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수열 반응을 이용한 친환경 표면 세정 방법
- 기술번호 : KST2023003608
- 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-2155-3662
| 요약 | 본 발명은 수열반응을 이용하므로 종래의 습식세정공정 대비 고효율 세정특성을 가져 상대적인 저농도의 세정액의 사용과 초순수의 사용을 최소화할 수 있으며, 기존의 방법에 따른 산 및 염기 폐수의 발생이 억제된 친환경적인 표면 세정 방법에 관한 것이다. 본 발명은 수열반응을 통해 높은 반응성을 가진 종래의 무기성 산 및 염기 화학물질이 포함된 세정액이 아닌 유기산을 포함하는 세정액을 사용하여도 금속산화물에 대한 우수한 세정성능을 가지므로 강산 또는 강염기 폐수 발생으로 인한 환경오염 우려가 없고 폐수 처리비용이 저렴한 장점이 있다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/02 (2006.01.01) C11D 7/26 (2006.01.01) C11D 7/50 (2006.01.01) |
| CPC | H01L 21/02057(2013.01) H01L 21/02052(2013.01) C11D 7/265(2013.01) C11D 7/5013(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020210189104 (2021.12.28) |
| 출원인 | 강원대학교산학협력단 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2023-0099786 (2023.07.05) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 공개 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 국내출원/신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | N |
| 심사청구항수 | 4 |