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미소량유체가 유동될 수 있는 캔틸레버; 유동되는 상기 미소량유체 및 상기 캔틸레버를 가열하도록 상기 캔틸레버에 배치되는 가열모듈; 및가열된 상기 미소량유체 및 가열된 상기 캔틸레버의 온도에 기초하여 상기 미소량유체 및 상기 캔틸레버의 전기적 저항의 변화를 도출하는 저항도출모듈을 포함하는, 미소량유체의 열물성 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 캔틸레버는, 상기 미소량유체가 일방향으로 굴곡지게 유동되도록 일부가 상기 일방향으로 굴곡진 굴곡부를 가지는, 미소량유체의 열물성 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 캔틸레버는 단면이 수평방향으로 10㎛ 내지 15㎛의 폭을 가지는, 미소량유체의 열물성 측정장치
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제 1 항에 있어서,상기 가열모듈은, 상기 미소량유체 및 상기 캔틸레버를 펄스 형태로 가열하도록 구성되는, 미소량유체의 열물성 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 가열모듈은, 상기 미소량유체 및 상기 캔틸레버를 0
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제 1 항에 있어서,상기 캔틸레버는 절연체로 형성된, 미소량유체의 열물성 측정장치
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제 1 항에 있어서,상기 가열모듈은, 전원을 공급받으면 발열되는 열전기전도체를 포함하고, 상기 열전기전도체는, 상기 미소량유체 및 상기 캔틸레버를 가열하도록 상기 캔틸레버의 외측면을 따라 접촉 배치되는,미소량유체의 열물성 측정장치
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제 1 항에 있어서, 가열된 상기 미소량유체의 밀도를 획득하기 위해, 가열된 상기 미소량유체 및 가열된 상기 캔틸레버의 응답주파수의 변화를 측정하는 밀도도출모듈을 더 포함하는, 미소량유체의 열물성 측정장치
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미소량유체 및 캔틸레버를 가열하는 가열단계;가열된 상기 미소량유체 및 가열된 상기 캔틸레버의 온도에 기초하여 상기 미소량유체 및 상기 캔틸레버의 전기적 저항의 변화를 도출하는 저항도출단계; 및아래의 수식 1에 따라, 도출된 상기 저항의 변화에 기초하여 상기 미소량유체의 열전도도를 도출하는 열전도도도출단계를 포함하는, 미소량유체의 열물성 측정방법
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10
제 9 항에 있어서,상기 저항의 변화에 기초하여 시간상수를 도출하는 시간상수도출단계; 및 아래의 수식 2에 따라, 상기 열전도도 및 상기 시간상수에 기초하여 상기 미소량유체의 열용량을 도출하는 열용량도출단계를 더 포함하는, 미소량유체의 열물성 측정방법
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제 10 항에 있어서,가열된 상기 미소량유체 및 가열된 상기 캔틸레버의 응답주파수의 변화를 측정하는 주파수측정단계; 및아래의 수식 3에 따라, 측정된 상기 응답주파수의 변화에 기초하여 상기 미소량유체의 밀도를 도출하는 밀도도출단계; 및상기 열용량 및 상기 밀도에 기초하여 상기 미소량유체의 비열을 도출하는 비열도출단계를 더 포함하는, 미소량유체의 열물성 측정방법
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제 9 항에 있어서,상기 가열단계는 상기 미소량유체 및 상기 캔틸레버를 펄스 형태로 가열하는,미소량유체의 열물성 측정방법
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제 9 항에 있어서,상기 가열단계는 상기 미소량유체 및 상기 캔틸레버를 0
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