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실리콘 기판,상기 실리콘 기판 위에 형성되어 있고 상기 실리콘 기판과 직접 접촉하는 십자 모양 금속 패턴,상기 십자 모양 금속 패턴을 덮는 절연막을 포함하는 자기장 센서
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제1항에서,상기 절연막 위에 형성되어 있는 x자형 실리콘 패턴을 더 포함하는 자기장 센서
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제2항에서,상기 실리콘 패턴은 P형 또는 N형 불순물로 도핑되어 있는 자기장 센서
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제3항에서,상기 x자형 실리콘 패턴의 네 가지는 상기 십자 모양 금속 패턴의 네 가지와 45도를 이루도록 배치되어 있는 자기장 센서
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제1항에서,상기 실리콘 기판은 진성 실리콘 기판인 자기장 센서
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제5항에서,상기 실리콘 기판은 제조 공정에서 불가피하게 포함되는 불순물로 인해 P형으로 도핑되어 있는 자기장 센서
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제1항에서,상기 십자 모양 금속 패턴은 전체가 동일한 재질로 이루어진 단일층인 자기장 센서
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제7항에서,상기 십자 모양 금속 패턴은 Ta, Al, Ti, Zn, W, Mo, Cu, Ni, Au, Pt 중 적어도 하나를 포함하는 자기장 센서
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