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웨이퍼와 접촉하여 연마를 수행하는 탑패드(Top-pad)의 하부에 적층되는 서브패드로서, 나노섬유 부직포 패드를 포함하며, 상기 나노섬유 부직포 패드는 외주부의 나노섬유 밀도가 외주부 안쪽의 다른 부분의 나노섬유 밀도보다 1
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제1항에 있어서,상기 외주부의 나노섬유 밀도는 외주부 안쪽의 다른 부분의 나노섬유 밀도보다 1
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제1항에 있어서,상기 나노섬유 부직포 패드는 소수성 고분자를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마패드용 서브패드
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제3항에 있어서,상기 소수성 고분자는 폴리스티렌 및 테프론(PTFE, Polytetrafluoroethylene)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 연마패드용 서브패드
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제1항에 있어서,상기 서브패드의 외주부는 낮은 공극률로 인하여 연마용 슬러리의 침투를 방지하는 기능을 수행하는 것을 특징으로 하는 연마패드용 서브패드
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웨이퍼와 접촉하여 연마를 수행하는 탑패드(Top-pad); 및상기 탑패드의 하부에 적층된 제1항의 서브패드를 포함하는 연마패드
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제6항에 있어서,상기 서브패드 외주부의 단면은 연마패드의 외주면에 노출되는 것을 특징으로 하는 연마패드
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제1항의 연마패드용 서브패드의 제조방법으로서,a) 고분자 용액을 전기방사하는 단계;b) 상기 전기방사에 의해 형성된 나노섬유 부직포를 회수하는 단계; 및c) 상기 나노섬유 부직포를 열압착하는 단계;를 포함하며,상기 a) 단계의 전기방사 시 컬렉터는 서브패드의 외주부에 상응하는 원형의 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 연마패드용 서브패드의 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 컬렉터는 전기방사 유도필름을 포함하며, 상기 원형의 전극은 상기 전기방사 유도필름 표면에 형성된 것을 특징으로 하는 연마패드용 서브패드의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 원형의 전극은 전기방사 유도필름 표면에 프린트된 것을 특징으로 하는 연마패드용 서브패드의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 b) 단계에서 회수된 2개 이상의 나노섬유 부직포를 원형의 전극 상부에 형성된 나노섬유의 밀도가 높은 부분이 서로 중첩되게 적층하고, 상기 적층된 나노섬유 부직포를 상기 c) 단계에서 열압착하는 것을 특징으로 하는 연마패드용 서브패드의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 원형의 전극은 전기방사 유도필름 표면에 다수개가 형성되며, 상기 다수개의 원형 전극들은 전도성 소재에 의해 전기적으로 연결되며,상기 전기방사 유도필름은 수평적으로 이동하면서 방사되는 나노섬유를 컬렉팅하거나,상기 전기방사 유도필름은 원형드럼에 권취된 상태로 회전하면서 방사되는 나노섬유를 컬렉팅하는 것을 특징으로 하는 연마패드용 서브패드의 제조방법
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