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광학 시뮬레이션을 위한 방법에 있어서, 연산처리부가 나노박막을 구성할 계층 및 계층 별 물질정보를 입력받되, 상기 나노박막의 물질 정보로 적용 물질(elements), 화학 양론(stoichiometry) 및 밀도(gram density)를 입력받는 단계;상기 연산처리부가 입력된 물질 정보를 기초로 물성데이터베이스를 참조하여 상기 입력된 물질 정보에 포함된 복수의 원자에 대응하는 물성 정보를 검출하는 단계; 상기 연산처리부가 상기 물성 정보를 기초로 각 계층의 굴절률(RI: refractive index)을 산출하는 단계; 상기 연산처리부가 각 계층의 두께를 입력받는 단계;상기 연산처리부가 산출된 굴절률을 기초로 전달 매트릭스 기법(transfer matrix method)에 따라 각 계층의 입력된 두께에 따른 상기 나노박막의 투과율(T: Transmittance) 및 반사율(R: Reflectance)을 산출하는 단계; 및 상기 연산처리부가 상기 산출된 상기 나노박막의 투과율 및 반사율을 출력하는 단계;를 포함하며,상기 나노박막이 다층 구조인 경우,상기 두께를 입력받는 단계에서, 상기 연산처리부가 X축 및 Y축으로 출력할 계층 및 각 계층의 두께를 입력받고,상기 나노박막의 투과율 및 반사율을 출력하는 단계에서, 상기 연산처리부가 상기 투과율 및 반사율을 상기 X축 및 상기 Y축으로 기반으로 그래프로 출력하는 것을 특징으로 하는광학 시뮬레이션을 위한 방법
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제1항에 있어서,상기 나노박막이 단일 구조인 경우,상기 두께를 입력받는 단계에서, 상기 연산처리부가 상기 Y축을 디폴트(default) 값으로 지정하는 것을 특징으로 하는광학 시뮬레이션을 위한 방법
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제2항에 있어서,상기 나노박막이 다층반복 구조인 경우,상기 두께를 입력받는 단계에서, 상기 연산처리부가 상기 다층반복 구조의 나노박막을 구성하는 각 계층의 두께를 입력받고,상기 나노박막의 투과율 및 반사율을 출력하는 단계에서, 상기 연산처리부가 입력된 모든 계층의 두께가 합해진 한 세트의 반복 계층이 최대 두께까지 반복 적층되는 나노박막의 투과율 및 반사율을 나타내는 최대반복 그래프를 출력하는 것을 특징으로 하는 광학 시뮬레이션을 위한 방법
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제3항에 있어서,상기 나노박막의 굴절률을 산출하는 단계는 상기 연산처리부가 수학식 에 따라 상기 굴절률을 산출하며, 상기 RI는 굴절률이고, 상기 re는 전자 반경이고, 상기 i는 원자를 나타내는 인덱스이고, 상기 λ는 파장이며, 상기 ni는 단위 부피당 i 유형의 원자의 수이고, 상기 fi(0)는 i 유형의 원자의 원자산란인자(atomic scattering factor)인 것을 특징으로 하고,상기 나노박막의 굴절률을 산출하는 단계는 상기 연산처리부가 상기 입력된 물질 정보에 포함된 복수의 원자 각각의 무게를 상기 물성데이터베이스에서 참고하여 화합물의 분자 무게를 산출하고, 산출된 화합물의 분자 무게에 입력된 각 원자의 밀도(gram density)를 통해 단위 부피당 i 유형의 원자의 수 ni를 산출하는 단계; 상기 연산처리부가 상기 물성데이터베이스에서 상기 입력된 물질 정보에 포함된 복수의 원자 각각의 전자분포의 실수부 f1과, 허수부 f2를 참조로, 실수부 f1과 허수부 f2를 합하여 복소수인 i 유형의 원자의 원자산란인자 fi(0)를 산출하는 단계; 및상기 연산처리부가 상기 산출된 단위 부피당 i 유형의 원자의 수 ni 및 상기 i 유형의 원자의 원자산란인자 fi(0)를 상기 수학식에 대입하여 상기 굴절률을 산출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는광학 시뮬레이션을 위한 방법
