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리세스를 갖는 기판;상기 리세스 상에 제공되고, 하부 홀들을 갖는 하부 멤브레인;상기 하부 멤브레인 상에 제공되고, 상기 하부 홀들 상의 중간 홀들을 갖는 발열 저항체; 그리고상기 발열 저항체 및 상기 하부 멤브레인 상에 배치되고, 상기 중간 홀들 상의 상부 홀들을 갖는 상부 멤브레인을 포함하는 MEMS 히터
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제 1 항에 있어서,상기 하부 홀들, 상기 중간 홀들, 및 상기 상부 홀들의 각각은 100nm의 직경을 갖는 MEMS 히터
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제 1 항에 있어서,상기 기판은 실리콘 기판 또는 산화 알루미늄(Al2O3), 산화 마그네슘(MgO), 석영(quartz), 갈륨-질소(GaN) 및 갈륨-비소(GaAs) 중 어느 하나인 MEMS 히터
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제 1 항에 있어서,상기 상부 멤브레인 및 상기 하부 멤브레인은 산화 실리콘막 또는 질화 실리콘막을 포함하는 MEMS 히터
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제 1 항에 있어서,상기 발열 저항체는 금(Au), 텅스텐(W), 백금(Pt) 및 팔라듐(Pd) 중 적어도 하나를 포함하는 금속, 실리콘, 또는 전도성 금속 산화물을 포함하는 MEMS 히터
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