| 1 |
1
좌측면이 입력면에 접하여 배치되는 제1 렌즈; 및상기 제1 렌즈의 초점 거리만큼 이격된 위치에 배치되어 우측면에 제1 출력면이 접하여 위치하는 제2 렌즈를 포함하고,상기 제1 렌즈와 상기 제2 렌즈는,동일 초점 거리를 가지며,상기 입력면으로 입사되는 광 신호를 푸리에 변환하여 상기 출력면으로 출력하는,전달 광학계 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,좌측면이 상기 제1 출력면에 접하여 배치되는 제3 렌즈; 및상기 제3 렌즈의 초점 거리만큼 이격된 위치에 배치되어 우측면에 제2 출력면이 접하여 위치하는 제4 렌즈를 더 포함하고,상기 제3 렌즈와 상기 제4 렌즈는,동일 초점 거리를 가지며,상기 제3 렌즈로 입사되는 광 신호를 푸리에 변환하여 상기 제2 출력면으로 출력하는, 전달 광학계 장치
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 제1 렌즈의 입력면의 광파를 상기 제4 렌즈의 상기 제2 출력면으로 전달하는 배율 M은,상기 제1 렌즈 또는 상기 제2 렌즈의 초점거리 fa 대비 상기 제3 렌즈 또는 상기 제4 렌즈의 초점거리 fb에 의해 설정된 fb/fa으로 결정되는, 전달 광학계 장치
|
| 4 |
4
제3항에 있어서,상기 제2 렌즈와 상기 제3 렌즈를 대체하여, 상기 제2 렌즈의 위치에 배치되며, 초점 거리가 fa×fb/(fa+fb)인 제5 렌즈를 포함하는, 전달 광학계 장치
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,초점거리 f6을 가지는 제6 렌즈를 더 포함하고,상기 제6 렌즈는,상기 제2 렌즈의 우측면에 접한 후면 출력면에 전면 초점면이 위치하며, 후면 초점면에 광 신호를 푸리에 변환하여 출력하는, 전달 광학계 장치
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,상기 제1 렌즈의 입력면의 광파를 상기 제6 렌즈의 후면 초점면으로 전달하는 배율 M은,상기 제1 렌즈의 초점거리 fa 대비 상기 제6 렌즈의 초점거리 f6에 의해 설정된 f6/fa으로 결정되는, 전달 광학계 장치
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,초점거리 f7을 가지는 제7 렌즈를 더 포함하고,상기 제7 렌즈는,제2 입력면에 전면 초점면이 위치하며, 상기 제1 렌즈의 좌측면에 후면 초점면이 위치하여, 상기 입력면에 광 신호를 푸리에 변환하여 출력하는, 전달 광학계 장치
|
| 8 |
8
제7항에 있어서,상기 제2 입력면의 광파를 상기 제2 렌즈의 상기 제1 출력면으로 전달하는 배율 M은,상기 제1 렌즈의 초점거리 fa 대비 상기 제7 렌즈의 초점거리 f7에 의해 설정된 fa/f7으로 결정되는, 전달 광학계 장치
|
| 9 |
9
제2항에 있어서,상기 입력면은,광 스캐너(optical scanner)의 빔 편향면에 해당하는, 전달 광학계 장치
|
| 10 |
10
제4항에 있어서,상기 입력면은,광 스캐너(optical scanner)의 빔 편향면에 해당하는, 전달 광학계 장치
|
| 11 |
11
제5항에 있어서,상기 입력면은,광 스캐너(optical scanner)의 빔 편향면에 해당하는, 전달 광학계 장치
|
| 12 |
12
제7항에 있어서,상기 제2 입력면은,광 스캐너(optical scanner)의 빔 편향면에 해당하는, 전달 광학계 장치
|
| 13 |
13
제2항에 있어서,상기 제2 출력면은,이미지 센서(image sensor)의 입력면에 해당하는, 전달 광학계 장치
|
| 14 |
14
제4항에 있어서,상기 제2 출력면은,이미지 센서(image sensor)의 입력면에 해당하는, 전달 광학계 장치
|
| 15 |
15
제5항에 있어서,상기 제6 렌즈의 후면 초점면은,이미지 센서(image sensor)의 입력면에 해당하는, 전달 광학계 장치
|
| 16 |
16
제7항에 있어서,상기 제1 출력면은,이미지 센서(image sensor)의 입력면에 해당하는, 전달 광학계 장치
|
| 17 |
17
시편의 이미지를 센싱하기 위한 이미지 센서; 및전달 광학계 장치를 포함하고,상기 전달 광학계 장치는,전방 초점면에 상기 시편이 위치하며, 후방 초점면에 광 신호를 푸리에 변환하여 출력하는 제1 렌즈;좌측면이 상기 후방 초점면에 대응하는 제1 출력면에 접하여 배치되는 제2 렌즈; 및상기 제2 렌즈의 초점 거리만큼 이격된 위치에 배치되어 우측면에 제2 출력면이 접하여 위치하는 제3 렌즈를 포함하고,상기 제2 렌즈와 상기 제3 렌즈는,동일 초점 거리를 가지며,상기 제2 렌즈로 입사되는 광 신호를 푸리에 변환하여 상기 제2 출력면으로 출력하는, 광학 현미경 장치
|
| 18 |
18
제17항에 있어서,상기 전달 광학계 장치는,상기 제1 렌즈를 대체하여 좌측면이 상기 시편이 위치한 입력면에 접하여 배치되는 제4 렌즈; 및상기 제4 렌즈의 초점 거리만큼 이격된 위치에 배치되어 우측면에 상기 제1 출력면이 접하여 위치하는 제5 렌즈를 포함하는, 광학 현미경 장치
|
| 19 |
19
제18항에 있어서,상기 전달 광학계 장치는,상기 제5 렌즈와 상기 제2 렌즈를 대체하여, 상기 제5 렌즈의 위치에 배치되며, 상기 제2 렌즈의 초점거리가 fa이고 상기 제5 렌즈의 초점거리가 fb 일 때, 초점 거리가 fa×fb/(fa+fb)인 제6 렌즈를 포함하는, 광학 현미경 장치
|
| 20 |
20
점 광원(point light source)의 광 신호를 분기하는 빔 스플리터; 및전달 광학계 장치를 포함하고,상기 전달 광학계 장치는,전방 초점면에 시편이 위치하며, 후방 초점면에 광 신호를 푸리에 변환하여 출력하는 제1 렌즈;좌측면이 상기 후방 초점면에 대응하는 제1 출력면에 접하여 배치되는 제2 렌즈; 및상기 제2 렌즈의 초점 거리만큼 이격된 위치에 배치되어 우측면에 제2 출력면이 접하여 위치하는 제3 렌즈를 포함하고,상기 제2 렌즈와 상기 제3 렌즈는,동일 초점 거리를 가지며,상기 제2 렌즈로 입사되는 광 신호를 푸리에 변환하여 상기 제2 출력면으로 출력하고,상기 빔 스플리터를 이용하여 이미징 광학 장치의 광학 센서에 접한 상기 제3 렌즈의 전방 초점면에 상기 점 광원의 광 신호를 배치함으로써, 참조광을 생성하는, 홀로-토모그래픽 현미경 광학 장치
|
