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금 나노입자들(Au nanoparticles)이 분산된 용액을 액적의 형태로, 마스크를 향해 분사하는 미세유체 분사장치; 상기 마스크를 통과한 다수의 상기 액적을 표면에 수집하는 기판; 및상기 기판에 수집된 다수의 상기 액적을 분석하는 분석부;를 포함하여,상기 마스크의 필터링 성능을 평가하는 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 미세유체 분사장치는,공기가 유입되는 공기 유입구; 유입된 상기 공기가 배출되는 공기 배출구; 상기 공기 유입구로부터 양 갈래로 분기되되, 각각 상기 공기 배출구로 수렴하여, 유입된 상기 공기를 분배하여 유동시키는 한 쌍의 공기 유동 미세채널;상기 용액이 유입되는 용액 유입구;상기 공기 배출구의 중심부에 형성되고, 유입된 상기 용액이 배출되는 용액 배출구; 및상기 용액 유입구와 상기 용액 배출구를 연결하여, 상기 용액을 유동시키는 용액 유동 미세채널;을 포함하는 시스템
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청구항 2에 있어서,상기 용액 배출구로 배출되는 상기 용액은,상기 공기 배출구를 배출되는 상기 공기에 의해 둘러싸이면서 상기 액적의 형태로 형성되는 시스템
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청구항 3에 있어서,상기 공기의 유동 압력, 및 상기 용액의 유동 압력에 따라, 상기 액적의 크기가 조절되는 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 분석부는,상기 기판에 수집된 상기 액적에 광을 조사하는 광원;조사된 상기 광이 상기 액적에 의해 산란된 산란광을 검출하는 광검출기; 및상기 광검출기에서 검출된 상기 산란광의 신호를 기반으로, 상기 액적 내 상기 금 나노입자들의 분포 정보를 생성하고 분석하는 분석장치;를 포함하는 시스템
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청구항 5에 있어서,상기 액적 내 상기 금 나노입자들은, 서로 다른 크기의 클러스터(cluster)를 형성하고,상기 금 나노입자의 분포 정보는 상기 클러스터의 크기별 분포 정보를 포함하는 시스템
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청구항 6에 있어서,상기 분석장치는,하기 [수학식 1]에 따라 상기 산란광의 강도로부터 상기 클러스터의 크기를 산출하는 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 금 나노입자들의 크기는, 70 ~ 90nm인 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 미세유체 분사장치와 상기 기판 사이의 상기 액적의 분사 거리는,30 ~ 120nm인 시스템
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