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공구몸체;공구몸체의 표면에 형성되는 절연층;상기 절연층 상에 소정의 패턴으로 형성되어 상기 공구몸체의 열을 측정하는 제1 박막금속회로 및 상기 절연층 상에 소정의 패턴으로 형성되고 상기 제1 박막금속회로와 다른 소재로 이루어지는 제2 박막금속회로를 포함하는 박막써모커플; 및상기 제1 박막금속회로 및 상기 제2 박막금속회로를 덮어 보호하도록 형성되는 보호층을 포함하고,상기 제1 박막금속회로 및 상기 제2 박막금속회로는,각각의 말단이 상기 공구몸체의 공구날과 인접하게 형성되는 절삭 공정의 온도 측정이 가능한 박막써모커플이 구비된 공구
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제 1 항에 있어서,상기 제1 박막금속회로 및 상기 제2 박막금속회로는,적어도 일부가 겹치도록 서로 교차 배치되는 절삭 공정의 온도 측정이 가능한 박막써모커플이 구비된 공구
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제 2 항에 있어서,상기 제1 박막금속회로 및 상기 제2 박막금속회로의 교차구간의 너비는 0
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제 1 항에 있어서,상기 제1 박막금속회로는,500nm ~ 550nm 두께로 형성된 박막써모커플이 구비된 공구
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제 1 항에 있어서,상기 제2 박막금속회로는,500nm ~ 550nm 두께로 형성된 박막써모커플이 구비된 공구
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제 1 항에 있어서,상기 제1 박막금속회로는 알루멜(Alumel)로 이루어지고, 상기 제2 박막금속회로는 크로멜(chromel)로 이루어지는 박막써모커플이 구비된 공구
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공구몸체의 절연층 상에 소정의 패턴으로 제1 소재를 증착하여 제1 박막금속회로를 형성하는 단계;상기 절연층 상에 소정의 패턴으로 제2 소재를 증착하여 제2 박막금속회로를 형성하는 단계; 및상기 제1 박막금속회로 및 상기 제2 박막금속회로 상에 보호층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 박막금속회로 및 상기 제2 박막금속회로는 각각의 말단이 공구몸체의 공구날과 인접하게 형성되는 절삭 공정의 온도 측정이 가능한 박막써모커플이 구비된 공구의 제조방법
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제 7 항에 있어서,상기 제2 박막금속회로를 형성하는 단계는,상기 제2 박막금속회로가 상기 제1 박막금속회로에 대해 교차 배치되도록 형성하는 박막써모커플이 구비된 공구의 제조방법
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제 8 항에 있어서,상기 제1 박막금속회로 및 상기 제2 박막금속회로의 교차구간의 너비는 0
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제 7 항에 있어서,상기 제1 박막금속회로를 형성하는 단계는,상기 제1 소재를 스퍼터링 및 열증발법을 통해 500nm ~ 550nm 두께로 증착하는 박막써모커플이 구비된 공구의 제조방법
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제 7 항에 있어서,상기 제2 박막금속회로를 형성하는 단계는,상기 제2 소재를 스퍼터링 및 열증발법을 통해 500nm ~ 550nm 두께로 증착하는 박막써모커플이 구비된 공구의 제조방법
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제 7 항에 있어서,상기 제1 소재는 알루멜(Alumel)로 이루어지고, 상기 제2 소재는 크로멜(chromel)로 이루어지는 박막써모커플이 구비된 공구의 제조방법
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