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지지층; 및 상기 지지층 상에 배치된 패턴층으로서, 베이스 및 상기 베이스로부터 돌출되고 베이스와 물리적 경계를 갖지 않는 복수의 돌출 패턴을 포함하는 패턴층을 포함하되, 단위 검사 면적에 대해,상기 베이스 상면의 포어의 배열 밀도는, 상기 돌출 패턴 표면의 포어의 배열 밀도 보다 작은 연마 패드
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제1항에 있어서,단위 검사 면적에 대해, 상기 베이스 상면의 표면 왜도(Rsk_base)에서 상기 돌출 패턴 표면의 표면 왜도(Rsk_pattern)를 뺀 값이 0 보다 큰 연마 패드
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제1항에 있어서,상기 돌출 패턴의 최소폭은 20㎛ 이상이고,상기 돌출 패턴 상면의 포어는 평면상 둘레 길이 증가에 기여하고,단위 검사 면적 중의 상기 포어의 평균 직경은 10㎛ 내지 150㎛ 범위에 있고,단위 검사 면적 중의 상기 포어의 직경 분포는 5㎛ 내지 400㎛ 범위에 있는 연마 패드
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제1항에 있어서,단위 검사 면적 중의 상기 포어의 평균 직경은 10㎛ 내지 150㎛ 범위에 있고,단위 검사 면적 중의 돌출 패턴의 측면에 위치한 포어의 평균 직경은, 상기 돌출 패턴의 수직 높이의 5% 내지 15% 범위에 있는 연마 패드
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제1항에 있어서,단위 검사 면적에 대해, 어느 하나의 상기 돌출 패턴 상면 면적에 대해, 돌출 패턴 상면에 노출된 포어들이 차지하는 면적의 비율은 10% 내지 80% 범위에 있고,단위 검사 면적에 대해, 상기 베이스 상면 면적에 대해 베이스 상면에 노출된 포어들이 차지하는 면적의 비율은 10% 내지 30% 범위에 있는 연마 패드
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제1항에 있어서,상기 돌출 패턴에 형성된 포어에 의해 상기 돌출 패턴 표면에 조도가 형성되고,상기 돌출 패턴 상면의 표면 조도는, 상기 베이스 상면의 표면 조도 보다 크거나, 또는상기 돌출 패턴 측면의 표면 조도는, 상기 베이스 상면의 표면 조도 보다 큰 연마 패드
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제1항에 있어서,상기 베이스는 적어도 부분적으로 함몰된 제1 트렌치를 가지고,단위 검사 면적에 대해, 상기 제1 트렌치의 기저면에 노출된 포어의 배열 밀도는, 상기 제1 트렌치의 내측벽에 노출된 포어의 배열 밀도 보다 작은 연마 패드
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제1항에 있어서,상기 지지층과 패턴층은 상이한 재질을 포함하여 이루어지고,상기 베이스는 부분적으로 관통되어 상기 지지층을 부분적으로 노출하는 제1 트렌치를 가지고,상기 지지층은 적어도 부분적으로 함몰되거나, 또는 관통되어, 적어도 부분적으로 상기 제1 트렌치와 연결된 제2 트렌치를 갖는 연마 패드
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제8항에 있어서,상기 제2 트렌치의 내측벽의 포어의 배열 밀도는, 상기 제1 트렌치의 내측벽의 포어의 배열 밀도 보다 큰 연마 패드
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지지층 상에 다공성을 갖는 패턴층을 배치하는 단계를 포함하되,상기 패턴층은 베이스 및 상기 베이스로부터 돌출된 복수의 돌출 패턴을 포함하고, 단위 검사 면적에 대해, 상기 베이스 상면의 포어의 배열 밀도는, 상기 돌출 패턴 표면의 포어의 배열 밀도 보다 작은, 연마 패드의 제조 방법
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제10항에 있어서,상기 패턴층의 베이스를 부분적으로 제거하여, 적어도 부분적으로 상기 패턴층을 관통하는 제1 트렌치를 형성하는 단계; 및상기 패턴층을 관통하는 제1 트렌치를 통해 노출된 지지층을 부분적으로 제거하여, 제2 트렌치를 형성하는 단계를 더 포함하는 연마 패드의 제조 방법
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