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수용성 고분자를 포함하는 바늘 형상의 희생층;상기 바늘 형상의 희생층 상에 형성된 지지층; 및상기 지지층 상에 형성된 전극층;을 포함하는,초박형 마이크로 니들 전극
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제 1 항에 있어서,상기 전극층의 바늘 형상 부분이 생체 조직의 표면을 관통하여 생체 조직 상에 고정되는 것인, 초박형 마이크로 니들 전극
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제 1 항에 있어서,상기 초박형 마이크로 니들 전극이 생체 조직 상에 고정된 후, 외부로부터 공급된 수분에 의해 상기 바늘 형상의 희생층이 제거되는 것인, 초박형 마이크로 니들 전극
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제 1 항에 있어서,상기 수용성 고분자는 PVA(polyvinyl alcohol), PAA(poly acrylic acid), PVP(polyvinyl pyrrolidone), PEG(polyethylene glycol), 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 수용성 고분자를 포함하는 것인, 초박형 마이크로 니들 전극
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제 1 항에 있어서,상기 바늘 형상의 최대 높이는 50 μm 내지 1,000 μm 인, 초박형 마이크로 니들 전극
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제 1 항에 있어서,상기 전극층 상에 접착층이 형성된 것인, 초박형 마이크로 니들 전극
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제 6 항에 있어서,상기 접착층은 아크릴레이트(acrylate), 실리콘(silicon), 에폭시(epoxy), 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함하는 것인, 초박형 마이크로 니들 전극
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제 1 항에 있어서,상기 지지층은 생체 적합성을 가지는 물질을 포함하는 것인, 초박형 마이크로 니들 전극
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제 1 항에 있어서,상기 지지층은 CVD 적합성을 가지는 것인, 초박형 마이크로 니들 전극
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제 1 항에 있어서,상기 지지층은 파릴렌(parylene), 폴리(1,3,5-트리비닐 트리메틸 시클로트리실록세인)(poly(1,3,5-trivinyl trimethyl cyclotrisiloxane)), 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함하는 것인, 초박형 마이크로 니들 전극
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제 1 항에 있어서,상기 지지층의 두께는 10 nm 내지 10 μm 인, 초박형 마이크로 니들 전극
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제 1 항에 있어서,상기 전극층은, Au, Cr, Pt, Ag, Fe, Cu, Ni, Ti, 그래핀, 탄소 나노 튜브, 전도성 고분자, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함하는 것인, 초박형 마이크로 니들 전극
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제 12 항에 있어서,상기 전도성 고분자는, PEDOT(poly(3,4-ethylene dioxythiophene)), 폴리아닐린(polyaniline), 폴리(파라-페닐렌 비닐렌)(poly(para-phenylene vinylene), 폴리(파라-페닐렌)(poly(para-phenylene)), 폴리아세틸렌, 폴리피롤(polypyrrole), 폴리싸이오펜(polythiophene), poly(p-phenylene sulfide), 폴리아닐린(polyaniline)및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함하는 것인, 초박형 마이크로 니들 전극
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제 1 항에 있어서,상기 초박형 마이크로 니들 전극은 뇌파 신호(electroencephalogram, EEG), 심장 신호(electrocardiogram, ECG), 근육 신호(electromyogram, EMG), 요산의 농도, 젖산의 농도, 글루코즈의 농도, 체액 내 성분, 타액 내 성분, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 측정하는 것인, 초박형 마이크로 니들 전극
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바늘 형상을 가지는 수용성 고분자 희생층을 준비하는 단계;상기 수용성 고분자 희생층 상에 지지층을 형성하는 단계; 및상기 지지층 상에 전극층을 형성하는 단계;를 포함하는 것인,초박형 마이크로 니들 전극의 제조 방법
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제 15 항에 있어서,상기 지지층을 형성하는 단계는, 화학기상증착법(CVD, chemical vapor deposition) 방법에 의해 수행되는 것인, 초박형 마이크로 니들 전극의 제조 방법
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제 15 항에 있어서,상기 전극층을 형성하는 단계는, PVD(physical vapor deposition), 스퍼터링, CVD, ALD(atomic layer deposition), 딥 코팅, 스핀 코팅, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함하는 방법에 의해 수행되는 것인, 초박형 마이크로 니들 전극의 제조 방법
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제 15 항에 있어서,상기 전극층 상에 접착층을 형성하는 단계를 추가 포함하는 것인, 초박형 마이크로 니들 전극의 제조 방법
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제 1 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 따른 초박형 마이크로 니들 전극의 전극층이 생체 조직을 관통하도록 상기 생체 조직 상에 배치하는 단계;상기 초박형 마이크로 니들 전극의 희생층 상에 수분을 공급하여 상기 희생층을 제거하는 단계; 및상기 피부 상에 배치된 전극층을 통해 생체 신호를 측정하는 단계;를 포함하는 것인,생체 신호 측정 방법
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제 19 항에 있어서,상기 생체 신호는 뇌파 신호(electroencephalogram, EEG), 심장 신호(electrocardiogram, ECG), 근육 신호(electromyogram, EMG), 요산의 농도, 젖산의 농도, 글루코즈의 농도, 체액 내 성분, 타액 내 성분, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함하는 것인, 생체 신호 측정 방법
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