포함하는 구조 또는 여러 개의 플라즈마 젯으로 구성된 어레이 구조의 플라즈마 발생 장치
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제 2 항에 있어서,상기 튜브는 상기 플라즈마 소스의 내부에 배치되고, 상기 제 1 방향으로 연장되는 고전압 코어 전극을 포함하는 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 구동부는 상기 플라즈마 소스의 일단을 상기 하우징의 내부에 결합시키는 결착부가 형성되며, 상기 결착부는 상기 하우징에 대하여 회전할 수 있으며,상기 구동부는 상기 결착부와 이격되어 배치되고, 상기 플라즈마 소스에 동력을 전달하는 동력 전달부를 포함하는 플라즈마 발생 장치
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제 4 항에 있어서,상기 동력 전달부는:상기 플라즈마 소스에서 소정 거리로 이격되어 배치되는 디스크 및 상기 디스크와 상기 플라즈마 소스를 연결하는 샤프트를 포함하고,상기 디스크에 회전력을 공급하도록, 하우징에 고정된 동력 전원 장치를 더 포함하는 플라즈마 발생 장치
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제 5 항에 있어서,상기 샤프트의 일단은 상기 플라즈마 소스와 상기 하우징의 결착부로부터 상기 플라즈마 소스의 길이 방향으로 이격되도록 상기 플라즈마 소스에 연결되고,상기 샤프트의 타단은 상기 디스크에 연결되고 샤프트 양단의 연결부들은 회전 가능한 구조인 플라즈마 발생 장치
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제 6 항에 있어서,상기 샤프트와 상기 디스크의 연결점은 상기 디스크의 회전 중심으로부터 이격되고,상기 샤프트와 상기 디스크는 크랭크(crank)를 형성하게 됨에 따라, 상기 샤프트는 상기 디스크의 회전 운동을 상기 제 1 방향을 중심으로 하는 진자 운동으로 변화시키는 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 소스는:상기 제 1 방향으로 연장되고, 그의 내부에 방전 가스가 공급되는 튜브; 및상기 튜브의 외주면 상에서, 서로 인접하게 배치되는 전극을 포함하는 플라즈마 발생 장치
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제 8 항에 있어서,상기 전극은 상기 튜브를 둘러싸는 링 전극 또는 나선형의 코일 전극을 포함하는 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 하우징의 상기 제 1 방향의 일측에 배치되고, 상기 윈도우의 길이 방향인 제 2 방향으로 상호 이격되어 배치되는 스크린들을 더 포함하되,상기 스크린들 사이의 영역은 상기 윈도우로 정의되며,상기 스크린들은 서로 멀어지거나 가까워질 수 있으며, 상기 윈도우는 상기 윈도우의 상기 제 2 방향의 폭이 조절되는 가변 윈도우인 플라즈마 발생 장치
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