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기판의 정해진 영역에 형성된 물질층의 두께를 측정하는 장치에 있어서, 상기 물질층의 하부에 형성되는 하부전극; 상기 물질층의 상부에 형성되는 상부전극; 및 상기 하부전극과 상부전극 사이의 임피던스를 측정하고, 상기 임피던스에 기초하여 상기 물질층의 두께를 산출하는 측정부를 포함하며,상기 하부전극 및 상부전극 중에서 어느 하나 또는 모두는 복수의 서로 이격된 분할전극을 포함하는, 두께 측정 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 측정부는 상기 상부전극과 하부전극 사이의 임피던스를 측정하는 임피던스 측정회로; 및 미리 저장되어 있는 임피던스-두께 데이터에 기초하여, 상기 임피던스 측정회로에서 측정된 임피던스에 대응하는 물질층의 두께를 산출하는 산출부를 포함하는, 두께 측정 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 하부전극과 상부전극은 상기 복수의 분할전극이 동일한 패턴으로 배치되는, 두께 측정 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 복수의 분할전극은 상기 정해진 영역 내에서 상기 물질층의 제조방식에 따른 두께 편차가 상대적으로 많은 부분에 밀도가 높게 배치되는, 두께 측정 장치
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청구항 4에 있어서, 상기 복수의 분할전극은 상기 정해진 영역의 가장자리에는 밀도가 높게 배치되고, 가운데에는 밀도가 낮게 배치되는, 두께 측정 장치
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청구항 2에 있어서, 상기 임피던스-두께 데이터는 상기 분할전극이 배치된 위치마다 임피던스와 물질층의 두께가 매칭된 데이터인, 두께 측정 장치
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7
청구항 1에 있어서, 상기 하부전극과 상부전극은 단일전극으로 형성되며, 상기 상부전극 상에 접촉하여 임피던스를 측정하는 프로브를 더 포함하고, 상기 프로브는 상기 기판 상에 형성된 정해진 영역으로 이동가능한 이동기판; 상기 이동기판 상에 형성된 복수의 서로 이격된 분할전극; 및 상기 분할전극을 커버하도록 상기 이동기판 상에 형성된 보호층을 포함하며, 상기 측정부는 상기 하부전극과 프로브 사이의 임피던스를 측정하고, 상기 임피던스에 기초하여 상기 물질층의 두께를 산출하는, 두께 측정 장치
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8
청구항 7에 있어서, 상기 프로브는 상기 이동기판 상에 제1 방향으로 나란하게 형성된 선형 분할전극을 포함하는 제1 프로브; 및 상기 이동기판 상에 제2 방향으로 나란하게 형성된 선형 분할전극을 포함하는 제2 프로브를 포함하고,상기 임피던스 측정회로는 상기 제1 프로브 및 제2 프로브 각각을 이용하여 임피던스를 측정하며, 상기 측정부는 상기 제1 프로브를 이용하여 측정한 임피던스와 제2 프로브를 이용하여 측정한 임피던스를 방향에 따라 매칭하고, 상기 임피던스에 기초하여 상기 물질층의 두께를 산출하는, 두께 측정 장치
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기판의 정해진 영역에 형성된 물질층의 두께를 측정하는 방법에 있어서, 상기 물질층의 하부에 형성된 하부전극과 상기 물질층의 상부에 형성된 상부전극 사이의 임피던스를 측정하는 임피던스 측정단계;상기 임피던스 측정단계에서 측정한 임피던스를 이용하여 상기 물질층의 두께를 산출하는 산출단계를 포함하고,상기 하부전극 및 상부전극 중에서 어느 하나 또는 모두는 복수의 서로 이격된 분할전극을 포함하는, 두께 측정 방법
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10
청구항 9에 있어서, 상기 임피던스 측정단계는 상기 복수의 분할전극마다 임피던스를 측정하는, 두께 측정 방법
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청구항 9에 있어서, 상기 임피던스 측정단계는 상기 복수의 분할전극 중에서 정해진 개수의 분할전극의 임피던스를 동시에 측정하는, 두께 측정 방법
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청구항 9에 있어서, 상기 산출단계는 미리 저장되어 있는 임피던스-두께 데이터에 기초하여, 상기 임피던스 측정회로에서 측정된 임피던스값에 대응하는 물질층의 두께를 산출하는, 두께 측정 방법
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13
청구항 9에 있어서, 상기 임피던스 측정단계 이전에 수행되며, 상기 정해진 영역에 형성된 물질층의 두께를 측정하고, 상기 상부전극과 하부전극 사이의 임피던스를 측정하여, 상기 분할전극의 위치마다 임피던스와 상기 물질층의 두께 사이의 정보를 획득하는 데이터 획득단계를 더 포함하는, 두께 측정 방법
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청구항 9에 있어서, 상기 임피던스 측정단계는 상기 상부전극을 형성한 다음 상기 상부전극 상에 프로브를 접촉하고, 상기 물질층의 하부에 형성된 하부전극과 상기 프로브 사이의 임피던스를 측정하는, 두께 측정 방법
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청구항 9에 있어서, 상기 임피던스 측정단계는 상기 상부전극을 형성하기 전에 상기 물질층 상에 프로브를 접촉하고, 상기 물질층의 하부에 형성된 하부전극과 상기 프로브 사이의 임피던스를 측정하는, 두께 측정 방법
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