| 1 |
1
일 측이 측정 대상체와 접촉할 수 있도록 마련되는 열전 소자; 및상기 열전 소자의 타 측에 배치되고, 기판 및 발열선을 포함하는 저항 온도 검출기;를 포함하는 온도 측정 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 열전 소자와 상기 저항 온도 검출기 사이에 배치되는 절연체를 더 포함하는 온도 측정 장치
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 열전 소자의 상기 일 측에 마련되는 제1 전극 및 상기 타 측에 마련되는 제2 전극을 더 포함하는 온도 측정 장치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 열전 소자의 상기 일 측과 상기 타 측 사이의 전위차를 측정할 수 있도록 마련된 전압계를 더 포함하는 온도 측정 장치
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 발열선을 통하여 상기 저항 온도 검출기의 온도를 조절할 수 있도록 마련된 제어부를 더 포함하는 온도 측정 장치
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 열전 소자에 발생하는 전위차와 상기 저항 온도 검출기의 온도에 의해 상기 측정 대상체의 온도를 연산에 의해 추정하는 연산부를 더 포함하는 온도 측정 장치
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 열전 소자와 상기 저항 온도 검출기에 비해 열 질량이 큰 지지대를 더 포함하는 온도 측정 장치
|
| 8 |
8
제1항에 있어서, 상기 저항 온도 검출기는 발열선의 양단에 마련되는 4개의 전극을 포함하는 온도 측정 장치
|
| 9 |
9
열전 소자;측정 대상체와 접촉하도록 상기 열전 소자의 일 측에 배치되는 제1 전극; 상기 열전 소자의 타 측에 배치되는 제2 전극;상기 제2 전극을 가열하도록 배치되는 저항 온도 검출기; 및상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이의 전위차를 측정하도록 배치되는 전압계;를 포함하는 온도 측정 장치
|
| 10 |
10
제9항에 있어서,상기 저항 온도 검출기는, 상기 제2 전극에 열을 가할 수 있도록 마련되는 발열선;상기 발열선에 전류를 가할 수 있도록 마련된 제3 전극; 및상기 발열선의 양단의 전압을 측정할 수 있도록 마련된 제4 전극;을 포함하는 온도 측정 장치
|
| 11 |
11
측정 대상면의 온도 분포를 측정할 수 있도록 측정 대상면과 점 접촉하는 복수의 열전 소자;상기 복수의 열전 소자의 일 측면을 가열할 수 있도록 마련되는 복수의 저항 온도 검출기;상기 복수의 열전 소자에 발생하는 전위차와 상기 복수의 저항 온도 검출기의 온도에 의해 상기 측정 대상면의 복수의 지점의 온도를 추정하고 이를 병합하여 상기 측정 대상면의 온도 분포를 추정하는 연산부;를 포함하는 온도 측정 장치
|
| 12 |
12
제11항에 있어서,상기 복수의 저항 온도 검출기의 각각은, 상기 열전 소자에 열을 가할 수 있도록 마련되는 발열선;상기 발열선에 전류를 가할 수 있도록 마련된 제1 전극; 및상기 발열선의 양단의 전압을 측정할 수 있도록 마련된 제2 전극;을 포함하는 온도 측정 장치
|
| 13 |
13
제12항에 있어서,상기 복수의 저항 온도 검출기의 각각의 상기 제1 전극 및 각각의 상기 제2 전극에 연결되어 상기 복수의 저항 온도 검출기의 온도를 제어할 수 있도록 마련된 제어부를 더 포함하는 온도 측정 장치
|
