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플라즈마 발생을 위한 전원 공급 장치에 있어서,전원으로부터 제1 DC 전압을 수신하고, 상기 제1 DC 전압을 제2 DC 전압으로 가변하는 스텝-업 레귤레이터;상기 제2 DC 전압에 기초하여 작동 주파수를 가진 사각파 전압을 출력하는 가변 주파수 스위칭 컨트롤러;상기 사각파 전압을 공진을 통해 제1 전압 신호로 변환하여 출력하는 공진기;상기 제1 전압 신호를 권선비를 통해 제2 전압 신호로 변환하여 출력하는 변압기; 및상기 변압기의 일부를 센싱하여 피드백 신호를 출력하는 피크 검출기를 포함하고,상기 가변 주파수 스위칭 컨트롤러는,상기 피드백 신호에 기초하여 상기 작동 주파수를 제어하는, 전원 공급 장치
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제1항에 있어서,상기 피크 검출기는,상기 변압기의 검출 권선(search winding)으로 구성된 1차측 권선의 일부를 센싱한 AC 신호를 DC 신호로 변환하여 피크 전압을 검출함으로써 상기 피드백 신호를 생성하는, 전원 공급 장치
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제2항에 있어서,상기 피크 검출기는,상기 검출 권선으로부터 검출된 전압을 다이오드와 커패시터를 통해 정류 및 충전하여 DC 전압 형태의 상기 피드백 신호를 생성하는, 전원 공급 장치
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제3항에 있어서,상기 피크 검출기는,상기 검출된 전압을 정류하고, 정류된 전압과 기준 전압을 비교하여 상기 피드백 신호를 생성하는, 전원 공급 장치
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제4항에 있어서,상기 피크 검출기는,상기 정류된 전압이 상기 기준 전압보다 크거나 같은 경우, 상기 작동 주파수의 상승을 위한 상기 피드백 신호를 출력하고,상기 정류된 전압이 상기 기준 전압보다 작은 경우, 상기 작동 주파수의 하락을 위한 상기 피드백 신호를 출력하는, 전원 공급 장치
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제1항에 있어서,상기 가변 주파수 스위칭 컨트롤러는,상기 피드백 신호에 기초하여 최대 작동 주파수(maximum operating frequency) 내지 최소 작동 주파수(minimum operating frequency) 범위 내에서 PMW 신호의 작동 주파수를 조절하고, 조절된 작동 주파수를 가진 사각파 전압을 출력하는, 전원 공급 장치
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제1항에 있어서,상기 가변 주파수 스위칭 컨트롤러를 제어하여 플라즈마 온 및 오프 시간을 제어하는 타이밍 컨트롤러를 더 포함하는, 전원 공급 장치
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