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광학 시뮬레이션을 위한 장치에 있어서, 원자 별 물성에 대한 정보를 저장하는 물성데이터베이스가 구축된 데이터베이스부; 및 나노박막을 구성할 계층 및 계층 별 물질정보를 입력받되, 상기 나노박막의 물질 정보로 적용 물질(elements), 화학 양론(stoichiometry) 및 밀도(gram density)를 입력받고,입력된 물질 정보를 기초로 물성데이터베이스를 참조하여 상기 입력된 물질 정보에 포함된 복수의 원자에 대응하는 물성 정보를 검출하고,상기 물성 정보를 기초로 각 계층의 굴절률(RI: refractive index)을 산출하고, 각 계층의 두께를 입력받고,산출된 굴절률을 기초로 전달 매트릭스 기법(transfer matrix method)에 따라 각 계층의 입력된 두께에 따른 상기 나노박막의 투과율(T: Transmittance) 및 반사율(R: Reflectance)을 산출하고,상기 산출된 상기 나노박막의 투과율 및 반사율을 출력하는 연산처리부;를 포함하며,상기 나노박막이 다층 구조인 경우,상기 두께를 입력받을 때, 상기 연산처리부는 X축 및 Y축으로 출력할 계층 및 각 계층의 두께를 입력받고,상기 나노박막의 투과율 및 반사율을 출력할 때, 상기 연산처리부는 상기 투과율 및 반사율을 상기 X축 및 상기 Y축으로 기반으로 그래프로 출력하는 것을 특징으로 하는광학 시뮬레이션을 위한 장치
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제5항에 있어서,상기 나노박막이 단일 구조인 경우,상기 두께를 입력받을 때, 상기 연산처리부는 상기 Y축을 디폴트(default) 값으로 지정하는 것을 특징으로 하는광학 시뮬레이션을 위한 장치
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제6항에 있어서,상기 나노박막이 다층반복 구조인 경우,상기 두께를 입력받을 때, 상기 연산처리부는 상기 다층반복 구조의 나노박막을 구성하는 각 계층의 두께를 입력받고,상기 나노박막의 투과율 및 반사율을 출력할 때, 상기 연산처리부는 입력된 모든 계층의 두께가 합해진 한 세트의 반복 계층이 최대 두께까지 반복 적층되는 나노박막의 투과율 및 반사율을 나타내는 최대반복 그래프를 출력하는 것을 특징으로 하는 광학 시뮬레이션을 위한 장치
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제7항에 있어서,상기 나노박막의 굴절률을 산출할 때,상기 연산처리부는 수학식 에 따라 상기 굴절률을 산출하며, 상기 RI는 굴절률이고, 상기 re는 전자 반경이고, 상기 i는 원자를 나타내는 인덱스이고, 상기 λ는 파장이며, 상기 ni는 단위 부피당 i 유형의 원자의 수이고, 상기 fi(0)는 i 유형의 원자의 원자산란인자(atomic scattering factor)인 것을 특징으로 하고,상기 연산처리부는 상기 입력된 물질 정보에 포함된 복수의 원자 각각의 무게를 상기 물성데이터베이스에서 참고하여 화합물의 분자 무게를 산출하고, 산출된 화합물의 분자 무게에 입력된 각 원자의 밀도(gram density)를 통해 단위 부피당 i 유형의 원자의 수 ni를 산출하고, 상기 물성데이터베이스에서 상기 입력된 물질 정보에 포함된 복수의 원자 각각의 전자분포의 실수부 f1과, 허수부 f2를 참조로, 실수부 f1과 허수부 f2를 합하여 복소수인 i 유형의 원자의 원자산란인자 fi(0)를 산출하고, 상기 산출된 단위 부피당 i 유형의 원자의 수 ni 및 상기 i 유형의 원자의 원자산란인자 fi(0)를 상기 수학식에 대입하여 상기 굴절률을 산출하는 것을 특징으로 하는광학 시뮬레이션을 위한 장치
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